一种高真空扩散泵装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及电子工业真空获得技术领域，特指一种高真空扩散栗装置。
【背景技术】
[0002]扩散栗是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一。扩散栗是一种次级栗，它需要机械栗作为前级栗。扩散栗中的油在真空中加热到沸腾温度(约为250度)产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散栗进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强。这样，被抽气体分子沿着蒸气方向高速运动，气体分子碰到栗壁又反射回来，再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向栗壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气进气多级压缩，最后由前级栗抽走，而油蒸气在冷却的栗壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热，如此循环工作达到抽气目的。存在的问题是:1、油的蒸发与空气接触的面积有关，从而限制了油与空气接触的面积，影响蒸发的效率；2、加热元件故障易导致加热元件停止工作，加热元件出现故障导致加热功能无效，真空度变化，影响正常工作；3、气体分子的反扩散，导致油蒸汽絮乱，影响扩散栗的效率。
【发明内容】
[0003]针对现有技术的不足，本实用新型提供一种高真空扩散栗装置，本实用新型蒸发效率高，能避有效免油蒸汽反流和加热元件的故障问题。
[0004]本实用新型提供的一种高真空扩散栗装置是通过以下技术方案实现的:
[0005]一种高真空扩散栗装置，包括温水冷阱(1)、直腔栗壳(2)、栗芯(3)、排气水冷阱
(4)、内加热丝(5)、测量探头(6)、油位观察窗(7)、挡油帽(8)和回油管(9)，所述直腔栗壳
(2)为圆柱状，直腔栗壳(2)的上端设置有温水冷阱(1)，温水冷阱(I)的中心部位设置有挡油帽(8)，挡油帽(8)的下端设置有栗芯(3)，栗芯(3)的下端设置有内加热丝(5)，栗芯(3)的下端设置有回油管(9)，直腔栗壳(2)下端的两侧分别设置有排气水冷阱(4)和油位观察窗(7)，内加热丝(5)下端的中心设置有测温探头。
[0006]所述栗芯(3)上设有一级喷嘴(3-1)、二级喷嘴(3-2)、三级喷嘴(3-3)和四级喷嘴(3-4)，一级喷嘴(3-1)直接沉置在挡油帽(8)的下，一级喷嘴(3-1)下端设置二级喷嘴(3-2),三级喷嘴(3-3)和四级喷嘴(3-4)，一级喷嘴(3-1)、二级喷嘴(3-2)、三级喷嘴(3-3)和四级喷嘴(3-4)随着向下喷嘴的倾斜度越大。
[0007]所述内加热丝(5) 9组其中6组为常用加热丝，另外3组为备用加热丝，每组加热丝整体为扇形结构，加热丝沿圆周方向排列，每组加热丝排列一致。
[0008]所述回油管(9)为U型管，回油管(9)的一端连接在栗芯(3)的外侧，一端设置在栗芯(3)的内侧。
[0009]本实用新型的有益效果是:本实用新型回油管采用U型回油管，这样可以有效地避免油蒸汽的反流，同时加热丝为内加热丝做成等分的9等分，其中6组常用，另外3组为备用。在加工制作上减少了加工周期，同时保证加热温度。将加热丝内置于栗壳2内这样直接作用于栗油，大大提高了加热效率，随着向下喷嘴的倾斜度越大，使油蒸汽能与空气充分接触，提高了蒸发的效率。
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型一种高真空扩散栗装置的主视图和局部剖视图；
[0011]图2是本实用新型一种高真空扩散栗装置的加热丝布局图；
[0012]图3是本实用新型一种高真空扩散栗装置的栗芯结构；
[0013]图4是图1中A部分的局部剖视图。
[0014]图中标记:1为温水冷阱，2为直腔栗壳，3为栗芯，3-1为一级喷嘴，3-2为二级喷嘴，3-3为三级喷嘴，3-4为四级喷嘴，4为排气水冷阱，5为内加热丝，6为测量探头，7为油位观察窗，8为挡油帽，9为回油管。
【具体实施方式】
[0015]以下结合附图所示实施例的【具体实施方式】，对本实用新型的上述内容再作进一步的详细说明。
[0016]一种高真空扩散栗装置，包括温水冷阱(1)、直腔栗壳(2)、栗芯(3)、排气水冷阱
(4)、内加热丝(5)、测量探头(6)、油位观察窗(7)、挡油帽(8)和回油管(9)，所述直腔栗壳
(2)为圆柱状，直腔栗壳(2)的上端设置有温水冷阱(1)，温水冷阱(I)的中心部位设置有挡油帽(8)，挡油帽(8)的下端设置有栗芯(3)，栗芯(3)的下端设置有内加热丝(5)，栗芯(3)的下端设置有回油管(9)，直腔栗壳(2)下端的两侧分别设置有排气水冷阱(4)和油位观察窗(7)，内加热丝(5)下端的中心设置有测温探头。
[0017]栗芯(3)上设有一级喷嘴(3-1)、二级喷嘴(3-2)、三级喷嘴(3-3)和四级喷嘴(3-4)，一级喷嘴(3-1)直接沉置在挡油帽(8)的下，一级喷嘴(3-1)下端设置二级喷嘴(3-2),三级喷嘴(3-3)和四级喷嘴(3-4)，一级喷嘴(3-1)、二级喷嘴(3-2)、三级喷嘴(3-3)和四级喷嘴(3-4)随着向下喷嘴的倾斜度越大。
[0018]内加热丝(5) 9组其中6组为常用加热丝，另外3组为备用加热丝，每组加热丝整体为扇形结构，加热丝沿圆周方向排列，每组加热丝排列一致。
[0019]回油管(9)为U型管，回油管(9)的一端连接在栗芯(3)的外侧，一端设置在栗芯
(3)的内侧。
[0020]使用时栗内的油通过内加热丝(5)加热形成油蒸汽，油蒸汽进入到各个喷嘴，当油蒸汽从一级喷嘴(3-1)超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，这时直腔栗壳(2)内的气体因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到直腔栗壳(2)内壁上，在该处工作蒸汽大部分沿内壁通过回油管(9)回到油锅中循环使用，而被抽气体在直腔栗壳
(2)内壁堆积压缩，最后被二级喷嘴(3-2)、三级喷嘴(3-3)和四级喷嘴(3-4)的下级射流带走，达到逐级压缩，最后由前级栗抽走。
【主权项】
1.一种高真空扩散栗装置，包括温水冷阱(I)、直腔栗壳(2)、栗芯(3)、排气水冷阱(4)、内加热丝(5)、测量探头(6)、油位观察窗(7)、挡油帽(8)和回油管(9)，其特征在于:所述直腔栗壳(2)为圆柱状，直腔栗壳(2)的上端设置有温水冷阱(1)，温水冷阱(I)的中心部位设置有挡油帽(8)，挡油帽(8)的下端设置有栗芯(3)，栗芯(3)的下端设置有内加热丝(5)，栗芯(3)的下端设置有回油管(9)，直腔栗壳(2)下端的两侧分别设置有排气水冷阱(4)和油位观察窗(7)，内加热丝(5)下端的中心设置有测温探头。2.根据权利要求1所述的一种高真空扩散栗装置，其特征在于:所述栗芯(3)上设有一级喷嘴(3-1)、二级喷嘴(3-2 )、三级喷嘴(3-3 )和四级喷嘴(3-4 )，一级喷嘴(3-1)直接沉置在挡油帽(8)的下，一级喷嘴(3-1)下端设置二级喷嘴(3-2)、三级喷嘴(3-3)和四级喷嘴(3-4 )，一级喷嘴(3-1)、二级喷嘴(3-2 )、三级喷嘴(3-3 )和四级喷嘴(3-4 )随着向下喷嘴的倾斜度越大。3.根据权利要求1所述的一种高真空扩散栗装置，其特征在于:所述内加热丝(5)9组其中6组为常用加热丝，另外3组为备用加热丝，每组加热丝整体为扇形结构，加热丝沿圆周方向排列，每组加热丝排列一致。4.根据权利要求1所述的一种高真空扩散栗装置，其特征在于:所述回油管(9)为U型管，回油管(9)的一端连接在栗芯(3)的外侧，一端设置在栗芯(3)的内侧。
【专利摘要】本实用新型涉及电子工业真空获得技术领域，特指一种高真空扩散泵装置；包括温水冷阱1、直腔泵壳2、泵芯3、排气水冷阱4、内加热丝5、测量探头6、油位观察窗7、挡油帽8和回油管9，直腔泵壳2为圆柱状，直腔泵壳2的上端设置有温水冷阱1，温水冷阱1的中心部位设置有挡油帽8，挡油帽8的下端设置有泵芯3，泵芯3的下端设置有内加热丝5，泵芯3的下端设置有回油管9，直腔泵壳2下端的两侧分别设置有排气水冷阱4和油位观察窗7，内加热丝5下端的中心设置有测温探头，本实用新型蒸发效率高，能避有效免油蒸汽反流和加热元件的故障问题。
【IPC分类】F04F9/02
【公开号】CN204783873
【申请号】CN201520165338
【发明人】卢成, 王伟, 曹德
【申请人】成都国泰真空设备有限公司
【公开日】2015年11月18日
【申请日】2015年3月24日