专利名称：小型风冷油扩散泵的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及真空机械设备领域，尤其涉及一种真空泵，具体为一种小型风冷
油扩散泵。
背景技术：
油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验 和对油污染不敏感的一些真空系统中。通常的油扩散泵采用水冷却系统，主要由泵体、扩散 喷嘴、喷射喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、水冷却系统和前级挡油器部分组成。当油扩散泵 用前级泵预抽到低于7帕真空时，油锅可开始加热。油沸腾时沿蒸气导管上升至喷嘴处喷 出高速的油蒸气射流，被抽气体分子扩散到蒸气射流中，与定向运动的油蒸气分子碰撞。气 体分子因此而获得动量，产生和油蒸气分子运动方向相同的定向流动。射流射向被冷却的 泵壁，油蒸气被冷凝，释出气体分子，并被逐级的携带、压縮最后被前级泵抽走而达到抽气 目的。 上述油扩散泵采用水冷却系统，由于扩散泵的油蒸气必须被冷却，而水冷却效果 较好，所以油扩散泵(无论大泵、小泵)通常采用水冷却系统，所以要求扩散泵在具备水源 和循环水系统的环境中使用，由于工作过程中不能断水，水的耗量很大，尤其是在没有循环 水系统的情况下对水资源是很大的浪费。
实用新型内容本实用新型的目的是针对现有技术不足之处，提供一种使用风扇及散热片对油扩 散泵进行冷却、且具有较强的前级抽油效果的小型风冷油扩散泵。 本实用新型通过以下技术方案实现一种小型风冷油扩散泵，包括风扇、位于油扩 散泵筒身的散热片，以及前级挡油器，前级挡油器一端与油扩散泵的排气口连接，另一端与 油扩散泵的前级泵连接。 其中，前级挡油器可以包括挡油器、分别安装于挡油器两端的第一密封接头和第 二密封接头。 其中，挡油器可以包括安装于其内部的铜网、密封座以及安装于密封座的第一密 封圈和挡片。 其中，第一密封接头焊接于挡油器一端，使得第一密封接头和挡油器成一体，挡油
器与第二密封接头的连接处可以安装有第二密封圈。 其中，散热片可以焊接于油扩散泵的筒身。 本实用新型的有益效果是通过在油扩散泵外壁设置散热片，并利用风扇增加散 热片的热传导来冷却筒体内壁从而实现冷却射向筒体内壁的油蒸气；通过设置前级挡油器 实现了阻止油扩散泵中油的流失和阻挡前级泵的返油；而且本实用新型的风冷油扩散泵体 积小、无需水冷，使用方便，特别适于缺水或没有水源的环境，对保护环境，节约水资源起到 了积极作用。
图1为本实用新型实施例的局部剖面图； 图2为本实用新型实施例的前级挡油器的局部立体图； 图3为本实用新型实施例的前级挡油器的剖面图。 其中l散热片；2筒身；3法兰；4第三密封圈；5定位片；6螺母；7—级喷嘴；8 二 级喷嘴；9前级直管；10前级弯管；11挡油器；12导流管；13水平喷嘴；14扩压管；15定位 销；16泵底；17电炉；18接线电极；19炉壳；20隔热板；21电炉支杆；22工作液；23保温罩； 24连接块；25连接片；26定位块；27拉杆；28第二密封接头；29第二密封圈；30 ;直管；31
铜网；32密封座；33第一密封圈；34销；35挡片；36连接螺钉；37第一密封接头。
具体实施方式下面结合实施例对本实用新型作进一步的描述 图1为本实用新型实施例的局部剖面图，图2为本实用新型实施例的前级挡油器 的局部立体图，图3为本实用新型实施例的前级挡油器的剖面图。如图l至图3所示，依据 本实用新型实施例的小型风冷油扩散泵包括风扇(图中未示出)、位于油扩散泵的筒身2 的散热片1，以及前级挡油器(如图2和图3所示)，前级挡油器一端与油扩散泵的排气口 (即前级直管的出口)连接，另一端与油扩散泵的前级泵(图中未示出)连接。其中，风扇 可以设置于油扩散泵上，也可以单独设置；散热片可以焊接于油扩散泵的筒身。 在本实施例中，前级挡油器可以包括挡油器11、分别安装于挡油器11两端的第一 密封接头37和第二密封接头28。 在本实施例中，挡油器11可以包括安装于其内部的铜网31、密封座32以及安装于 密封座32的第一密封圈33和挡片35，挡油器11与第一密封接头37可以焊接一体，挡油器 11与第二密封接头28的连接处可以安装有第二密封圈29。其中，铜网31用于挡油，销34、 连接螺钉36用于固定铜网31和限制密封座32和挡片35的径向位置，第一密封圈33起限 制铜网31、密封座32和挡片35的轴向位置的作用。 上述风冷油扩散泵中，散热片1、筒身2、法兰3、前级直管9、前级弯管10、泵底16、 扩压管14、及保温罩23组成泵体；定位片5、一级喷嘴7、二级喷嘴8、导流管12、水平喷嘴 13、定位块26以及拉杆27组成泵芯；电炉17、接线电极18、炉壳19、隔热板20以及电炉支 杆21组成加热器。其工作原理是通过加热器将泵体内的工作液22加热产生油蒸气，油蒸 气沿导流管12上升至各级喷嘴( 一级喷嘴7、二级喷嘴8和水平喷嘴13)， 一部分从水平喷 嘴13出口流向排气口，一部分通过一级喷嘴7和二级喷嘴8处的微小间隙定向地喷出，形 成高速油蒸气流，油蒸气流携带、压縮被抽气体，并将被抽气体逐级输送至排气口排出，被 前级泵抽走而达到抽气目的。油蒸气射向筒体2内壁时被通过风扇冷却的散热片l冷却后 流回油锅继续循环使用。 本实用新型的实施例通过在油扩散泵外壁设置散热片，并利用风扇增加散热片的 热传导来冷却筒体内壁从而实现冷却射向筒体内壁的油蒸气；通过设置前级挡油器实现了 阻止油扩散泵中油的流失和阻挡前级泵的返油；而且本实用新型的风冷油扩散泵体积小、 无需水冷，使用方便，特别适于缺水或没有水源的环境，对保护环境，节约水资源起到了积极作用。 以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技 术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改 进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求一种小型风冷油扩散泵，包括风扇、位于所述油扩散泵筒身的散热片，以及前级挡油器，所述前级挡油器一端与所述油扩散泵的排气口连接，另一端与所述油扩散泵的前级泵连接。
2. 如权利要求1所述的小型风冷油扩散泵，其特征在于，所述前级挡油器包括挡油器、 分别安装于所述挡油器两端的第一密封接头和第二密封接头。
3. 如权利要求2所述的小型风冷油扩散泵，其特征在于，所述挡油器包括安装于其内 部的铜网、密封座，以及安装于所述密封座的第一密封圈和挡片。
4. 如权利要求2所述的小型风冷油扩散泵，其特征在于，所述挡油器与所述第二密封 接头的连接处安装有第二密封圈，所述第一密封接头焊接于所述挡油器一端。
5. 如权利要求1所述的小型风冷油扩散泵，其特征在于，所述散热片焊接于所述油扩 散泵的筒身。
专利摘要本实用新型涉及小型风冷油扩散泵。该小型风冷油扩散泵包括风扇、位于油扩散泵筒身的散热片，以及前级挡油器，前级挡油器一端与油扩散泵的排气口连接，另一端与油扩散泵的前级泵连接。本实用新型的风冷油扩散泵体积小、无需水冷，使用方便，特别适于缺水或没有水源的环境，对保护环境，节约水资源起到了积极作用，且通过设置前级挡油器实现了阻止油扩散泵中油的流失和阻挡前级泵的返油。
文档编号F04F9/04GK201461560SQ20092011030
公开日2010年5月12日 申请日期2009年7月24日 优先权日2009年7月24日
发明者李春玉, 杨静, 赵阳 申请人:北京北仪创新真空技术有限责任公司