技术编号：5448419
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于微型泵的微加工过滤器，这种过滤器包括至少两个构成限定一个泵室的板的第一部件。确切地说，本发明涉及一种过滤器，这种过滤器可以在液体中过滤移向或流经一个微型泵的一个或若干阀门的尺寸很大的微粒(例如杂质)，以便这种泵的工作不受影响。这个问题尤其但不仅仅存在于压电控制式微型泵或用于传感器例如压力传感器的微型泵情况中，这些组件在一个硅元件和一个位于硅元件对面的玻璃元件之间接收液体。在微型泵的情况下，当泵不工作时也存在泄漏率问题。本发明也旨在限制一个...
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