专利名称：低温泵的盖结构、低温泵及其启动方法以及保管方法
技术领域：
本申请主张基于2011年4月5日申请的日本专利申请第2011-083629号的优先权。其申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。本发明涉及一种用于低温泵的盖结构、低温泵、低温泵的启动方法及低温泵的保管方法。
背景技术：
低温泵为通过凝缩或吸附将气体分子捕捉于冷却成超低温的低温板来排气的真空泵。低温泵普遍为了实现半导体电路制造工艺等所要求的清洁的真空环境而利用。为了吸附气体，在低温板上粘着有活性碳。
专利文献I :日本特开平2-308985号公报在不使用低温泵时，例如保管时或传输时，低温板上的吸附剂也能够吸附周围的成分。例如，当低温泵发货且开始使用其之前外部气体可进入低温泵的内部时，吸附剂能够吸附大量水分。在使用低温泵之前，利用其他辅助性真空泵真空抽取至低温泵的工作压力。这时吸附的成分从活性炭放出，在达到工作压力之前需要时间。
发明内容
本发明是鉴于这种情况而完成的，其某一方式的例示性目的之一在于以良好的状态保管低温泵直至开始使用低温泵时为止。本发明的某一方式的盖结构为用于将低温泵的内部保持成负压的盖结构，所述盖结构具备用于堵塞低温泵的泵口的盖主体，所述盖主体具有将低温泵的内部与外部连通的小孔，还具备用于堵塞所述小孔的闭塞部件。根据该方式，每当开始使用低温泵之际，能够以拆卸闭塞部件这样的简单工作破坏真空，因此在现实中容易将低温泵的内部设为真空或负压来保管。能够通过对低温泵的内部进行减压来以保管当初的良好状态保持低温泵、尤其是内置的吸附剂。本发明的另一方式为低温泵的启动方法。该方法包括通过从盖主体拆卸安装于低温泵的盖结构的闭塞部件来解除低温泵内部的负压的步骤。本发明的另一方式为低温泵的保管方法。该方法包括用盖堵塞用于接收由低温泵排气的气体的低温泵的泵口的步骤、及通过将低温泵的内部与外部连通的流体路径对低温泵的内部进行减压的步骤。发明效果根据本发明能够良好地保管低温泵。
图I是示意地表示本发明的一实施方式所涉及的低温泵的图。图2是示意地表示用于本发明的一实施方式所涉及的低温泵的泵盖的图。
图3是用于说明本发明的一实施方式所涉及的低温泵的保管方法的流程图。图4是用于说明本发明的一实施方式所涉及的低温泵的启动方法的流程图。图中10_低温泵，11-第I缸，12-第2缸，13-第I冷却台，14-第2冷却台，20-控制部，30-低温泵容器，40-放射屏蔽，43-制冷机插通孔，50-制冷机，60-低温板，70-通气阀,72-粗抽阀，80-排出管路，82-排出导管，100-泵盖，102-盖主体，104-小孔，106-闭塞部件。
具体实施方式
图I是示意地表示本发明的一实施方式所涉及的低温泵10的图。低温泵10被安装于例如离子注入装置或溅射装置等的真空腔室，为了使真空腔室内部的真空度提高至所期望的工艺所要求的水平而使用。低温泵10包括低温泵容器30、放射屏蔽40及制冷机50而构成。制冷机50为例如吉福特-麦克马洪式制冷机(所谓的GM制冷机)等制冷机。制冷机50具备第I缸11、第2缸12、第I冷却台13、第2冷却台14及阀驱动马达16。第I缸11与第2缸12串联连接。在第I缸11的与第2缸12的结合部侧设置第I冷却台13，在第2缸12的远离第I缸11的一侧的端部设置第2冷却台14。图I所示的制冷机50为2级式制冷机，通过串联且2级组合缸来实现更低的温度。制冷机50通过制冷剂管18连接于压缩机52。压缩机52压缩例如氦等制冷剂气体，即工作气体，通过制冷剂管18供给至制冷机50。制冷机50使工作气体根据通过蓄冷器来进行冷却，并且首先在第I缸11的内部的膨胀室膨胀，接着在第2缸12的内部的膨胀室膨胀，由此进一步进行冷却。蓄冷器被组装于膨胀室内部。由此，设置于第I缸11的第I冷却台13被冷却到第I冷却温度水平，而设置于第2缸12的第2冷却台14被冷却到低于第I冷却温度水平的温度的第2冷却温度水平。例如，第I冷却台13被冷却到65K 100K左右，而第2冷却台14被冷却到IOK 20K左右。通过在膨胀室依次膨胀来吸热且对各冷却台进行冷却后的工作气体再次通过蓄冷器，经过制冷剂管18返回到压缩机52。从压缩机52向制冷机50及从制冷机50向压缩机52的工作气体的流动可通过制冷机50内的回转阀(未图示)来切换。阀驱动马达16从外部电源接受电力供给来旋转回转阀。设置有用于控制制冷机50的控制部20。控制部20根据第I冷却台13或第2冷却台14的冷却温度控制制冷机50。因此，可以在第I冷却台13或第2冷却台14上设置温度传感器(未图示)。控制部20可通过控制阀驱动马达16的运行频率来控制冷却温度。因此，控制部20也可设置用于控制阀驱动马达16的逆变器。控制部20可构成为控制压缩机52及后述的各阀。控制部20可与低温泵10 —体设置，也可作为与低温泵10分体的控制装置构成。图I所示的低温泵10为所谓的卧式低温泵。卧式低温泵一般是指，制冷机的第2冷却台14沿着与筒状放射屏蔽40的轴向交叉的方向(通常为正交方向)插入到放射屏蔽40的内部的低温泵。另外，本发明同样也能够应用于所谓的立式低温泵。立式低温泵是指沿着放射屏蔽的轴向插入制冷机的低温泵。
低温泵容器30具有形成为一端具有开口且另一端被闭塞的圆筒状形状的部位(以下称为“胴部”)32。该开口作为用于接收应从连接低温泵的溅射装置等的真空腔室排气的气体的泵口 34而设置。泵口 34由低温泵容器30的胴部32的上端部内表面划定。并且，胴部32上除了形成有作为泵口 34的开口之外还形成有用于插通制冷机50的开口 37。胴部32的开口 37上安装圆筒状制冷机容纳部38的一端，另一端安装于制冷机50的壳体。制冷机容纳部38容纳制冷机50的第I缸11。并且，在低温泵容器30的胴部32的上端朝向径向外侧延伸有安装法兰36。低温泵10利用安装法兰36被安装于安装端的真空腔室。低温泵容器30为了隔开低温泵10的内部与外部而设置。如上所述的低温泵容器30包含胴部32和制冷机容纳部38而构成，胴部32及制冷机容纳部38的内部被气密地保持为共同压力。由此，低温泵容器30在低温泵10的排气运行期间作为真空容器发挥作用。由于低温泵容器30的外面在低温泵10的工作时，即制冷机工作期间也暴露于低温泵10的外部环境中，因此维持高于放射屏蔽40的温度。典型的有，低温泵容器30的温度被维持在环境温度。在此，环境温度是指设置有低温泵10的地点的温度或者接近其温度的温度，例 如为室温程度。并且，在低温泵容器30的制冷机容纳部38的内部设置有压力传感器54。压力传感器54周期性测定制冷机容纳部38的内部压力，即低温泵容器30的压力，并将表示测定压力的信号输出至控制部20。将压力传感器54的输出可通信地连接于控制部20。另外，压力传感器54还可设置于低温泵容器30的胴部32。压力传感器54具有包含通过低温泵10实现的较高的真空水平和大气压水平双方的较广的计量范围。优选至少将能够在再生处理中产生的压力范围包含于计量范围内。在本实施方式中，优选使用例如晶体压力计作为压力传感器54。晶体压力计是指利用水晶振子的振动阻力随压力而变化的现象来测定压力的传感器。或者，压力传感器54也可以为皮拉尼真空计。另外，可将真空水平的测定用压力传感器与大气压水平的测定用压力传感器的各一个设置于低温泵10。低温泵容器30上连接有通气阀70、粗抽阀72及抽气阀74。通气阀70、粗抽阀72及抽气阀74的开闭分别通过控制部20控制。通气阀70设置于排出管路80的例如末端。或者通气阀70可设置于排出管路80的中途，且在末端设置用于回收被排出的流体的罐等。通过使通气阀70开阀来容许排出管路80的流动，通过使通气阀70闭阀来阻止排出管路80的流动。排出的流体基本上为气体，但是也可以是液体或气液混合物。例如低温泵10中所凝缩的气体液化物可以与排出流体混在一起。能够通过使通气阀70开阀，将低温泵容器30的内部中产生的正压释放于外部。排出管路80称为用于将低温泵10的内部与外部连通的不同于泵口 34的流体路径。因此，通过在排出管路80设置适当的真空泵，或者通过将排出管路80与适当的真空泵连接，可通过排出管路80对低温泵10的内部进行减压。排出管路80包括用于从低温泵10的内部空间向外部环境排出流体的排出导管82。排出导管82例如连接于低温泵容器30的制冷机容纳部38。排出导管82是与流动方向正交的截面为圆形的导管，但也可以具有其他任何截面形状。排出管路80还可以包含用于从排出导管82中排出的流体中去除异物的过滤器。该过滤器可以在排出管路80中设置于通气阀70的上游。通气阀70构成为还作为所谓的安全阀发挥作用。通气阀70是设置于排出导管82的例如常闭型控制阀。通气阀70进一步预先设定闭阀力，以便在预定差压发挥作用时机械式开阀。该设定差压例如能够考虑可作用于低温泵容器30的内压或低温泵容器30的结构上的耐久性等而适当地设定。由于低温泵10的外部环境通常为大气压，所以设定差压以大气压为基准设定为规定的值。通气阀70通常在例如如再生中等从低温泵10放出流体时，通过控制部20开阀。在不被放出时，通气阀70通过控制部20闭阀。另一方面，当设定差压作用时，通气阀70被机械式开阀。因此，当低温泵内部由于某些理由成为高压时，无需进行控制而通气阀70被机械式开阀。由此，能够放出内部的高压。这样，通气阀70作为安全阀发挥作用。如此通过将通气阀70兼作安全阀，从而与分别设置2个阀时相比可以得到降低成本或节省空间之类的优点。粗抽阀72连接于粗抽泵73。粗抽阀72还被设置于将低温泵10的内部与外部连通的与泵口 34不同的流体路径。通过粗抽阀72的开闭，粗抽泵73与低温泵10之间被连 通或截断。粗抽泵73典型地作为与低温泵10不同的真空装置而设置，例如构成包括连接低温泵10的真空腔室的真空系统的一部分。能够通过打开粗抽阀72且使粗抽泵73工作，对低温泵10的内部进行减压。抽气阀74与未图示的净化气体供给装置连接。净化气体例如为氮气。控制部20控制抽气阀74，由此控制净化气体向低温泵10的供给。放射屏蔽40配设于低温泵容器30的内部。放射屏蔽40形成为一端具有开口且另一端被闭塞的圆筒状形状，即杯状形状。放射屏蔽40也可构成为如图I所示的一体的筒状，并且，也可以构成为通过多个零件作为整体构成筒状形状。这些多个零件也可以相互保持间隙而配设。低温泵容器30的胴部32及放射屏蔽40均形成为大致圆筒状，并在同轴上配设。低温泵容器30的胴部32的内径稍微大于放射屏蔽40的外径，放射屏蔽40在与低温泵容器30的胴部32的内面之间保持若干间隔而以与低温泵容器30非接触的状态配置。S卩，放射屏蔽40的外面与低温泵容器30的内面对置。另外，低温泵容器30的胴部32及放射屏蔽40的形状并非局限于圆筒形状，也可以是角筒形状或椭圆筒形状等任何截面的筒形状。典型的放射屏蔽40的形状为与低温泵容器30的胴部32的内面形状相似的形状。放射屏蔽40作为主要从来自低温泵容器30的辐射热保护第2冷却台14及热连接于该第2冷却台的低温板60的放射屏蔽而设置。第2冷却台14在放射屏蔽40的内部被配置于放射屏蔽40的大致中心轴上。放射屏蔽40以热连接的状态固定于第I冷却台13，并被冷却为与第I冷却台13相同程度的温度。低温板60例如包含多个板64。板64例如各自具有圆锥台的侧面形状，譬如伞状的形状。各板64被安装于在第2冷却台14上安装的板安装部件66。各板64上通常设置有活性炭等吸附剂(未图示)。吸附剂例如粘结于板64的里面。板安装部件66中多个板64相互隔开间隔而安装。从泵34观察，多个板64向朝向泵内部的方向排列。为了从来自真空腔室等的辐射热保护第2冷却台14及热连接于第2冷却台的低温板60，在放射屏蔽40的吸气口上设置挡板62。挡板62例如形成为百叶窗结构或人字形结构。挡板62可以形成为以放射屏蔽40的中心轴为中心的同心圆状，或者也可以形成为格子状等其他形状。挡板62安装于放射屏蔽40的开口侧的端部，被冷却为与放射屏蔽40相同程度的温度。放射屏蔽40的侧面上形成有制冷机安装孔42。制冷机安装孔42关于放射屏蔽40的中心轴方向形成于放射屏蔽40侧面的中央部。放射屏蔽40的制冷机安装孔42被设置于与低温泵容器30的开口 37相同的轴上。制冷机50的第2缸12及第2冷却台14从制冷机安装孔42沿着与放射屏蔽40的中心轴方向垂直的方向插入。放射屏蔽40在制冷机安装孔42中以热连接的状态固定于第I冷却台13。另外，可通过连接用套管将放射屏蔽40安装于第I冷却台13，由此代替将放射屏蔽40直接安装于第I冷却台13上。该套管例如为包围第2缸12的第I冷却台13侧的端部并用于将放射屏蔽40热连接于第I冷却台13上的传热部件。以下对基于上述结构的低温泵10的动作进行说明。当低温泵10工作时，首先在 其工作之前通过粗抽阀72并用粗抽泵73将低温泵容器30的内部粗抽至IPa左右。通过压力传感器54测定压力。之后，启动低温泵10。在基于控制部20的控制下，通过制冷机50的驱动冷却第I冷却台13及第2冷却台14，与这些热连接的放射屏蔽40、挡板62及低温板60也被冷却。被冷却的挡板62冷却从真空腔室朝向低温泵10内部飞来的气体分子，使在该冷却温度下蒸气压充分变低的气体(例如水分等)凝缩在表面并进行排气。在挡板62的冷却温度下蒸气压不会充分变低的气体通过挡板62进入放射屏蔽40内部。进入的气体分子中在低温板60的冷却温度下蒸气压充分变低的气体凝缩在低温板60的表面而被排气。在该冷却温度下蒸气压也未充分变低的气体(例如氢等)通过粘结于低温板60的表面并被冷却的吸附剂吸附而被排气。这样，低温泵10能够使安装端的真空腔室的真空度达到所希望的水平。图2是示意地表示用于本发明的一实施方式所涉及的低温泵10的泵盖100的图。图2示出泵盖100安装于低温泵10的样子。泵盖100安装于安装法兰36，并作为用于相对于外部气密地闭塞低温泵10的内部的盖结构而设置。因此，能够通过用泵盖100堵塞泵口34来相对于外部常压将低温泵10的内部保持成负压或真空。泵盖100具备用于堵塞泵口 34的盖主体102。盖主体102例如为具有与泵口 34的形状对应的形状的板状部件。在一实施例中，泵口 34为圆形，安装法兰36沿着泵口 34的外周设置成环状。此时，盖主体102为直径大于泵口 34的圆板部件，例如为具有与安装法兰36的外径相等的直径的圆板部件。盖主体102例如为金属制。盖主体102通过适当的安装方法例如使用螺栓及螺母安装于安装法兰36。例如将盖主体102通过多根螺栓及螺母以等间隔固定于安装法兰36。另外，以下为了方便起见，将朝向低温泵10的内部的侧的盖主体102的面称为“下表面”，将朝向外部的盖主体102的面称为“上表面”。对于后述的闭塞部件106也相同。盖主体102具有将低温泵10的内部与外部连通的小孔104。小孔104为连接盖主体102的上表面与下表面的开口。小孔104例如为圆形开口，但是也可以为任意的开口形状。小孔104的大小小于泵口 34，具体而言，考虑作用于闭塞部件106的压力而设计。优选小孔104的直径或宽度例如为Imm 10mm。小孔104形成于盖主体102的中心部，但是不限于此，为了将低温泵10的内部与外部连通也可形成于盖主体102的任意位置。另外，由于图2表示低温泵10的侧面，因此关于小孔104用虚线在与该形成部位对应的盖主体102的部位进行图示。在盖主体102的下表面，用于保证气密性的密封部件例如0型圈可设置于沿着安装法兰36的环状部位。或者，在盖主体102的下表面与安装法兰36之间可夹装环状弹性部件(例如橡胶部件)。此时，可使用贯穿盖主体102、弹性部件及安装法兰36的螺栓在安装法兰36安装盖主体102。能够通过夹装具有调整后的高度的弹性部件适当地保持盖主体102的下表面与挡板62 (参考图I)之间的间隙。尤其，当挡板62的上端比安装法兰36更向上方突出时，可在盖主体102的下面加工凹部以容纳挡板62的上端，但是夹装上述弹性部件更简单且优选。泵盖100进一步具备用于堵塞小孔104的闭塞部件106。闭塞部件106例如为具 有与小孔104的形状对应的形状的板状部件。一实施例中，小孔104为圆形，闭塞部件106为直径大于小孔104的圆板小盖。闭塞部件106为小于盖主体102的盖部件。闭塞部件106例如为金属制。闭塞部件106被安装于盖主体102的外侧。即，使闭塞部件106的下表面抵接于盖主体102的上表面地将闭塞部件106安装于盖主体102。闭塞部件106通过适当的安装方法，例如使用螺栓或螺钉等安装于划定小孔104的盖主体102的环状部位。沿着该环状部位且在闭塞部件106的下表面，可设置用于保证与盖主体102的气密性的密封部件例如0型圈。如此，闭塞部件106构成为可从低温泵10的外侧拆卸。另一实施例中，闭塞部件106可以为在表面具有粘结层的基材，例如密封塾、粘着齐U、胶带等。泵盖100可以为通过在小孔104粘贴这种密封垫来堵塞小孔104的结构。此时，考虑相对于密封垫的上表面与下表面的(即低温泵内外的)差压的耐久性，优选与上述小盖闭塞结构时相比缩小小孔104。接着，参考图3及图4对用于低温泵10的泵盖100的使用方法进行说明。图3是用于说明本发明的一实施方式所涉及的低温泵10的保管方法的流程图。图4是用于说明本发明的一实施方式所涉及的低温泵10的启动方法的流程图。图3所示的方法在保管低温泵10时可由工作人员进行，例如为了在低温泵10的制造工序的最终阶段向客户发货及输送而执行。提供一种低温泵的保管方法，其在低温泵10发货时使泵内部保持负压或真空，并向客户输送时及经过保管期间保持该负压或真空。首先，工作人员用盖堵塞用于接收由低温泵排气的气体的低温泵的泵口 34(SlO)。一实施例中，该盖为上述泵盖100。泵盖100的盖主体102通过适当的安装方法，例如使用螺栓及螺母安装于低温泵10的安装法兰36。泵盖100的小孔104通过闭塞部件106预先闭锁。因此，通过将泵盖100安装于低温泵10，由此低温泵10的内部呈气密状态。接着，工作人员通过将低温泵10的内部与外部连通的流体路径对低温泵10的内部进行减压(S12)。一实施例中，已用泵盖100堵塞泵口 34，因此该流体路径为与经由泵口34的路径不同的流体路径。一实施例中，通过连结低温泵10的内外的任一阀对低温泵10的内部进行减压。优选的一实施例中，使用粗抽泵73并通过粗抽阀72对低温泵10的内部进行真空抽取。低温泵10的内部减压成适当的设定压力以下，例如0.1气压以下。该压力例如能够通过实验或从经验的观点适当地规定，以使得在该压力下长期保存内置于低温泵10的吸附剂时的气体(尤其水分)的吸附量成为允许范围。一实施例中，用于该真空抽取的粗抽泵73的工作时间通过实验等适当规定为足以使低温泵10的内部成为设定压力以下的长度。并且，一实施例中，可以验证真空抽取后的低温泵10的内部压力(S14)。例如可通过使压力传感器54 (例如晶体压力计)动作来确认低温泵10的内部的负压是否处于上述的设定压力以下。确认到内部负压处于设定压力以下时，工作人员结束处理。内部负压未减压至设定压力时，可再次执行真空抽取。另外，通常通过上述工作时间的真空抽取来达到设定压力以下，因此可省略该验证工序。一实施例中，使压力传感器54动作的内部负压 的验证工序可在低温泵10的保管中随时执行。当通过压力传感器54测定的低温泵10的压力处于设定压力以下时，可保证内置于低温泵10的吸附剂到该时刻为止继续保持当初的保管状态。这样，能够提供根据压力传感器54的输出验证低温泵10的保管状态的方法。能够简单地确认低温泵10是否被良好地保管。根据本发明的一实施方式所涉及的低温泵10的保管方法，通过将内部保持为负压或真空，能够防止余量成分(例如水分)侵入泵内部。因此，能够防止低温板上的吸附剂例如活性炭在保管中过度吸附这种余量成分。并且，能够期待与密封干燥空气或氮气的代替方案相比能够以更低成本良好地保管。也无需担忧因过度吸附氮气等而产生的恶劣影响。另外，通过在泵口 34盖上盖保管，也能够防止异物侵入。图4所示的方法在真空腔室等低温泵安装端安装低温泵10并开始运行时由工作人员执行。低温泵10上安装有本发明的一实施方式所涉及的泵盖100。提供一种低温泵启动方法，其用于重新安装低温泵10，或者与现有的低温泵10交换来开始低温泵10的通常的真空排气运行。该启动方法可包含将应用上述低温泵保管方法的低温泵10作为预备机而准备的步骤。将使用中的低温泵10与该预备机交换，并运转预备机。对拆卸下来的低温泵10实施维护。一实施例中，首先工作人员可以验证所保管的低温泵10的内部压力(S20)。与上述验证工序相同，例如通过使压力传感器54(例如晶体压力计)动作，可确认低温泵10内部的负压是否处于上述设定压力以下。当确认到内部负压处于设定压力以下时，工作人员继续进行处理。当内部负压超过设定压力时，暂时结束处理，准备其他预备机。另外，可以省略该验证工序，工作人员也可以根据下一工序的拆卸闭塞部件106时的外部气体流入情况(例如因流动产生的声音等)推测预备机的保管状态。例如，当未感知到外部气体流入声音时，可认为因某种原因在保管中低温泵内部恢复到大气压。因此，这种情况时，暂时结束处理，并准备其他预备机。工作人员从盖主体102拆卸泵盖100的闭塞部件106 (S22)。由于闭塞部件106与盖主体102相比为尺寸相当小的盖部件或密封垫等，因此作用的差压充分小，能够容易拆卸。这样，能够简单地进行低温泵10内部的负压解除或真空破坏。接着，工作人员从低温泵10的安装法兰36拆卸盖主体102 (S24)。低温泵10的泵口 34被开放。低温泵10通过安装法兰36被安装于作为安装端的真空腔室等(S26)。使用粗抽泵73，低温泵10真空抽取至运行开始所需的真空度。在该预备真空抽取之后，开始用于低温泵10的真空排气运行的低温板冷却、所谓的降温工序。这样，进行低温泵10的装置装配，本发明的一实施方式所涉及的启动方法结束。接着，过渡到低温泵10的通常的排气运行。根据本发明的一实施方式所涉及的低温泵10的保管方法，能够缩短低温泵的装置装配的所需时间。主要能够大幅缩短达到降温开始所需的真空度之前的基于补助泵(例如粗抽泵73)的粗抽时间。可以认为低温板上的吸附剂处于保管当初的新鲜状态且真空抽取时实质上未放出气体，且与保管状态不良时相比，可预测缩短例如I 2小时的粗抽时间。由于大气压作为从外侧挤压盖的力发挥作用，因此低温泵10的内部为真空时从泵口 34拆卸盖主体102并非容易。若假设未设置闭塞部件106的实施例，则会通过任意阀进行真空破坏来代替从泵口 34直接拆卸盖。这些阀为具有用于在低温泵10的真空排气运行中可靠地保持内部的高真空的结构的真空阀，因此这种情况下单纯地开放阀也并非容易。因此，真空破坏通过拆卸任意阀来进行。拆卸工作成为工作人员的负担，并且在第2次阀安装工作中失误而在阀中啮入异物，因此还有可能产生真空保持功能下降。
根据本发明的一实施方式，将能够以小于直接拆卸盖主体102的力容易地进行真空破坏的闭塞部件106组装于盖结构，由此可消除这种问题。实际上能够容易地应用低温泵10的基于真空保持的保管。以上，根据实施例说明了本发明。但本发明并不限于上述实施方式，可以进行各种设计变更，本领域工作人员可理解可以实现各种变形例，并且这种变形例也在本发明的范围内。闭塞部件106为小盖部件时在可再利用这一点上是优选的，但是本发明并不限于此。例如，闭塞部件106可以为固定于盖主体102或者一体地形成的闭塞部分。闭塞部分例如相比其周围的部位形成为相当薄。工作人员可以通过用适当的工具在该闭塞部分开孔来进行真空破坏。闭塞部件106为在表面具有粘结层的基材时，可以贴附于盖主体102的内侧(即下表面)并堵塞小孔104。此时，工作人员从盖主体102的外侧向小孔104插入适当的工具来破坏闭塞部件106，由此可以进行真空破坏。由于闭塞部件106被贴在内侧，因此能够减轻失误(或者有目的地)而在保管中去除或损伤闭塞部件106的可能性。上述实施例中，通过与将低温泵10内部与外部连通的泵口 34不同的流体路径进行用于保管的减压，但是将低温泵10内部与外部连通的流体路径可以经由泵口 34。此时，工作人员可以通过泵盖100对低温泵10的内部进行减压。一实施例中，可以通过泵盖100的小孔104对低温泵10内部进行减压。减压后可以用闭塞部件106闭锁小孔104。即，上述实施例中，在低温泵10安装小孔104被闭锁的泵盖100来进行减压，但是本变形例中，向低温泵10安装泵盖100及内部减压之后，泵盖100的小孔104被闭锁。此时，闭塞部件106可以为在表面具有粘结层的基材，例如密封垫、粘着剂、胶带等。通过迅速地关闭小孔104，可充分较小地抑制从减压结束至小孔104闭塞期间的低温泵10内部压力的上升。
权利要求
1.一种盖结构，其用于将低温泵的内部保持成负压，其特征在于， 所述盖结构具备用于堵塞低温泵的泵口的盖主体， 所述盖主体具有将低温泵的内部与外部连通的小孔， 还具备用于堵塞所述小孔的闭塞部件。
2.如权利要求I所述的盖结构，其特征在于， 所述闭塞部件包括安装于所述盖主体的外侧的小盖、或在表面具有粘着层的基材。
3.—种低温泵，其特征在于， 具备权利要求I或2所述的盖结构。
4.一种低温泵的启动方法,其特征在于， 包括通过从盖主体拆卸安装于低温泵的权利要求I或2所述的盖结构的闭塞部件来解除低温泵内部的负压的步骤。
5.一种低温泵的保管方法，其特征在于，该方法包括 用盖堵塞用于接收由低温泵排气的气体的低温泵的泵口的步骤；及 通过将低温泵的内部与外部连通的流体路径对低温泵的内部进行减压的步骤。
全文摘要
本发明的课题在于良好地保管低温泵。本发明提供一种低温泵的保管方法，其包括用泵盖(100)堵塞用于接收由低温泵(10)排气的气体的低温泵的泵口的步骤、及通过将低温泵(10)的内部与外部连通的流体路径对低温泵(10)的内部进行减压的步骤。并且，本发明提供一种低温泵的启动方法，其包括通过从盖主体(102)拆卸安装于低温泵(10)的泵盖(100)的闭塞部件(106)来解除低温泵内部的负压的步骤。
文档编号F04B37/08GK102734122SQ20121009784
公开日2012年10月17日 申请日期2012年4月5日 优先权日2011年4月5日
发明者田中秀和 申请人:住友重机械工业株式会社