一种扩散泵加热板结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种扩散泵加热板结构。
【背景技术】
[0002]目前，扩散泵需要加热里面所盛放的扩散泵油，电热板，直接对扩散泵底部的钢板进行加热。扩散泵底部钢板中把加热管的热量传导给扩散泵油，扩散泵油沸腾，形成扩散。扩撒泵底部和加热管用螺栓连接，当扩散泵底的加热管加热时膨胀，加热管膨胀大约一毫米左右，这时候，螺栓也膨胀，当扩撒泵停止使用的时候，加热管恢复到原来的形状，而螺栓恢复不到原先的紧定状态，导致加热管和扩撒泵底无法良好的接触，传热效率大大的降低，此时，加热管温度比紧顶的状态下高很多，加热管温度过高而烧毁，扩散泵底部与加热管接触点温度也过高，导致扩散泵底部因为温度变化不均匀导致变形而无法正常使用，这种平底加热方式，是其他厂一直沿用的，导致扩散泵底部的钢板和电热管需要较高的温度才能进行传递给扩散泵油，这样会使加热管和底板容易变形，导致损毁。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型要解决的技术问题是如何克服现有技术的上述缺陷，提供一种扩散泵加热板结构。
[0004]为解决上述技术问题，本扩散泵加热板结构所述的扩散泵包括扩散泵油、扩散泵底板，该扩散泵加热板结构包括加热板、加热管、顶紧螺栓、不锈钢板和固定螺栓，其中所述加热板上开有沟槽，所述加热管匹配嵌入该沟槽中，其上部略高出沟槽上沿，所述加热板及其沟槽内的加热管通过所述顶紧螺栓连接在所述扩散泵底板上，并通过旋拧该顶紧螺栓，使得所述加热板上表面紧贴所述扩散泵底板下表面，所述不锈钢板设置在所述顶紧螺栓下方，并通过所述固定螺栓紧固连接在所述加热板上。
[0005]作为优化，所述加热板上所开的沟槽为若干同心环形沟槽。
[0006]作为优化，所述加热管上部略高出沟槽上沿1mm。
[0007]作为优化，所述加热板与不锈钢板之前填充有保温棉。
[0008]如此设计，加热管的外面露出钢板上表面，让螺栓紧顶的时候，把加热管由于压力全部填充到开槽的钢板中，充分结合，使加热管传递的热量分为两个方面，一个是开槽的钢板，另一个是扩散泵的底板，而开槽的钢板又和扩撒泵底板仅仅的用螺栓上紧在一起，加热管无法膨胀，使底板和开槽的板紧密的贴合在一起，传递效率大大的增加，减少了加热管，泵底钢板和扩散泵油的温差，避免了加热管温度过高而烧毁，泵底钢板加热不均匀而变形，减少了螺栓因为温差过高而紧顶不了的问题。
[0009]本实用新型一种扩散泵加热板结构，扩散泵底部加热管是线接触形式，接触面积很小，利用带槽的加热板，可以快速吸收加热管释放的热量，传递给泵底部的钢板，效率提高，可以降低加热管和泵底，扩散泵油的温差，可以有效的避免加热管因为温度过高而烧毁，扩散泵底部变形而无法使用。
【附图说明】
[0010]下面结合附图对本实用新型一种扩散泵加热板结构作进一步说明:
[0011]图1是本扩散泵加热板结构的平面结构示意图；
[0012]图2是本扩散泵加热板结构的局部截面示意图。
[0013]图中:1-扩散泵油、2-扩散泵底板3-加热板、4-加热管、5-顶紧螺栓、6-不锈钢板、7-固定螺栓、8-保温棉。
【具体实施方式】
[0014]如图1、2所示，本扩散泵加热板结构包括本扩散泵加热板结构所述的扩散泵包括扩散泵油1、扩散泵底板2，该扩散泵加热板结构包括加热板3、加热管4、顶紧螺栓5、不锈钢板6和固定螺栓7，其中所述加热板3上开有沟槽，所述加热管4匹配嵌入该沟槽中，其上部略高出沟槽上沿，所述加热板3及其沟槽内的加热管4通过所述顶紧螺栓5连接在所述扩散泵底板2上，并通过旋拧该顶紧螺栓5，使得所述加热板3上表面紧贴所述扩散泵底板2下表面，所述不锈钢板6设置在所述顶紧螺栓5下方，并通过所述固定螺栓7紧固连接在所述加热板3上。所述加热板3上所开的沟槽为若干同心环形沟槽。所述加热管4上部略高出沟槽上沿1_。所述加热板3与不锈钢板6之前填充有保温棉8。
[0015]上述实施方式旨在举例说明本实用新型可为本领域专业技术人员实现或使用，对上述实施方式进行修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，故本实用新型包括但不限于上述实施方式，任何符合本权利要求书或说明书描述，符合与本文所公开的原理和新颖性、创造性特点的方法、工艺、产品，均落入本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种扩散泵加热板结构，所述扩散泵包括扩散泵油(I)、扩散泵底板(2)，其特征是:该扩散泵加热板结构包括加热板(3)、加热管(4)、顶紧螺栓(5)、不锈钢板(6)和固定螺栓(7)，其中所述加热板(3)上开有沟槽，所述加热管(4)匹配嵌入该沟槽中，其上部略高出沟槽上沿，所述加热板(3)及其沟槽内的加热管(4)通过所述顶紧螺栓(5)连接在所述扩散泵底板(2)上，并通过旋拧该顶紧螺栓(5)，使得所述加热板(3)上表面紧贴所述扩散泵底板(2)下表面，所述不锈钢板(6)设置在所述顶紧螺栓(5)下方，并通过所述固定螺栓(7)紧固连接在所述加热板(3)上。
2.根据权利要求1所述的扩散泵加热板结构，其特征是:所述加热板(3)上所开的沟槽为若干同心环形沟槽。
3.根据权利要求1所述的扩散泵加热板结构，其特征是:所述加热管(4)上部略高出沟槽上沿Imm0
4.根据权利要求1所述的扩散泵加热板结构，其特征是:所述加热板(3)与不锈钢板(6)之前填充有保温棉(8)。
【专利摘要】本实用新型涉及一种扩散泵加热板结构，该扩散泵加热板结构包括加热板、加热管、紧顶螺栓、不锈钢板和固定螺栓，其中加热板上开有沟槽，加热管匹配嵌入该沟槽中，其上部略高出沟槽上沿，加热板及其沟槽内的加热管通过顶紧螺栓连接在扩散泵底板上，并通过旋拧该顶紧螺栓，使得加热板上表面紧贴扩散泵底板下表面，不锈钢板设置在顶紧螺栓下方，并通过固定螺栓紧固连接在加热板上。本实用新型扩散泵底部加热管是线接触形式，接触面积很小，利用带槽的加热板，可以快速吸收加热管释放的热量，传递给泵底部的钢板，效率提高，可以降低加热管和泵底，扩散泵油的温差，有效的避免了因为温度过高而烧毁，扩散泵底部变形而无法使用。
【IPC分类】F04F9-00, H05B3-02
【公开号】CN204539495
【申请号】CN201520176546
【发明人】刘佩杰
【申请人】青州市宝丰镀膜科技有限公司
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2015年3月26日