薄膜泵及具有薄膜泵的装置的制作方法

专利名称：薄膜泵及具有薄膜泵的装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及泵结构，特别涉及一种应用于流体运输或循环系统上的薄膜泵。
技术背景现有常见的压电式泵结构，如圉l所示，所述结构是包括一腔体10,所述腔 体10的底面设有一进水管道101及出水管道102,同时在进水管道101及出水管 道102的内部管口上分别设置止逆阀20及20a,于所述腔体10的顶面则设有一 薄膜HB,所述薄膜103的上方则平贴一致动组件104,此致动组件104为压电片； 藉此，所述致动组件104通电之后，带动薄膜103于中段产生上、下摆动作用(如 图式箭头所示)，亦因两止逆阀20、 20a位于迸水管道101及出水管道102的特 殊位置设计，当致动组件104上摆时，所述腔体10内部的压力小于外部压力，两 止逆阀20、 20a皆会朝上移动，则止逆阀20会使进水管道101与腔体10的通道 开通，令流入进水管道101内的工作流体得以进到腔体10内部，而止逆阀20a则 将出水管道102与腔体10的通道挡住，流出出水管道102的工作流体不会再回流 至腔体10内；而当致动组件104下压时，带动所述薄膜103压缩所述腔体10的 空间以产生压力，两止逆阀20、 20a皆会朝下移动，则止逆阀20a会将出水管道 102与腔体10的通道开通，进而使在腔体10内部被压迫的工作流体自出水管道 102流出，止逆阀20则将进水管道101与腔体10的通道挡住，腔体iO内的水不 会流出进水管道101,借着连续的上、下摆动作用，使得工作流体可循序渐进地 自进水管道101进入腔体H),再流出出水管道102,因此，所述泵结构成为推动 工作流体流动的源头。然而，此种的压电式泵结构却存在若干缺陷，首先，由于其进水管道101及 出水管道102皆设于所述腔体IO底面，虽然其结构已较以往旧有结构更为縮小， 使得管道位置的设计却不易再縮减，难以应用在更为薄型的应用空间中，如目前 的笔记本电脑或应用于微小化的生医器材使用；再者，所述致动组件104所摆动 的方式是由中段产生上、下摆动的作用，当致动组件104向下压时，同时带动所述薄膜103向下压迫腔体10内的工作流体，而使工作流体往两边流动，虽然在进 水管道101及出水管道102的管口分别设有止逆阀20、 20a,防止工作流体流入 进水管道101而产生回流情况，但致动组件104是以中间位置作为摆动区域，因 此造成所述致动组件104的摆动幅度过小，使得每一次摆动时，进出腔体10的流 量不高，成为所述泵结构未尽理想之处。发明内容针对上述的缺失，本发明的目的在于提供一种薄膜泵及具有薄膜泵的装置， 是利用以单边扇形摆动的致动组件作动，以上、下大幅度摆动的作动方式压迫流 经泵内部的工作流体，驱使所述工作流体形成单一方向的流动方式，除可压缩所 述泵的结构使其更薄型化外，其单边大幅度摆动的运动模式配合水流动方向，更 提升所述泵及其循环系统的工作效率。为达成上述的目的，本发明提供一种薄膜泵及具有薄騍泵的装置，所述结构 是主要包括一腔体，所述腔体内是具有一第一腔室及一第二腔室，且所述第一腔 室与第二腔室相互连通，而所述腔体的一侧或两侧分别设有一进水管道及一出水 管道，并与上述的第一腔室与第二腔室形成连通状态，于所述第一腔室及第二腔 室同侧内壁面上分别设有阀体，以防止工作流体产生回流状态，另，于所述腔体 顶面设有一薄膜，于所述薄膜上又贴附一致动组件，以带动薄膜上、下摆动，压 迫第一腔室内的工作流体产生单一方向的循环流动，藉此，除了将所述泵结构更 为薄型化外，更提升所述泵的工作效能，使得工作流体的流量增大。本发明还提供一种薄膜泵，是包括 一腔体，所述腔体上分别具有一进水管 道及一出水管道；一薄膜，是设于所述腔体顶面位置；以及一致动组件，是平贴 于所述薄膜的上表面，所述致动组件具有一圃定端及一摆动端，所述摆动端是以 单边扇型摆动作动；通过所述致动组件所产生的扇形大幅度摆动作用，使腔体内 部的体积产生变化，以使存于腔体内部的工作流体自进水管道导入并自出水管道 导出，而产生单一方向的流动。本发明还提供一种具有薄膜泵的装置，是包括一腔体，所述腔体上分别具 有一进水管道及一出水管道； 一薄膜，是设于所述腔体顶面位置；以及一致动组 件，是平贴于所述薄膜的上表面，所述致动组件具有一固定端及-摆动端，所述 摆动端是以单边扇型摆动作动； 一第二腔体，是与所述腔体相连通通过所述致动组件所产生的扇形大幅度摆动作用，使腔体内部的体积产生变化，以使存于腔 体内部的工作流体自进水管道导入并自出水管道导出，而产生单一方向的流动。


圉l为现有的结构剖视图；图2为本发明的立体结构分解示意图；图3为本发明的组合完成图；图4为本发明的操作示意剖视图一；图5为本发明的操作示意剖视图二；图6为本发明的管道结构剖视图一；图7为本发明的管道结构剖视图二图8为本发明第二实施例的结构俯视图；图9为本发明的装置结构俯视图；图IO为本发明的另一装置结构俯视图；图n为本发明与现有的薄膜摆动方式比较示意图。附图标记说明(现有)腔体10;进水管道101;出水管道102;薄膜103;致动组件104; 止逆阈20。(本发明)腔体l;第一腔室ll:穿槽lll;第二腔室12;通孔13;进水 管道14;出水管道15;阀体2、 2a:柱体21;板体22:薄膜3;致动组件4; 國定端41;摆动端42;电极导线5;壳体6:穿槽61、 6h、 61b;导管7;第二 腔体8;第二腔室81;进水管道82:出水管道83;第一腔体9;第一腔室91;进 水管道92:出水管道93:摆动角度e:变形量S1、 82。
具体实施方式
请参阅图2及图3，是分别为本发明的立体结构分解示意图及组合完成图。 如图所示，本发明的泵结构是以一腔体1为主体，所述腔体1内分别具有一第一 腔室11及一第二腔室12，所述第一腔室ii及第二腔室12是用以容置工作流体, 于本实施例中所述第一腔室11是大于第二腔室12并相互区隔，且两者相互连通, 于本实施例中在两者之间设有--通孔13使第--腔室11及第二腔室12相互连通，而所述腔体1的外缘左、右侧分别设有一进水管道14及一出水管道15,且所述 进水管道14及出水管道15分别与第一腔室11及第二腔室12相互连通，另于所 述第一腔室11内壁面且对应于进水管道14的位置上设有一阀体2，于本实施例 中所述阀体2的一端设有一柱体2i，是套设于内壁面上所设的穿槽Ul,自柱体 21上延伸一板体22,且对应于所述进水管道14的管口位置，是用以阻挡工作流 体自第一腔室11回流进到所述进水管道14而流出腔体1外，而于第二腔室12 内壁面且对应于所述通孔13位置亦设有一阀体2a,是用以阻挡工作流体自第二 腔室12经由所述通孔13回流至第一腔室11内，且所述阀体2a设置的方式等同 于第一腔室ll内的阀体2。续参阅图2，于所述腔体1的上端面设有薄膜3，所述薄膜3是由具高张力的 材质所构成，所述薄膜3的大小等同于所述腔体1的一端面面积，并完全覆盖所 述第一腔室11及第二腔室12;而于所述薄膜3上方设有一致动组件4，于本实施 例中所述致动组件4为一压电片，且对应设置于所述第一腔室11的上方，并平贴 于所述薄膜3，其中所述致动组件4具有一固定端41及一摆动端42,所述固定端 41是与出水管道15同侧，且所述固定端41并与多个电极导线5连接，以供所述 致动组件4所霈要的电力，而所述摆动端42是平贴于薄膜3的表面，在通电的后 所述摆动端42形成单边扇形大幅度的摆动方式作动，如图ll的比较图式下，在 相同的摆动角度0下，以扇形摆动的方式所得的变形量S2远大于以中段摆动方式 的变形量Sl,使得所述扇形摆动方式能集中将工作流体带往同一方向流动，同时 带动所述薄膜3向第一腔室11压迫，改善现有致动组件在作动时所产生摆动过小 的缺失及其所产生的出水量过小的问题，此外，所述致动组件4的摆动频率可依 不同的需要作不同的调整。最后，所述腔体1亦可与一壳体6对应结合，将上述的薄膜3及致动组件4 包覆于其中，所述壳体6上开设有多个穿槽61、 61a及61b,是分别对应于所述 致动组件4、电极导线5以及第二腔室12的位置，并使所述致动组件4外露而具 有延展的空间，所述致动组件4亦同时穿设所述电极导线5;其组合完成图如图3 所示。请参阅图4及图5，为本发明的操作示意剖视图，可应用于液体运输系统或 循环系统(如水冷循环系统)等，如图所示，所述进水管道14及出水管道15分别 连接系统的导管7，使薄膜泵与系统中所包括的其它组件形成连通状态(图未明示)，以便于工作流体进到所述薄膜泵中；其中，当电源经由导线5导电至所述 致动组件4上，致使所述致动组件4的摆动端42产生单边扇形摆动作用，如图4 所示，在所述致动组件4的摆动端42向下摆动时，同时带动所述薄膜3压缩第一 腔室11内部空间以产生压力，迫使工作流体产生冲力冲过所述阀体2a (如箭头 所示)而往第二腔室12流动，虽有少部分的工作流体会往进水管道14流动，但 薄膜3产生的冲力亦会压迫阀体2紧闭所述进水管道14的管口 ，以防止工作流体 回流至进水管道14;而当所述致动组件4的摆动端42往上摆动时，如图5所示， 所述薄膜3恢复其原状以释放第一腔室11内的空间，使第一腔室11内部的压力 小于外部压力，而迫使工作流体自进水管道ll冲过所述阀体2 (如箭头所示)流 进至第一腔室U内，而残存于出水管道15及第二腔室12内的工作流体亦因压力 而产生一冲力，以冲压所述阀体2a,反使得阀体2a紧闭所述通孔13,阻挡出水 管道15及第二腔室12中所存有的工作流体回流至第一腔室n中，藉此使薄腹泵 内部的工作流体形成较大流量且呈单一方向的流动。此外，所述进水管道14及出水管道15的设置位置除了上述设于腔体1左、 右两侧外，亦可依不同的需要而改变所述进水管道14及出水管道15的位置，如 图6所示，所述进水管道14设于腔体1的一侧并与第一腔室11形成连通状态， 而所述出水管道15则设于所述腔体1的底部位置，并与所述第二腔室12形成连 通；或如图7所示，所述迸水管道14及出水管道15皆设于所述腔体1的底部， 且进水管道14及出水管道15分别与第一腔室11及第二腔室12形成连通，设于 第一腔室11内的阀体2的位置对应于所述进水管道W的位置，以阻挡工作流体 回流至进水管道14内；藉此，经由所述阀体2的作用，使得进入所述腔体i内的 工作流体形成一进一出的泵作用，以改善现有中的泵结构出水量过小的缺失。请参阅图8,为本发明的第二实施例的结构俯视圉。如图所示，所述薄膜泵 是以一腔体1为主体，其中所述腔体1的内部具有一第--腔室U及第二腔室12, 于本实施例中所述第二腔室12是设于所述第--腔室11的--侧，且两者经由--通 孔13相互连通，另所述腔体1具有一进水管道14及一出水管道15,且所述进水 管道14及出水管道是设于同一侧边，所述进水管道14及出水管道15分别与第-腔室U及第二腔室12形成连通状态，于所述第一腔室11的内壁面且对应于所述 进水管道14位置设有一阀体2，另于第二腔室12的内壁面且对应于通孔13位置 设有-阀体2a;又于所述腔体l的顶面设有一薄膜3,且同时覆盖于第--腔室U及第二腔室12的位置，于所述薄膜3的上表面则设有一致动组件4，所述致动组 件4分别具有一固定端41及摆动端42,所述画定端41是与多个电极导线5电连 接，且于本实施例中所述固定端41是与进水管道14及出水管道15同侧，以利所 述致动组件4的摆动端42形成单边扇形摆动作用；暈后，所述腔体1亦可与一壳 体6对应结合，以将上述的薄膜3及致动组件4包覆于其中。因此，当设于腔体1上的致动组件4通电后，致使所述致动组件4的摆动端 42产生单边扇形摆动作用，在摆动端42向下摆动时，同时带动薄膜3向第一腔 室11内部压缩，造成第一腔室11内压力增大，迫使存留于第一腔室11内的工作 流体产生冲力而同时向进水管道14及出水管道15方向移动，当工作流体往进水 管道14流动时，所产生的冲力会冲压对应于所述进水管道14位置的阀体2，使 阀体2紧闭所述进水管道14,以避免工作流体流入所述进水管道14而产生回淹 现象，在此同时，向出水管道15流动的工作流体所产生的冲力则将阀体2a冲离， 使工作流体经由所述第二腔室12而流动至其它组件位置；而当所述致动组件4 向上摆动，所述薄膜3恢复原状后而使第一腔室11内的压力恢复，造成外部压力 大于第一腔室U内部压力，迫使工作流体流入进水管道14并推离所述阀体2而 进到所述第一腔室11内，另外，存于第二腔室12的工作流体亦因压力作用而产 生一冲力，冲压设于通孔13位置上的阀体2a,使阀体2a紧闭所述通孔13,以阻 挡工作流体回流至第一腔室11内，使所述薄膜泵形成单一流向的循环作用。请参阅图9，为包括本发明的薄膜泵所应用的装置结构俯视图。如图所示， 于本实施例中所述泵结构是包括一腔体l,其中所述腔体l内具有一第一腔室U， 于腔体1的左、右侧分别设有--进水管道14及一出水管道15,又于所述第一腔 室11内壁面且对应于进水管道14的位置上设有一阀体2,是用以防止第一腔室 11内的工作流体回流至进水管道14中，另所述腔体1的顶面设有一薄膜3，所述 薄膜3的上表面则平贴一致动组件4,所述致动组件4具有-固定端41及摆动端 42,所述固定端41与电极导线5电连接，以提供所需要的电力；最后，所述腔体 1可与-壳体6对应接合，以将上述的组件包覆于其中；此外，所述进水管道14 及出水管道15的位置除了上述的分别设于腔体1对应的一侧外，可依不同霈要改 变其位置，可同时设于腔体1的同侧，或是腔体1的底部位置，或是同时设于一 侧边及底部位置。另外，所述腔体1是连接一第二腔体8，而所述第二腔体8内具有一第二腔室81,所述第二腔体8的左、右侧则设有一进水管道82及一出水管道83，且所 述进水管道82经由一导管7与腔体1的出水管道15形成连通，而于第二腔室81 内壁面设有一阀体2a，且对应于所述进水管道82的位置上，此外，出水管道亦 连接导管7;因此，当设于所述薄膜泵上的致动组件4通电运作时，会呈单边扇 形摆动方式运作，致动组件4产生下压动作后，带动薄膜3压縮第一腔室ll内部 空间而增大所述空间压力，迫使存留在第一腔室11内的工作流体产生冲力自出水 管道15流出，并经由导管7冲过第二腔体8内所设的阀体2a,而依序流动至第 二腔室81、出水管道83、导管7,进而流动至其它组件内，另一方面，亦有少部 分的工作流体同时冲击第一腔室11所设的阀体2，以使所述阀体2关闭所述进水 管道14,防止所述进水管道14外的工作流体回流至所述腔体1内而当所述致 动组件4往上摆动时，使第一腔室11内部压力回复常态，致使外部压力大于腔体 1内部压力，工作流体会经由进水管道14进到所述第一腔室11内，而同时存于 第二腔体8内部的工作流体则亦因压力产生冲力，直接冲压设于第二腔室81内的 阀体2a,迫使阀体2a紧闭进水管道82,以阻挡工作流体回流至腔体1内，致使 工作流体产生单一方向的循环作用。请参阅图W,为包括本发明的薄膜泵应用的另一装置结构俯视图。如图所示， 所述结构是包括一腔体1,所述腔体1内部是具有一第--腔室11，且与所述腔体 1的左、右侧分别设有一进水管道14及一出水管道15,另于所述第一腔室ll的 顶面设有一薄膜3,所述薄膜3的上表面设有一致动组件4,所述致动组件4则具 有一固定端41及摆动端42，其中所述固定端41更与多个电极导线5电连接，而 所述摆动端42则在通电后产生单边扇形摆动作用，另，所述腔体1可与一壳体6 对应接合，以将上述的组件包覆于其中；此外，所述进水管道14及出水管道15 的位置除了上述的分别设于腔体1对应的一侧外，可依不同需要改变其位置，可 同时设于腔体1的同侧，或是腔体1的底部位置，或是同时设于一侧边及底部位置上o另外，所述腔体1的进水管道14及出水管道15分别连接一第三腔体9及一 第二腔体8,且所述第二腔体8及第三腔体9内部分别具有一第二腔室81及第三 腔室91，所述第二腔体8及第三腔体9的左、右侧分别具有一进水管道82、 92 及一出水管道83、 93,且所述第三腔体9的出水管道93是与腔体1的进水管道 14通过--导管7形成连通状态，另所述第二腔体8的进水管道82与腔体1的出水管道15经由一导管7形成连通，于第三腔室91内壁面设有一阀体2且对应于 所述进水管道92的位置，同时于第二腔室81内壁面且对应出水管道15的位置则 设有另一阀体2a;藉此，当设于腔体l上的致动组件4开始作动而形成向下摆动， 带动薄膜3压缩腔体1的第一腔室U内部空间，迫使工作流体往进水管道14及 出水管道15流动，而工作流体因受挤压而产生的冲力，经由出水管道15而穿越 所述阀体2a,并依序流动至第二腔室81、出水管道83、导管7，进而继续往其它 组件流动，同时冲往进水管道14的工作流体，则冲压设于第三腔体9内的阀体2， 以紧闭所述第三腔体9的进水管道93位置，以防止进水管道92外的工作流体回 流至第三腔室91内；而当致动组件4向上摆动后，则使第一腔室ll恢复原来空 间，因外部压力大于第一腔室ll内的压力，迫使工作流体自迸水管道92冲过所 述阀体2，进而流到第一腔室ll内，同时存于第二腔体8内的工作流体亦产生一 冲力，冲压设于第二腔室81内的阀体2a,使所述阀体2a紧闭所述进水管道82 的位置，以避免工作流体回流至第一腔室ll内，藉此，使得所述薄膜泵形成单一 方向的循环作用。以上所述的实施方式，为较佳的实施实例，当不能以此限定本发明实施范围， 若依本发明权利要求书及说明书内容所作的等效变化或修饰，皆应属本发明下述 的专利涵盖范围。
权利要求
1. 一种薄膜泵，其特征在于，是包括一腔体，所述腔体上分别具有一进水管道及一出水管道；一第一腔室，是设于所述腔体内，与所述进水管道形成连通；一第二腔室，是设于所述腔体内，与所述第一腔室及所述出水管道形成连通；多个用以防止工作流体回流的阀体，是分别设于所述第一腔室及第二腔室的内壁面上，其中一阀体是对应于进水管道的位置，另一阀体则对应于第一腔室及第二腔室所连通的位置上；一薄膜，是设于所述腔体顶面位置；一致动组件，是平贴于所述薄膜的上表面，所述致动组件具有一固定端及一摆动端；通过所述致动组件的摆动端所产生单边大幅度扇形摆动作用，使所述腔体内部的体积产生变化，以使存于腔体内部的工作流体自进水管道导入并自出水管道导出，而产生单一方向的流动。
2、 如权利要求l所述的薄膜泵，其特征在于所述腔体更对应连接一壳体， 所述壳体上开设有多个穿槽，且分别对应于所述致动组件的固定端、摆动端及第 二腔室的位置。
3、 如权利要求2所述的薄膜泵，其特征在于所述固定端电连接多个电极导线。
4、 如权利要,3所述的薄膜泵，其特征在于所述多个电极导线是穿设于所 述对应的穿槽中。
5、 如权利要求1所述的薄膜泵，其特征在于所述第一腔室及第二腔室间设 有一通孔。
6、 如权利要求1所述的薄膜泵，其特征在于所述第一腔室邻近于进水管道 的内壁面设有-穿槽，所述阀体是具有一柱体及一板体，所述柱体是穿设于所述 穿槽中，所述板体对应于所述进水管道的位置。
7、 如权利要求5所述的薄膜泵，其特征在于所述第二腔室邻近于所述通孔 的内壁面设有-穿槽，所述阀体是具有一柱体及一板体，所述柱体是穿设于所述 穿槽中，所述板体对应于所述通孔的位置。
8、 如权利要求l所述的薄膜泵，其特征在于所述固定端是与所述出水管道同侧边。
9、 如权利要求1所述的薄膜泵，其特征在于.*进水管道及出水管道是分别设 于腔体相互对应的一侧位置。
10、 如权利要求l所述的薄膜泵，其特征在于进水管道及出水管道是设于 腔体同側位置。
11、 如权利要求1所述的薄膜泵，其特征在于进水管道及出水管道是设于 腔体底部。
12、 如权利要求1所述的薄膜泵，其特征在于进水管道及出水管道是分别 设于腔体一侧边及底部位置。
13、 如权利要求1所述的薄膜泵，其特征在于所述固定端电连接多个电极 导线。
14、 如权利要求1所述的薄膜泵，其特征在于所述致动组件为一压电片。
15、 一种薄膜泵，其特征在于，是包括一腔体，所述腔体上分别具有一进水管道及一出水管道； —薄膜，是设于所述腔体顶面位置；以及一致动组件，是平贴于所述薄膜的上表面，所述致动组件具有一固定端及一 摆动端，所述摆动端是以单边扇型摆动作动；通过所述致动组件所产生的扇形大幅度摆动作用，使腔体内部的体积产生变 化，以使存于腔体内部的工作流体自进水管道导入并自出水管道导出，而产生单 一方向的流动。
16、 如权利要求15所述的薄膜泵，其特征在于所述腔体更对应连接一壳体, 所述壳体上开设有多个穿槽，且分别对应于所述致动组件的固定端、摆动端。
17、 如权利要求16所述的薄膜泵，其特征在于所述固定端更电连接多个电极导线o
18、 如权利要求17所述的薄膜泵，其特征在于所述多个电极导线是穿设于 所述对应的穿槽中。
19、 如权利要求15所述的薄膜泵，其特征在于所述固定端是与所述出水管 道同侧边。
20、 如权利要求15所述的薄膜泵，其特征在于进水管道及出水管道是分别 设于腔体相互对应的一侧位置。
21、 如权利要求15所述的薄膜泵，其特征在于进水管道及出水管道是设于 腔体同侧位置。
22、 如权利要求15所述的薄膜泵，其特征在于迸水管道及出水管道是设于 腔体底部。
23、 如权利要求15所述的薄膜泵，其特征在于进水管道及出水管道是分别 设于腔体一侧边及底部位置。
24、 如权利要求15所述的薄膜泵，其特征在于所述腔体内更包括-—第一腔室，是与所述进水管道相连通；—第二腔室，是与所述第一腔室及所述出水管道相连通。
25、 如权利要求24所述的薄膜泵，其特征在于所述第一腔室与第二腔室间 设有一通孔。
26、 如权利要求25所述的薄膜泵，其特征在于所述第二腔室且对应所述通 孔位置设有一阀体。
27、 如权利要求26所述的薄膜泵，其特征在于所述第二腔室邻近于所述通 孔的内壁面设有一穿槽，所述阀体是具有一柱体及一板体，所述柱体是穿设于所 述穿槽中，所述板体对应于所述通孔的位置。
28、 如权利要求24所述的薄膜泵，其特征在于所述第一腔室的内壁面且对 应于进水管道位置设有一阀体。
29、 如权利要求28所述的薄膜泵，其特征在于所述第一腔室邻近于进水管 道的内壁面设有一穿槽，所述阀体是具有一柱体及一板体，所述柱体是穿设于所 述穿槽中，所述板体对应于所述进水管道的位置。
30、 如权利要求15所述的薄膜泵，其特征在于所述致动组件为一压电片。
31、 如权利要求15所述的薄膜泵，其特征在于所述固定端更电连接多个电 极导线。
32、 一种具有薄膜泵的装置，其特征在于，是包括—腔体，所述腔体上分别具有一进水管道及一出水管道； 一薄膜，是设于所述腔体顶面位置；以及—致动组件，是平貼于所述薄膜的上表面，所述致动组件具有一固定端及--摆动端，所述摆动端是以单边扇型摆动作动-, —第二腔体，是与所述腔体相连通；通过所述致动组件所产生的扇形大幅度摆动作用，使腔体内部的体积产生变 化，以使存于腔体内部的工作流体自进水管道导入并自出水管道导出，而产生单 一方向的流动。
33、 如权利要求32所述的具有薄膜泵的装置，其特征在于所述第二腔体更 包括一第二腔室、 一进水管道及一出水管道，且所述进水管道及出水管道与所述 第二腔室相连通。
34、 如权利要求32所述的具有薄膜泵的装置，其特征在于所述第二腔体的 进水管道是与腔体的出水管道相连通。
35、 如权利要求32所述的具有薄膜泵的装置，其特征在于所述第二腔体的 出水管道是与腔体的进水管道相连通。
36、 如权利要求32所述的具有薄膜泵的装置，其特征在于所述第二腔体的 内壁面且对应进水管道位置设有一阀体。
37、 如权利要求32所述的具有薄膜泵的装置，其特征在于所述腔体更包括 —腔室，且与腔体上的进水管道及出水管道相连通。
38、 如权利要求32所述的具有薄膜泵的装置，其特征在于所述腔室的内壁 面且对应进水管道位置设有一阀体。
39、 如权利要求32所述的具有薄膜泵的装置，其特征在于所述腔体更连接 一第三腔体。
40、 如权利要求39所述的具有薄膜泵的装置，其特征在于所述第三腔体更 包括一第三腔室、 一进水管道及一出水管道，且所述进水管道及出水管道与所述 第三腔室相连通。
41、 如权利要求39所述的具有薄膜泵的装置，其特征在于所述第三腔室的 内壁面且对应进水管道位置设有一阀体。
42、 如权利要求34所述的具有薄膜泵的装置，其特征在于所述腔体更对应 连接-'壳体，所述壳体上开设有多个穿槽，且分别对应于所述致动组件的固定端、 摆动端。
43、 如权利要求42所述的具有薄膜泵的装置，其特征在于所述固定端电连 接多个电极导线。
44、 如权利要求43所述的具有薄腹泵的装置，其特征在于所述多个电极导 线是穿设于所述对应的穿槽中。
45、 如权利要求34所述的具有薄膜泵的装置，其特征在于所述致动组件为 您屯斤。
46、 如权利要求34所述的具有薄膜泵的装置，其特征在于所述固定端电连 接多个电极导线。
47、 如权利要求34所述的具有薄膜泵的装置，其特征在于进水管道及出水 管道是分别设于腔体相互对应的一侧位置。
48、 如权利要求34所述的具有薄膜泵的装置，其特征在于进水管道及出水 管道是设于腔体同侧位置。
49、 如权利要求34所述的具有薄膜泵的装置，其特征在于进水管道及出水 管道是设于腔体底部。
50、 如权利要求34所述的具有薄膜泵的装置，其特征在于进水管道及出水 管道是分别设于腔体一側边及底部位置。
全文摘要
一种薄膜泵及具有薄膜泵的装置，所述结构是主要包括一腔体，所述腔体内是具有一第一腔室及一第二腔室，且所述第一腔室与第二腔室相互连通，而所述腔体的一侧或两侧分别设有一进水管道及一出水管道，并与上述的第一腔室与第二腔室形成连通状态，于所述第一腔室及第二腔室同侧内壁面上分别设有阀体，以防止工作流体产生回流状态，另，于所述腔体顶面设有一薄膜，且所述薄膜上贴附一致动组件，以带动薄膜上、下摆动，压迫第一腔室内的工作流体产生单一方向的循环流动，藉此，除了将所述泵结构更为薄型化外，更提升所述泵的工作效能，使得工作流体的流量增大。
文档编号F04B43/04GK101255858SQ20071007997
公开日2008年9月3日 申请日期2007年3月1日 优先权日2007年3月1日
发明者侯博仁, 吴鸿昀, 彭昌宏, 郭明健, 马小康 申请人:讯凯国际股份有限公司;马小康