专利名称:全旋涡旋干式真空泵的制作方法
技术领域:
全旋涡旋干式真空泵,属于真空获得设备领域。
背景技术:
涡旋体抽气机理在上世纪的1905年即由美国人Cruex发明并申请专利,直到上世 纪80年代初期由于数控技术的发展才进入实用期,涡旋真空泵是一种结构简单、零部 件少的新型干式真空泵,工作压力从101300Pa开始,气体直接排入大气,单台极限压 力可达到1Pa,因而是一种先进的真空泵。常规涡旋真空泵所具有的用来形成抽气的两 个涡旋盘, 一个固定不动为定盘,另一个反向偏心安装可以摆动为动盘,动盘通过曲轴 驱动做摆动运动而不能有自转运动,因此必需有防止自转运动的十字滑块机构或者是至 少三对防转小曲轴,而曲轴和十字滑块的制造精度要求很高,限制了涡旋真空泵的发展 和应用,而且由于存在防自转机构,动盘的相对位置固定不变,加工出现误差或者运行 中出现磨损的情况没有补救措施,只能报废涡旋体,不适于大批量生产。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种两个涡旋盘可同步旋 转,制造精度要求低,结构简单,便于生产安装的新型全旋涡旋干式真空泵。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是该全旋涡旋干式真空泵,包括电机、 支架、泵体、涡旋盘、主动轴、从动轴、进、排气口,电机通过支架与泵体相连,涡旋
盘安装在泵体内,其特征在于在主、从动轴端部增设传动机构,涡旋盘包括主动涡旋
盘和从动涡旋盘。
传动机构包括主、从动齿轮、主、从传动齿轮、与主动轴平行的传动轴,主动齿轮 安装在主动轴左端,主动齿轮与主传动齿轮啮合,主、从传动齿轮分别安装在传动轴两 端,从传动齿轮与从动齿轮啮合,从动齿轮安装在从动轴右端,主动涡旋盘安装在主动 轴右端,从动涡旋盘安装在从动轴左端。
从动轴为中空结构。同时起到了排气口的作用。
工作原理与现有技术相比,本发明全旋涡旋干式真空泵所具有的有益效果是由于两个涡旋 盘都是绕自身轴线旋转,可以有良好的动平衡性能。加工中出现的误差或者使用中有磨 损发生时,都可以通过调整其中一个涡旋盘的起始角度来弥补精度误差和磨损间隙,满 足使用要求。结构简单,安装方便,改变了原有动、定盘设计,从而不再需要制造高精 度的曲轴和十字滑块,降低了生产加工精度要求,便于大批量生产。
图1是本发明全旋涡旋干式真空泵结构示意图; 图2是本发明驱动轮系原理图3是本发明进气排气原理示意图。
图l-3是本发明全旋涡旋干式真空泵的最佳实施例。其中1、电机2、支架3、 主动齿轮4、泵体5、主动涡旋盘6、进气口 7、从动涡旋盘8、从动齿轮9、 从动轴10、排气口 11、主传动齿轮12、传动轴13、从传动齿轮14、主动轴。
具体实施例方式
下面结合附图l-3对本发明做进一步说明
参照附图1-2:
本全旋涡旋干式真空泵由电机l、支架2、主动齿轮3、泵体4、主动涡旋盘5、进 气口6、从动涡旋盘7、从动齿轮8、从动轴9、排气口 10、主传动齿轮ll、传动轴12、 从传动齿轮13、主动轴14组成。电机1通过支架2与泵体4相连,电机轴直接装在主 动轴14内,主动涡旋盘5和从动涡旋盘7安装在泵体4内。在主、从动轴端部增设传 动机构,传动机构包括主、从动齿轮3、 8、主、从传动齿轮13、 11、与主动轴14平行 的传动轴12,主动齿轮3安装在主动轴14左端,主动齿轮3与主传动齿轮13啮合, 主、从传动齿轮13、 11分别安装在传动轴12两端,从传动齿轮11与从动齿轮8啮合, 从动齿轮8安装在从动轴9右端,主动涡旋盘5安装在主动轴14右端,从动涡旋盘7 安装在从动轴9左端。
工作时,电机1驱动主动轴14带动主动涡旋盘5旋转,主动齿轮3驱动主、从传 动齿轮11和13,从传动齿轮13驱动从动齿轮8驱动从动轴9带动从动涡旋盘7旋转, 并与主动涡旋盘5保持同步,在从动涡旋盘7中心开设有排气口 10,气体经进气口 6 进入泵体4内,由排气口 10通过中空的从动轴9排至排气口 10排出泵体4外。
参照附图2:
是本发明采用的驱动轮系原理图。主动齿轮3和从传动齿轮13的传动比il为 il=- ( wl/co2) =-R/r 从传动齿轮ll和从动齿轮8的传动比i2为 i2=- ( co 2/co 3) =-r/R 所以w3=wlxilxi2=ojl
其中"1为主动齿轮3角速度,"2为中间从传动齿轮13、 ll角速度,co3为从动齿轮 8角速度,R为主、从动齿轮3和8的半径,r为中间从传动齿轮ll、 13的半径。 可以看出,主动齿轮3和从动齿轮8角速度相等,是同步旋转的。
参照附图3:
为主动和从动两个涡旋盘5、 7在轮系驱动下旋转时形成涡旋体的进气和排气的模 拟图,全图显示了每个涡旋盘分别旋转360。时的进气排气的过程,双尾箭头是气体向 涡旋体内运动示意。
当两涡旋盘处于A位时,为两涡旋盘的初始状态,当从此位开始同时旋转时,两涡 旋盘产生的两涡旋体外边沿逐渐分离,体积变大,气体开始进入涡旋体内,从B位一直 到F位涡旋体外边沿都是向外运动,从F位向G位转化时涡旋体边外沿开始向内运动, 但涡旋体形成的空腔继续在扩大,气体继续被吸入涡旋体,当从H位再旋转到A位时, 形成了完整的封闭腔,吸气过程结束,继续从A位开始旋转,新的吸气过程重新开始, 同时,前一个吸气过程中被封闭的气体继续向涡旋体中心移动,经过一定循环(与涡旋 体本身圈数有关)后,气体被压縮到涡旋体中心,通过涡旋体中心的排气孔排出泵外。
权利要求
1、全旋涡旋干式真空泵,包括电机(1)、支架(2)、泵体(4)、涡旋盘、主动轴(14)、从动轴(9)、进、排气口(6、10),电机(1)通过支架(2)与泵体(4)相连,涡旋盘安装在泵体(4)内,其特征在于在主、从动轴端部增设传动机构,涡旋盘包括主动涡旋盘(5)和从动涡旋盘(7)。
2、 根据权利要求1所述的全旋涡旋干式真空泵,其特征在于传动机构包括主、 从动齿轮(3、 8)、主、从传动齿轮(13、 11)、与主动轴(14)平行的传动轴(12),主动齿 轮(3)安装在主动轴(14)左端,主动齿轮(3)与主传动齿轮(13)啮合,主、从传动齿轮(13、 11)分别安装在传动轴(12)两端,从传动齿轮(11)与从动齿轮(8)啮合,从动齿轮(8)安 装在从动轴(9)右端,主动涡旋盘(5)安装在主动轴(14)右端,从动涡旋盘(7)安装在从 动轴(9)左端。
3、 根据权利要求1所述的全旋涡旋干式真空泵,其特征在于从动轴(9)为中空结构。
全文摘要
全旋涡旋干式真空泵,属于真空获得设备领域。包括电机(1)、支架(2)、泵体(4)、涡旋盘、主动轴(14)、从动轴(9)、进、排气口(6、10),电机(1)通过支架(2)与泵体(4)相连,涡旋盘安装在泵体(4)内,其特征在于在主、从动轴端部增设传动机构,涡旋盘包括主动涡旋盘(5)和从动涡旋盘(7)。由于两个涡旋盘都是绕自身轴线旋转,可以有良好的动平衡性能。加工中出现的误差或者使用中有磨损发生时,都可以通过调整其中一个涡旋盘的起始角度来弥补精度误差和磨损间隙。结构简单,改变了原有动、定盘设计,不再需要制造高精度的曲轴和十字滑块,降低生产加工精度要求,便于大批量生产。
文档编号F04C18/063GK101463815SQ20081013952
公开日2009年6月24日 申请日期2008年8月18日 优先权日2008年8月18日
发明者林乐忠, 赵玉刚 申请人:淄博干式真空泵有限公司