小型风冷油扩散泵的制作方法技术资料下载

技术编号:5487389

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本实用新型涉及真空机械设备领域,尤其涉及一种真空泵,具体为一种小型风冷油扩散泵。 背景技术油扩散泵是获得高真空的主要设备,广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验 和对油污染不敏感的一些真空系统中。通常的油扩散泵采用水冷却系统,主要由泵体、扩散 喷嘴、喷射喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、水冷却系统和前级挡油器部分组成。当油扩散泵 用前级泵预抽到低于7帕真空时,油锅可开始加热。油沸腾时沿蒸气导管上升至喷嘴处喷 出高速的油蒸气射流,被抽气体分子扩散到蒸气射流中,...
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