悬臂螺杆干式真空泵的制作方法

文档序号:5451393阅读:228来源:国知局
专利名称:悬臂螺杆干式真空泵的制作方法
技术领域
本实用新型涉及真空泵。本泵可广泛地应用于化工、医药、食品、电子、冶炼、电工、陶瓷、造纸、航空模拟、表面科学等多种场合的真空干燥、真空浓缩、真空脱气、真空包装、真空浸渍、真空治炼、真空热处理、真空镀膜、半导体刻蚀等等。
真空泵的种类较多,按照其结构型式和运转方式不同,主要有旋片式真空泵、滑阀式真空泵、往复式真空泵、水环式真空泵等。上述已有真空泵的泵腔内通常都有工作介质——油或水,这些依靠油或水来密封与润滑泵腔内工作件的泵存在如下缺陷其一是泵腔内运动的摩擦副容易损坏,可靠性差,常会出现故障;二是需要经常换油、换水,不仅油耗费用大,而且操作、清洗麻烦;三是工作介质会污染被抽气体。对于旋片式、往复式、滑阀式真空泵还存在对粉尘敏感等缺陷。
本实用新型的目的是克服已有技术的缺陷,提供一种在泵腔内真空侧无轴承,整个泵腔干式,无任何工作介质,采用悬臂螺杆结构可方便地增减级数的悬臂螺杆干式真空泵。
本实用新型悬臂螺杆干式真空泵的技术方案是有一个底座,在底座上安装齿轮箱,齿轮箱的前端联接泵体端盖,泵体端盖与泵体相连,齿轮箱后端联接电机座,电机座与电机相连,电机轴联接泵轴,其所述的泵轴是甲轴和乙轴,甲轴上安装甲齿轮,乙轴上安装乙齿轮,泵体端盖中安装轴承,电机座中安装轴承,各轴承与甲轴和乙轴相配合,在泵体中的甲轴上悬臂安装甲螺杆,在乙轴上悬臂安装乙螺杆,甲螺杆与乙螺杆同步啮合,互不接触。
本实用新型的悬臂螺杆干式真空泵,其甲、乙螺杆是一级或者二级或者二级以上。
本实用新型的悬臂螺杆干式真空泵,在甲轴和乙轴上安装轴端压盖。
本实用新型的悬臂螺杆干式真空泵,在泵体前端安装进气法兰,进气法兰连接进气管。
本实用新型的悬臂螺杆干式真空泵,其泵体端盖连接排气管组件,排气口在机座中。
本实用新型的悬臂螺杆干式真空泵,在齿轮箱中制有油镜和放油塞。
本实用新型是一种悬臂螺杆干式真空泵,与已有技术相比,具有如下积极效果一、泵体内两螺杆是悬臂结构,泵腔内真空侧无轴承、无轴封,避免抽吸有腐蚀性的气体或含粉尘气体时对轴承产生腐蚀与磨损,不存在因轴封磨损而影响真空泵性能,运行费用低,工作可靠,维修方便;二、泵腔内干式无任何工作介质,高清洁、无污染,可以回收有用气体,无三废处理;三、泵腔内无接触的摩擦件,整泵的易损件降低到最小量,对粉尘不敏感,使用范围广,寿命长,且能在较恶劣的工况下长时间可靠工作;四、可通过调整螺杆的螺距,增减级数就可使泵的抽气速率、真空度得到改变,满足不同用户的要求;五、代替小环真空泵、往复真空泵、油封旋转真空泵,以及这些泵与罗茨泵、油封扩散泵组成二真空机组。



图1是本实用新型悬臂螺杆干式真空泵结构示意图;图2是本实用新型悬臂螺杆干式真空泵外型主视图;图3是本实用新型悬臂螺杆干式真空泵进气端示意图。
下面结合
图1-图2对本实用新型的实施例作详细的说明。
1、进气法兰;2、密封垫;3、轴端压盖;4、泵体;5、甲螺杆;6、乙螺杆;7、甲轴;8、乙轴;9、轴封;10、密封圈;11、泵体端盖;12、轴承;13、油镜;14、齿轮箱;15、甲齿轮;16、键;17、乙齿轮;18、密封圈;19、轴承;20、联轴器;21、电机座;22、电机;23、吊环;24、水管接头;25、排气管组件;26、齿轮油;27、放油塞;28、底座;29、排气口;30、进气口。
本实用新型涉及真空泵,特别是涉及一种悬臂螺杆干式真空泵,有一个底座28,在底座28上安装齿轮箱14,齿轮箱14的一头联接泵体端盖11,泵体端盖11与泵体4相连。齿轮箱14的另一头联接电机座21,电机座21与电机22相连,这样构成主体外部结构,泵的内部工作传动关系,由电机轴经联轴器20带动甲轴7,甲轴7上的甲齿轮15带动乙齿轮17,乙齿轮17带动乙轴8,甲轴7和乙轴8所配合的轴承12、19等分别安装在泵体端盖11和电机座21中,在齿轮箱14一侧轴承12呈开放型式。在泵体4内的泵腔中甲轴7上安装甲螺杆5,乙轴8上安装乙螺杆6,两螺杆分别由轴端压盖3相固定,而没有轴承,呈悬臂状,对于泵体端盖11中的轴承12等由轴封9、密封圈10等封住,泵腔中两螺杆互相啮合,完成抽气,没有任何工作介质,所以是螺杆干式抽气。也可以在泵体端盖轴封处加压缩气体,完全防止泵腔内气体进入齿轮箱,污染润滑油而影响齿轮与轴承的正常工作,适合于工况特别恶劣的场合。如果改变甲、乙螺杆5、6的螺距和级数,就会使抽气速率及真空度产生变化。通常甲、乙螺杆是二级或三级或四级等,甚至更多级,如
图1所示是三级。泵体内气体过流部分的零件表面可以镀保护层,小零件采用耐腐蚀材料,可方便地制成耐腐蚀型泵。在泵体4的前端安装进气法兰1,进气法兰1的进气口30通进气管。被抽气体经泵体端盖11的排气管组件25、机座28中的排气口29排出。底座中的排气管内可装有消声器,也可以连接冷凝器,回收有用气体,并可以减少排放有害气体。齿轮箱14中灌有齿轮润滑油26,所以安有油镜13,并制有放油孔,安装放油塞27。
权利要求1.悬臂螺杆干式真空泵,有一个底座(28),在底座上安装齿轮箱(14),齿轮箱的前端联接泵体端盖(11),泵体端盖与泵体(4)相连,齿轮箱(14)后端联接电机座(21),电机座与电机(22)相连,电机轴联接泵轴,其特征在于所述的泵轴是甲轴(7)和乙轴(8),甲轴上安装甲齿轮(15),乙轴上安装乙齿轮(17),泵体端盖(11)中安装轴承(12),电机座(21)中安装轴承(19),各轴承(12、19)与甲轴(7)和乙轴(8)相配合,在泵体(4)中的甲轴(7)上悬臂安装甲螺杆(5),在乙轴(8)上悬臂安装乙螺杆(6),甲螺杆(5)与乙螺杆(6)同步啮合。
2.如权利要求1所述的悬臂螺杆干式真空泵,其特征在于甲、乙螺杆是一级或者二级或者二级以上。
3.如权利要求1所述的悬臂螺杆干式真空泵,其特征在于甲轴和乙轴上安装轴端压盖(3)。
4.如权利要求1所述的悬臂螺杆干式真空泵,其特征在于泵体(4)前端安装进气法兰(1),进气法兰连接进气管。
5.如权利要求1所述的悬臂螺杆干式真空泵,其特征在于泵体端盖(11)连接排气管组件(25),排气口(29)在机座(28)中。
6.如权利要求1所述的悬臂螺杆干式真空泵,其特征在于齿轮箱(14)中制有油镜(13)和放油塞(27)。
专利摘要悬臂螺杆干式真空泵,有一个底座,底座上安齿轮箱,齿轮箱的一头联接泵体端盖和泵体,另一头联接电机座和电机,电机轴联接泵轴,泵轴有甲轴和乙轴,甲轴上安甲齿轮,乙轴上安乙齿轮,泵体端盖和电机座中安装轴承,各轴承与甲轴和乙轴配合,在泵体的泵腔中甲轴和乙轴无轴承,呈悬臂。甲轴上悬臂安甲螺杆,乙轴上悬臂安乙螺杆,两螺杆互相啮合完成抽气,泵腔中无工作介质,是干式抽气。
文档编号F04C18/16GK2402836SQ9925455
公开日2000年10月25日 申请日期1999年11月23日 优先权日1999年11月23日
发明者林刚直 申请人:林刚直
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