技术编号：5451393
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空泵。本泵可广泛地应用于化工、医药、食品、电子、冶炼、电工、陶瓷、造纸、航空模拟、表面科学等多种场合的真空干燥、真空浓缩、真空脱气、真空包装、真空浸渍、真空治炼、真空热处理、真空镀膜、半导体刻蚀等等。真空泵的种类较多，按照其结构型式和运转方式不同，主要有旋片式真空泵、滑阀式真空泵、往复式真空泵、水环式真空泵等。上述已有真空泵的泵腔内通常都有工作介质——油或水，这些依靠油或水来密封与润滑泵腔内工作件的泵存在如下缺陷其一是泵腔内运动的摩擦副容易...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。