一种扩散泵喷流系统喷嘴的制作方法

文档序号:5505448阅读:425来源:国知局
专利名称:一种扩散泵喷流系统喷嘴的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种扩散泵喷流系统及其同类物品中的喷嘴,特别是一种改进了的喷嘴。
扩散泵是一种用于获得高真空的泵,其抽气原理是工作液被加热形成蒸汽,蒸汽从喷流系统中的喷嘴喷出后,形成超音速气流。被抽气体扩散到这种超音速蒸汽射流中被携带到泵的出口排出,抽气速率是扩散泵最主要的性能指标。
现有技术中,扩散泵喷流系统中喷嘴的喷嘴帽通过中心轴与喷嘴座连接,喷嘴帽的下沿为平口,喷嘴帽的内壁与喷嘴座的上沿形成同心环形的喉部间隙,喷嘴帽的下沿与喷嘴座的外壁形成同心环形的出口间隙。也有的是喷嘴帽的内壁与喷嘴座的外壁相配合,在喷嘴座上部适当位置钻有一周均布等直径的小孔,来替代同心环形的喉部间隙。这样的喷流系统中的喷嘴,工作液到达喷嘴出口时压强是均匀的,工作液蒸汽从喷嘴喷出后形成一个以喷嘴帽的下沿为上底直径,泵腔直径为下底直径的圆台形抽气自由界面。
本实用新型提供的是一种改进的喷嘴,其目的是提高扩散泵的抽气速率和抽气自由界面的面积。本实用新型是通过使圆台形的抽气自由界面变成波浪形,来达到增大抽气自由界面面积的目的。
本实用新型是这样实现的通过改变喷嘴的结构,喷嘴帽的内壁与喷嘴座的外壁相配合,在喷嘴座上部的适当位置设有一周不均匀的孔,喷嘴的出口为同心环形。这样,喷流系统内的工作液蒸汽到达喷嘴出口时的压强也就不相等,而喷嘴外的被抽气体压强在同一时刻在各处则是相同的。工作液蒸汽从喷嘴喷出后,其气流转角也就不同,从而使抽气自由界面变成波浪形,抽气面积得以增大,抽气速率可以有明显提高。本实用新型也可用于油增压泵。



图1.设有变径孔喷嘴座的喷嘴结构图。
以下结合附图详细说明如
图1,喷嘴帽1的内壁与喷嘴座2的外壁相配合,喷嘴帽1的下沿为平口,在喷嘴座2上部距上沿10~14mm处在同一截面上设有一周1.5~4mm不同直径的孔3,并由孔3直径的变化形成4~8个周期性变化的峰谷,即由小到大连接由大到小延续一周的变化。由于喷嘴座2上孔3直径的改变使得喷嘴能够获得高于现有喷嘴的抽气速率及抽气面积,并且极限压力也有所降低。根据扩散泵型号的不同上述方案中孔径的变化周期可以相应调整。
实施例
图1结构是本实用新型在KT-400型凸腔扩散泵上的应用。喷嘴座2外径为70mm,在距喷嘴座2上沿10mm处钻一周孔径周期变化的小孔3(孔径的变化见表1),这时测得扩散泵的抽气速率为9602L/S,极限压力低于5×10-5Pa,而原有技术中,是在距喷嘴座2上沿10mm处钻有一周均布的2.7mm的孔其它条件不变,这时测得扩散泵的抽气速率为7308L/S,极限压力低于6×10-5Pa。
由此实施例可以看出,在扩散泵原有尺寸基本不变的情况下,只对喷嘴结构做适当改变,即可使泵的抽速得到很大提高。
孔径1.6,2.0,2.4,2.7,2.8,3.0,3.3,3.6,3.3,3.0,2.8,2.7,2.4,2.0,1.6,2.0……表权利要求1.一种用于扩散泵喷流系统及其同类物品中的喷嘴,该喷嘴是由喷嘴帽1、喷嘴座2两部分构成,喷嘴帽1的内壁与喷嘴座2的外壁相配合,喷嘴帽1的下沿为平口,其特征在于在喷嘴座2上部距上沿10~14mm处在同一截面上设有一周1.5~4mm不同直径的孔3,并由孔3直径的变化形成4~8个周期性变化的峰谷。
专利摘要本实用新型提供的是一种用于扩散泵喷流系统中的喷嘴。本实用新型的特点是通过改变喷嘴的结构,喷嘴帽的内壁与喷嘴座的外壁相配合,在喷嘴座上部的适当位置设有一周不均匀的孔,喷嘴的出口为同心环形。使喷嘴的出口压强变得不均匀,从而使抽气自由界面形成波浪形,增大抽气面积,提高泵的抽气速率,达到提高工作效率之目的。
文档编号F04F9/00GK2052081SQ89214519
公开日1990年1月31日 申请日期1989年8月2日 优先权日1989年8月2日
发明者周海军 申请人:承德市真空设备厂
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