专利名称：用于微型泵的微加工过滤器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于微型泵的微加工过滤器，这种过滤器包括至少两个构成限定一个泵室的板的第一部件。
确切地说，本发明涉及一种过滤器，这种过滤器可以在液体中过滤移向或流经一个微型泵的一个或若干阀门的尺寸很大的微粒(例如杂质)，以便这种泵的工作不受影响。这个问题尤其但不仅仅存在于压电控制式微型泵或用于传感器例如压力传感器的微型泵情况中，这些组件在一个硅元件和一个位于硅元件对面的玻璃元件之间接收液体。
在微型泵的情况下，当泵不工作时也存在泄漏率问题。本发明也旨在限制一个不工作微型泵的泄漏率问题。实际上，微型泵中很大的泄漏率可能影响这种微型泵的良好运转、安全性和精确性。如果微型泵植入人体用来控制液体的最佳流量，那么，重要的是这种泵的安全性要保持持久。
本发明的一个目的是提供一种用于微型泵的微加工过滤器，以便在过滤器出口，液体不含有尺寸很大的微粒，这些微粒可能影响微型泵所有组件和部件的良好工作。
为了达到这个目的，这种过滤器的特征在于，它包括液体供给件、液体收集件、形成板的第二部件和形成硅板的部件，所述形成板的第二部件以及所述形成硅板的部件分别相对，其间形成一个用于接纳液体的腔室，所述腔室由至少一个横向隔板加以局部节流，这种隔板的高度小于腔室的深度，把腔室分成相对于所述隔板的一个上游部分和一个下游部分，所述形成硅板的部件至少局部密封地固定在所述形成板的第二部件上，所述腔室的下游部分与所述泵室相连通，包括两个形成板的第一部件、形成硅板的部件和形成板的第二部件构成一种夹层结构。
本发明通过间置一个局部且几乎完全封闭一个流体流经的纵向腔室的隔板，解决了尺寸很大的微粒影响一个组件例如微型泵工作的问题。
这样可以区分本发明过滤器的两个功能降低阀门处的泄漏率，提高微型泵的安全性。实际上，如果进入的微粒的尺寸减小的话，那么，当微型泵停止工作时，液体通过进口阀门和/或出口阀门的流量就减少。另外，当微型泵进行作用时，这种过滤器避免发生尺寸很大的微粒阻碍阀门关闭并干扰微型泵起动的危险。
使用这种过滤器，由于完全保持很高的过滤效率，因此液体流动阻力很小。隔板最好弯折地通过腔室。这样可以减小过滤器的尺寸，保留隔板相同的总长度。
对于下面述及的实施例来说，腔室是刻在一个硅板表面上的槽。在用于微型泵的过滤器的最佳实施例中，一个形成板的第一部件和形成硅板的部件构成同一硅板，而另一个形成板的第一部件和形成板的第二部件构成同一玻璃板。
下面参照附图和非限制性实施例来描述本发明的其它特征和优越性。
附图如下
图1是本发明过滤器的简化纵向剖面图；图2是图1所示过滤器沿Ⅱ-Ⅱ方向的俯视图；图3是本发明最佳实施例中过滤器的俯视图；图4是一个微型泵的简化立体图；图5是装入一个微型泵中的本发明一个过滤器的竖直剖视图；图6是装入另一个型号微型泵中的本发明一个过滤器的局部放大竖直剖视图；图7是其它实施例中用于微型泵的一个过滤器的简化竖直纵向剖视图；图8是图3所示过滤器沿Ⅷ-Ⅷ方向的剖视图；图9是一个实施例中具有平行安装的隔板的过滤器的简化示意图；图10和11示出装在过滤器中的隔板的其它实施例；图12以示意图方式示出本发明过滤器的另一种可能的形状。
图1和2所示的过滤器包括一个叠放在一个硅板12上的玻璃板10，一个槽13布置在两个板之间，由于硅板上的刻槽，便于流体的流动，这种流动方向用箭头标示。由玻璃板10和硅板12构成的组件是采用硅工艺的许多电子元件中一种典型的叠放方式。板10和12可以例如通过阳极焊接工艺彼此进行固定，这个原理将在下面描述。为了制造过滤器，在焊接之前，必须在同玻璃板10相对的板12的外表面上开一个纵向槽13。这个纵向槽局部地而不是完全地由一个呈隔板20形状的障碍物加以堵塞，这个障碍物沿槽13的整个宽度但不完全沿该槽的整个高度进行延伸。
槽和隔板可以采用蚀刻工艺或氧化硅有选择生长工艺加以制造，这些工艺可以在很小的尺寸例如小于一微米的尺寸上进行加工。
由于这种隔板20，在玻璃板10和硅板12之间流动的流体在隔板20上面流过，这种隔板顶部和与隔板20相对的玻璃板10外表面之间的间隙，阻止尺寸大于所述间隙的杂质通过。
为了避免槽在隔板处具有很大的宽度D，最好制成一个弯折的隔板20′。图3示出具有这种结构的隔板实施例。由于这种弯折形状，就获得一种紧凑结构，液体在隔板20′处的流动阻力很小。在这种构型中，隔板20′包括隔板第一部件和隔板第二部件，所述隔板第一部件形成平行于槽13的纵向方向的呈直线的纵向通道，所述隔板第二部件形成呈直线的比较短的横向通道，交替地位于纵向通道的前面和后面，使之彼此相连并在槽13的侧壁之间形成一个连续隔板。图3示出一个在槽13的侧壁之间弯折通过的隔板20′，这个隔板20′由相同的隔板第一部件组成，这些第一部件置于呈平行状的有规律的并且侧面加以校准的间隙处，每个隔板第一部件一方面通过其前端而另一方面通过其后端借助于一个隔板第二部件同其两个相邻的隔板第一部件连接。
隔板20或20′最好具有同硅板12平面表面的正交方向相倾斜的倾斜侧壁。在这种情况下，隔板的横向剖面轮廓形成梯形，但是，一种三角形或矩形轮廓同比较圆的外形例如半椭圆形或半圆形轮廓一样也可以。
如同已经描述的那样，本发明尤其适用于在一个微型泵中流通的液体的过滤。图4示出这样一种微型泵，该微型泵由一个第一玻璃板10、一个硅板12和两个玻璃件14和16构成，第一玻璃板10开有泵的一个入口孔和一个出口孔，硅板12构成一个可变形膜片，两个玻璃件14和16固定在硅板12的另一个表面上，自由松开硅板12的一部分外表面12a。为避免引起这种结构中的机械应力，玻璃件10、14、16和硅板12之间最好通过阳极焊接进行连接。这种公知工艺是在约300℃的温度下使硅元件和玻璃元件的组件置于同硅板和玻璃板相接触的两个电极之间，对贴靠在玻璃上的电极施加约-1000V的负电位。这样，在硅膜片和各玻璃件之间获得较低温下的密封焊接。泵的工作由一个固定在硅板12自由表面12a上的压电起动机构18加以控制。由压电起动机构18的电控制引起的机械应力使膜片12变形，这样控制位于玻璃板10和硅板12之间的间隙中的液体进入和排出，这个间隙形成泵室9。
这种微型泵的工作情况可以参见国际专利申请PCT/IB95/00028。
图5和6采用图4所用的相同标号来标示微型泵的各个部件。图5示出微型泵的入口孔26和出口孔28。图5所示的微型泵配有一个进口阀30a和一个出口阀30b。阀30a和30b是在硅板上进行机械加工的阀，包括一个环形密封圈，支承在玻璃板10的外表面上。进口阀30a构成一个液体进入控制部件，位于槽13的下游即过滤器的下游和泵室9的上游。
图6仅仅是一部分微型泵的剖视图。采用的是与图5所示的阀不同的一种阀40a，这是一种膜片式阀。过滤器与进口阀一样设置在同一硅板12上。但是，当硅板12和玻璃板10一起安装时，过滤器不直接与进口阀40a相连通，而在图6所示的情况中，液体首先经由一个连接间隙22再到达进口阀40a。
硅板12进行机械加工时，过滤器的隔板20位于部分硅板12的上游，该硅板12与压电起动机构18相对，用作可变形膜片，而在配置进口阀30a或40a的情况下，该进口阀处于过滤器的下游。当液体流通时，如果液体流向微型泵进口管道26的出口，那么，液体首先通过过滤器，然后通过连接间隙22，当阀的每个侧边之间具有一个足够的压差时，再流经开启的进口阀30a或40a。
由于本发明的微型泵装置，阀和/或微型泵不存在由于尺寸很大的微粒(例如杂质)卡在液体通过的区域而发生工作故障的现象。因此，当微型泵不工作时，进口阀和出口阀可以关闭和保持密封，这样可以避免微型泵处的泄漏和压力损失。
在图1至图6所示的实施例中，过滤器与微型泵一样设置在同一硅板上，过滤器装在微型泵结构中。但是，可以在其它两个板-一个玻璃板和一个硅板之间设置一个过滤器，例如通过阳极焊接进行连接，这种位于微型泵玻璃板上的过滤器装有流体进入管道，这样，形成一种紧凑的夹层结构。
图7示出一种夹层情况，其中，形成硅板12的第一部件通过一个玻璃板10与形成硅板15的第二部件隔开，同时构成形成玻璃板的第一部件和形成玻璃板的第二部件。硅板15包括一个进口孔27，该进口孔通入配有隔板20的一个槽13中，槽13的下游部分与微型泵的进口孔26相连通。
前述几个实施例给出玻璃板和硅板叠放的某些可能性，但是，也可以有其它叠放方式，而这并不超出本发明范围。
本发明过滤器的另一个重要方面是，完全沿隔板进行均匀过滤，隔板顶部和板(最好是但不仅仅是玻璃板)的平面表面之间的间距E保持恒定，该板与隔板顶部相对，用作内装液体的腔室或槽13的顶板。根据本发明，由于配置连接件，用来以恒定的间距将所述隔板同形成板的部件相连接，这些部件同形成支承所述隔板底部的板的部件相对，因此，所述条件得到满足。
图8以连接点21的形式示出上述连接件，这些连接点21将隔板20′的顶部连接到与隔板相对的玻璃板10的平面表面上。这些连接点21构成用硅制成的隔板20′的点状延伸段，例如通过阳极焊接固定到玻璃板10上。如图8所示，隔板20′具有高度H，连接点21具有高度E，等于隔板20′和与之相对的平面表面之间的间距，即可以通过过滤器的微粒的最大尺寸。这个间距形成液体通过的一个缝隙，其最小尺寸可以达到0.1微米。也可以设计尺寸较大的连接件，构成隔板和玻璃板之间的一个柱状出口，参见下面描述的图9所示的构件56。
在槽13中安装至少两个并列的隔板20或20′，这样具有至少两个并行工作的过滤装置，即可获得更好的过滤效率。
采用一组五个隔板并列布置在流体的流动路径上进行过试验，每个隔板配有20个纵向分流通道。在这些试验中(参见图3)，槽13的宽度D在隔板20′处为1毫米，弯折隔板的一个纵向分流通道的长度L(或者一个弯折隔板的的宽度)也为1毫米，至隔板20′顶部的宽度I为10微米，弯折隔板的两个分流通道的相连顶部之间的横向间隙d为40微米。在这个试验中，隔板具有同正交于槽13底部的平面表面的方向相倾斜的倾斜侧壁。改变弯折隔板的宽度L和并列布置的隔板的数目进行过一些试验最好是弯折隔板的宽度L小于1毫米，两个相邻弯折隔板之间的宽度d为20至200微米，弯折隔板20′在一个大于或等于1毫米的长度D上延伸，至隔板顶部的宽度为1至20微米。
在隔板并列布置的情况下，为了分配各个不同过滤装置之间的液体流量，微型泵装置为每个过滤装置配有液体供给件以及在每个过滤装置出口配有液体收集件。例如，每个过滤装置的液体供给件由一个连接过滤装置入口的进口通道即相应的槽的上游部分构成，每个过滤装置出口处的液体收集件由一个与每个过滤装置出口连通的出口通道即相应的槽的下游部分构成，这些通道的下部高度低于隔板20′底部。
在过滤装置并列布置的情况下，采用液体分配件，用于对各个不同过滤器之间的液体进行均匀分配一个深沟或深槽，其底部高度是过滤器所有部分的最低高度，可以接纳液体。也必须配备密封隔离件，阻止两个相邻过滤装置之间的液体直接通过。
图9示出配有四个并列安装的过滤装置50的一个过滤器60的实施例。该图示出由线65限定的过滤器60，这个界限相应于硅板上刻槽区域的边缘，如果是一个简单的过滤器，则这个区域是一个槽13，液体可以在这个区域中流通。从上游到下游，即图9中从高到低，过滤器60具有一个在其出口端部呈喇叭形加宽的进口通道61a，一个深槽62a或过滤器的输入沟，一个液体供给通道64a，四个从左至右并排安装的过滤装置，一个与每个过滤装置50的出口相连通的液体收集通道64a，一个深槽62b或输出沟，以及一个其输入端部呈喇叭状加宽的输出通道61b。输入沟62a、供给通道64a、收集通道64b和输出沟62b形成腔室，用于接纳在过滤器60的整个宽度上流动的液体。
输入沟62a的深度可以使所有过滤装置之间的液体均匀分配，因此，要过滤的液体的容积在每个过滤装置中基本相等，这样，可以精确地确定这种过滤装置的尺寸，尤其是隔板的高度H可以降低而完全保持良好的过滤效率。实际上，就制造方面的原因而言，很难获得较大的隔板高度。另外，输入沟62a和输出沟62b在微型泵起动时减少有害的空气的存在。
图9中，隔离件是部件66，在过滤器60过滤区域的整个长度上形成相邻过滤装置50之间的隔离。这些部件66为矩形，使上面装有过滤器60的硅板同与该过滤器相对的玻璃板进行密封连接。每个过滤装置配有一个自上而下形成折皱的隔板20′，这个隔板包括若干排连接点21和若干连接柱56，它们位于隔板的某些弯折区域，以便形成尺寸比连接点大的连接件。
为了使液体流过一个隔板20′，一个输入壁68a(在图9呈水平延伸状)使一个隔板20′的近端同位于其右侧的部件66的近端相连(这些端部位于图9上部)，构成绕过所述壁68a、流经所述壁68a左端和一个部件66右边缘之间而进入过滤装置的液体的障碍物。对于每个过滤装置来说，这种构型包括一个区域51a，该区域在一个部件66和一个隔板20′之间、隔板20′的上游(左侧)位于该隔板的整个长度上，可以将液体分配在隔板20′的整个长度上。对称于输入壁68a，每个过滤装置具有一个输出壁68b，该输出壁从左向右水平延伸，使一个部件66的远端连接到位于其右侧的隔板的远端(这些端部处于图9的下部)。该输出壁68b阻止液体从区域51a的底部输出，使液体流过隔板20′，在隔板20′的右侧是一个液体回收区域51b，该区域51b在其上部由壁68a加以封闭，而在其构成过滤装置50的出口并与液体收集通道64b连通的下部予以开启。
要过滤的液体流入输入通道61a，分配在输入沟62a中，流入过滤装置的供给通道64a，流入区域51a，流过位于区域51a右侧的隔板20′，流向位于隔板20′右侧的区域51b的底部，流入在所有过滤装置50的出口处回收液体的收集通道64b，流入输出沟62b，再通过输出通道61b进行排放。
本发明过滤器的制造采用硅的微加工工艺隔板20或20′以及腔室或槽13通过硅板12机械加工而成。这种微加工可以通过基片氧化或光蚀法来进行。这样，槽13可以通过蚀刻制成，硅板通过表面蚀刻获得，构成液体通过缝隙的隔板区域通过清除在该部位形成的氧化物而获得，连接点可以用氧化硅制成，过滤器的玻璃罩通过阳极焊接与之相连。
在具有一个或若干弯折隔板20′(图3和9)的过滤器的最佳实施例中，当泵起动时，可能在弯折隔板的折皱中出现气泡。这些气泡的缺陷是限制弯折隔板的有效过滤长度。这种现象在图9所示的情况中进一步示出，在这种情况下，液体流动方向不正交于弯折隔板的总方向，而是平行于这个方向，隔板的一个端部在另一个之前与液体相接触。
在到达弯折隔板20′上游的液体压力的共轭作用(图10中箭头P)以及液体通过毛细管作用沿着布置在隔板顶部19之上的缝隙前送作用(图10中箭头C)下，当液体在隔板顶部处到达折皱附近而充满一个折皱空腔27之前，可能在所述空腔中形成气泡。实际上，在这种情况下，空气难以从充满液体的缝隙排出。
为了解决这个问题，已提出若干可以彼此组合的解决方案。
可以使连接件的宽度比隔板20′的顶部19的宽度大，以便这些连接件超出所述隔板20′的两侧。图10示出这种连接件，这种连接件呈柱21′的形状，有规律地分布在隔板第一部件23上，相对于这些隔板第一部件23横向超出。因为液体流过这些柱21′，所以它们构成液体通过毛细管作用沿着与隔板20′的顶部19相对的缝隙进行流动的障碍物，这样，如图8所示，因为这些柱21′直接同玻璃板10或位于隔板20′对面的任意板相连接，所以液体不可能通过毛细管作用进行流动。
根据其它一种可能性，在隔板20′的至少一部分长度上，隔板20′的表面是疏水的，因此，前面述及的毛细管现象不再是可能的，液体压力仍然可以使这种液体通过过滤器。确切地说，只有隔板20′的顶部19是疏水的，而竖直壁不是疏水的。为此，可以在隔板20′的至少一部分长度上，对隔板20′的表面施加一层疏水材料，或者去除硅隔板20′表面上的亲水氧化硅。这样，当泵起动时，隔板20′的疏水的硅与液体接触，抑制毛细管现象，从而在泵起动后不再阻碍氧化硅的形成。最好将疏水层至少布置在形成折皱27底部的隔板第二部件25的表面上。
也可以使弯折隔板20′成形成并使其尺寸确定成这样当泵起动时，腔室13上游部分一侧的隔板每个折皱27内，在同邻接该折皱27的隔板20′顶部19的位置相对的缝隙位置之前，完全充满液体。这个缝隙位置至少对应于隔板第二部件25。选择隔板20′的形状、轮廓、高度、总宽度和顶部宽度，就足以最大限度地减小液体在过滤器缝隙中毛细管作用下的流动速度。
例如，可以增加隔板的总长度，也就是说，加大液体通过毛细管作用所流经的通道，从而减小液体在毛细管作用下的流动速度。根据一种可能性，隔板20″的每个折皱的至少一部分长度呈Z字形。图11示出的实施例中，一个隔板20″的隔板第一部件23″呈弯折形状，具有彼此靠近的折皱。
也必须注意的是，Z字形构型可以加大液体流过的截面。这样，即使在某些折皱23″中产生气泡，也可以获得最低限度的过滤效率。
在医用微型泵中，尤其是对于某些具有特殊腐蚀性的药用流体来说，最好在与这种流体相接触的玻璃表面上配置一种保护膜。但是，这种膜不能准确地在玻璃所有暴露的表面上延伸，尤其是与玻璃和硅之间通过阳极焊接而获得的连接件相邻的区域不能完全由保护膜加以保护，这些区域易受药用流体的腐蚀。
为了缩小前面述及的易受药用流体腐蚀的区域，可以设计其它形状的过滤器。图12示出一种径向流动式过滤器70。这种过滤器70设置在一个硅板表面上制成的一个具有足够大形状的槽中，配有一个输入孔72和一个输出孔74。硅板20，例如呈Z字形或堞形缺口状，环绕两个孔中之一进行合拢，而另一个孔布置在硅板20的另一侧。同样，安装在隔板20上或该隔板一侧的柱71，可以在隔板顶部和与隔板20相对的玻璃板10的平面表面之间保持一个恒定的间距。
权利要求
1．一种用于微型泵(11)的微加工过滤器，所述微型泵包括至少两个构成限定一个泵室(9)的板(10,12)的第一部件，其特征在于，所述过滤器包括液体供给件、液体收集件、形成板(10)的第二部件和形成硅板(12；15)的部件，所述形成板(10)的第二部件以及所述形成硅板(12；15)的部件分别相对，其间形成一个用于接纳液体的腔室(13)，所述腔室(13)由至少一个横向隔板(20；20′)加以局部节流，这种隔板的高度小于腔室(13)的深度，把腔室(13)分成相对于所述隔板的一个上游部分和一个下游部分，所述形成硅板(12；15)的部件至少局部密封地固定在所述形成板(10)的第二部件上，其特征还在于，所述腔室(13)的下游部分与所述泵室(9)相连通，其特征还在于，包括两个形成板(10,12)的第一部件、形成硅板(12；15)的部件以及形成板(10)的第二部件构成一种夹层结构。
2．根据权利要求1所述的用于微型泵的微加工过滤器，其特征在于，隔板(20′)弯折成折皱通过腔室(13)。
3．根据权利要求2所述的用于微型泵的微加工过滤器，其特征在于，一方面是两个形成板(10,12)并限定所述泵室的第一部件以及另一方面是形成硅板(12；15)的部件和形成板(10)的第二部件之间的固定是通过阳极焊接进行的。
4．根据权利要求3所述的用于微型泵的微加工过滤器，其特征在于，微型泵(11)具有至少一个位于所述腔室(13)下游和所述泵室(9)上游的液体输入控制件(30a；40a)。
5．根据权利要求4所述的用于微型泵的微加工过滤器，其特征在于，一个形成板(12)的第一部件和形成硅板的部件构成同一硅板(12)，另一个形成板的第一部件和形成板的第二部件构成同一玻璃板(10)。
6．根据前述权利要求之一所述的用于微型泵的微加工过滤器，其特征在于，所述隔板(20；20′)和所述腔室(13)通过对形成硅板(12)的部件的一个表面进行机械加工而成。
7．根据前述权利要求之一所述的用于微型泵的微加工过滤器，其特征在于，所述隔板(20；20′)具有同正交于形成硅板(12)的部件的平面表面的方向相倾斜的倾斜侧壁。
8．根据前述权利要求之一所述的用于微型泵的微加工过滤器(60)，其特征在于，至少两个隔板(20,20′)并列安装在所述腔室(13)中，以便形成至少两个过滤装置(50)，它还包括用于每个过滤装置(50)的液体供给件(61a,62a,64a)以及用于在每个过滤装置(50)的出口处收集液体的液体收集件(64b,62b,61b)。
9．根据权利要求1或8所述的用于微型泵的微加工过滤器，其特征在于，所述液体供给件和所述液体收集件各自包括过滤器的一个输入通道(61a)和一个输出通道(61b)，所述通道的下部高度比隔板(20′)的底部低一些。
10．根据权利要求8所述的用于微型泵的微加工过滤器，其特征在于，所述液体供给件和所述液体收集件还包括液体分配件(62a,62b)，用于使液体在各个不同过滤装置(50)之间进行均匀分配。
11．根据权利要求10所述的用于微型泵的微加工过滤器，其特征在于，所述分配件包括一个深槽(62a,62b)，其底部高度构成过滤器可以接纳液体的所有部分的最低高度。
12．根据权利要求8所述的用于微型泵的微加工过滤器，其特征在于，它还包括阻碍液体在两个过滤装置(50)之间直接通过的隔离件(66,68a,68b)。
13．根据前述权利要求之一所述的用于微型泵的微加工过滤器，其特征在于，所述隔板包括连接件(21,56)，用于以一个恒定的间距使所述隔板(20；20′)同形成板(10)的部件直接连接，所述形成板(10)的部件与形成板(12；15)的支承所述隔板底部的部件相对置。
14．根据权利要求2所述的用于微型泵的微加工过滤器，其特征在于，弯曲折皱的宽度(L)小于1毫米。
15．根据权利要求2所述的用于微型泵的微加工过滤器，其特征在于，弯折隔板(20′)在至少为1毫米的长度(D)上延伸。
16．根据权利要求2所述的用于微型泵的微加工过滤器，其特征在于，两个相邻折皱之间的宽度(d)为20至200微米。
17．根据权利要求1或2所述的用于微型泵的微加工过滤器，其特征在于，隔板(20；20′)的顶部宽度(Ⅰ)为1至20微米。
18．根据前述权利要求之一所述的用于微型泵的微加工过滤器，其特征在于，形成板(10)的第二部件是用玻璃制的。
19．根据权利要求2和13所述的微加工过滤器，其特征在于，至少某些所述连接件(21′)的宽度大于隔板(20′)顶部(19)的宽度(Ⅰ)，以便它们超出所述隔板(20′)的两侧。
20．根据权利要求2所述的微加工过滤器，其特征在于，在所述隔板(20′)的至少一部分长度上，所述隔板(20′)的表面是疏水的。
21．根据权利要求2所述的微加工过滤器，其特征在于，隔板(20′)的尺寸确定成这样腔室(13)上游部分一侧的所述隔板(20′)的每个折皱(27)内，在同邻接该折皱的隔板(20′)顶部(19)的位置相对的缝隙位置之前，完全充满液体。
22．根据权利要求2所述的微加工过滤器，其特征在于，所述隔板(20″)的每个折皱的一部分长度(23″)呈Z字形。
全文摘要
一种微型泵(11),包括至少两个限定一个泵室(9)的板件(10,12)和一个过滤器,过滤器包括液体供给件、液体收集件、第二板件(10)和硅板件(12;15)。第二板件(10)及硅板件(12;15)彼此相对,其间形成一个用于接纳液体的腔室(13),所述腔室(13)由至少一个横向隔板(20;20′)加以局部节流,这种隔板的高度小于腔室(13)的深度,把腔室(13)分成相对于隔板的一个上游部分和一个下游部分。所述硅板件(12;15)至少局部密封地固定在第二板件(10)上,腔室(13)的下游部分与泵室(9)相连通,包括所有板件(10,12)的装置形成一种夹层结构。
文档编号F04B43/02GK1210576SQ97192168
公开日1999年3月10日 申请日期1997年2月10日 优先权日1996年2月9日
发明者哈拉尔德·范·林特尔, 伊·顺·伦基 申请人:威斯顿布里奇国际有限公司