一种升华泵冷却装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开一种升华泵冷却装置，所述冷却装置位于所述升华泵的壳体内部，所述冷却装置包括冷却管道、导入装置和导出装置，所述冷却管道为螺旋式管道，所述螺旋式管道沿升华蒸汽分子路径法向曲面螺绕升华泵泵芯，且与泵芯之间有一定距离，所述螺旋式管道一端连接导入装置，另一端连接导出装置。本实用新型以一种简单可行的方式为升华泵提供低温冷却装置，加快新鲜钛膜吸附速度从而加快抽真空的速度。与此同时维持升华泵泵体低温还可以促进升华泵表面吸附更多分子从而在实验过程中暂时性创造出相比于常温条件下更低的真空度。
【专利说明】
一种升华泵冷却装置
技术领域
[0001]本实用新型属于升华栗技术领域，具体涉及一种升华栗冷却装置。
【背景技术】
[0002]升华栗是一种将钛金属升华到栗壳表面，靠新鲜钛膜的化学吸附作用抽气的真空栗。在配备有前级栗的条件下可以使极限真空达到超高真空，因而广泛应用于表面物理、高能物理等对本底真空有极高要求的场合。升华栗抽气速率由被抽气体的种类及其压力、钛蒸汽升华率、钛膜面积和钛膜温度等因素共同决定。冷却剂对极限压力的影响不大，但对抽气速率的影响很大，例如使用液氮冷却的抽气速率可以比使用水大4倍。
[0003]目前市场上具备低温冷却的升华栗主要使用液氮冷阱来实现。由于冷阱结构相对复杂且应用到栗体上对升华栗的外形设计有一定的要求，因而不易对没有低温冷却装置的升华栗进行改造。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型为了提高系统抽真空的效率，提供一种升华栗冷却装置。
[0005]本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:一种升华栗冷却装置，所述冷却装置位于所述升华栗的壳体内部，所述冷却装置包括冷却管道、导入装置和导出装置，所述冷却管道为螺旋式管道，所述螺旋式管道沿升华蒸汽分子路径法向曲面螺绕升华栗栗芯，且与栗芯之间有一定距离，所述螺旋式管道一端连接导入装置，另一端连接导出装置。
[0006]优选地，还包括支撑结构，所述支撑结构固定于栗体内部，用于支撑固定螺旋式管道。
[0007]优选地，所述导入装置将冷却液导入所述螺旋式管道，所述导出装置与回收装置连接或直接将冷却液排出。
[0008]本实用新型有益效果是:本实用新型以一种简单可行的方式为升华栗提供低温冷却装置，加快新鲜钛膜吸附速度从而加快抽真空的速度。与此同时维持升华栗栗体低温还可以促进升华栗表面吸附更多分子从而在实验过程中暂时性创造出相比于常温条件下更低的真空度。
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型升华栗冷却装置一种实施例的结构示意图；
[0010]图中:1冷却管道，2支撑结构，3导入导出装置，4升华栗栗芯。
【具体实施方式】
[0011]结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明。
[0012]一种升华栗冷却装置，所述冷却装置位于所述升华栗的壳体内部，所述冷却装置包括冷却管道、导入装置和导出装置，所述冷却管道为螺旋式管道，所述螺旋式管道沿升华蒸汽分子路径法向曲面螺绕升华栗栗芯，且与栗芯之间有一定距离，所述螺旋式管道一端连接导入装置，另一端连接导出装置。
[0013]如图1所示，为本实用新型一种实施例的结构示意图，一种升华栗冷却装置，所述冷却装置位于所述升华栗的壳体内部，所述冷却管道I为螺旋式管道，所述螺旋式管道沿升华蒸汽分子路径法向曲面螺绕升华栗栗芯4，且与栗芯之间有一定距离，所述螺旋式管道通过固定在栗体内部的支撑结构2支撑，避免变形，所述螺旋式管道一端连接导入装置，另一端连接导出装置，本实施例中安装在升华栗体内部的螺旋式管道与升华栗栗体以及升华栗栗芯等结构保持悬空状态，本实施例的导入导出装置3在漏率允许的条件下尽可能减少与外部结构的接触，一段通过管道直接与冷却液相连，另一端连接回收装置或直接外排。
[0014]在此说明书中，本实用新型已参照其特定的实施例作了描述。但是，很显然仍可以做出各种修改和变换而不背离本实用新型的精神和范围。因此，说明书和附图应被认为是说明性的而非限制性的。
【主权项】
1.一种升华栗冷却装置，其特征在于，所述冷却装置位于所述升华栗的壳体内部，所述冷却装置包括冷却管道、导入装置和导出装置，所述冷却管道为螺旋式管道，所述螺旋式管道沿升华蒸汽分子路径法向曲面螺绕升华栗栗芯，且与栗芯之间有一定距离，所述螺旋式管道一端连接导入装置，另一端连接导出装置。2.根据权利要求1所述的升华栗冷却装置，其特征在于，还包括支撑结构，所述支撑结构固定于栗体内部，用于支撑固定螺旋式管道。3.根据权利要求1所述的升华栗冷却装置，其特征在于，所述导入装置将冷却液导入所述螺旋式管道，所述导出装置与回收装置连接或直接将冷却液排出。
【文档编号】F04B37/14GK205689389SQ201620561999
【公开日】2016年11月16日
【申请日】2016年6月13日 公开号201620561999.1, CN 201620561999, CN 205689389 U, CN 205689389U, CN-U-205689389, CN201620561999, CN201620561999.1, CN205689389 U, CN205689389U
【发明人】陈林, 刘玥峰, 郭艳玲, 邱顺利, 任飞
【申请人】兰州大学