薄膜泵及具有薄膜泵的装置的制作方法技术资料下载

技术编号:5457688

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本发明涉及泵结构,特别涉及一种应用于流体运输或循环系统上的薄膜泵。技术背景现有常见的压电式泵结构,如圉l所示,所述结构是包括一腔体10,所述腔 体10的底面设有一进水管道101及出水管道102,同时在进水管道101及出水管 道102的内部管口上分别设置止逆阀20及20a,于所述腔体10的顶面则设有一 薄膜HB,所述薄膜103的上方则平贴一致动组件104,此致动组件104为压电片; 藉此,所述致动组件104通电之后,带动薄膜103于中段产生上、下摆动作用(如...
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