技术编号：5459469
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。全旋涡旋干式真空泵，属于真空获得设备领域。 背景技术涡旋体抽气机理在上世纪的1905年即由美国人Cruex发明并申请专利，直到上世 纪80年代初期由于数控技术的发展才进入实用期，涡旋真空泵是一种结构简单、零部 件少的新型干式真空泵，工作压力从101300Pa开始，气体直接排入大气，单台极限压 力可达到1Pa，因而是一种先进的真空泵。常规涡旋真空泵所具有的用来形成抽气的两 个涡旋盘， 一个固定不动为定盘，另一个反向偏心安装可以摆动为动盘，动盘通过曲轴 驱动做...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。