电磁加热高真空油扩散泵的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种高真空油扩散栗，特别是涉及一种电磁加热高真空油扩散栗，它适用于真空烧结、真空热处理，镀膜设备。
【背景技术】
[0002]高真空油扩散栗属于射流真空栗的一种，它工作在高真空区域，以低压高速油蒸汽作为工作介质。栗的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸汽射流中而被携带到栗出口的排除的过程。它由栗体、栗芯组件、加热器等组件组成。栗体大都采用碳钢或不锈钢制造；栗芯组件是由喷嘴及导流管组成，栗芯组件是高真空油扩散栗的关键部件；加热器由加热元器件、电控箱组成。高真空油扩散栗除了在一般工业中有广泛的应用外，特别适用于那些要求对大的被抽容器进行快速抽空以及迅速排出被处理材料在处理过程中放出大量的气体的工艺过程。例如:真空永磁烧结，刀具，刃具热处理，真空幕墙玻璃镀膜设备等。
[0003]传统的高真空油扩散栗根据栗体的形状主要分为两种，为直腔和凸腔两种，其冷却方式有水冷套、铜管两种冷却方式，由于冷却效果在真空状态下起到比较大的作用。目前市面上没有水冷槽式的冷却扩散栗，由于传统技术结构及制造难度无法生产水冷槽式的高真空油扩散栗，使其生产加工制造受限制。传统的高真空油扩散栗的抽速小，原有抽气速率最大仅能达到8500L/S，极限真空低，极限真空度最高为7X 10 5Pa，达到极限真空时间长，返油率高，耗电量大。
【发明内容】
[0004]本发明就是为了解决上述技术问题而提供的一种电磁加热高真空油扩散栗，它具有加热速度快、冷却速度快效果好、返油率低、极限真空高、抽气速率高、耗电量低、达到极限真空时间短的特点。
[0005]为了达到上述目的，本发明是通过下述技术方案试下的:电磁加热高真空油扩散栗，它包括栗体、设置在栗体内的栗芯组件，其中电磁加热器设置在栗体底部、栗体的排气口处设有水冷挡油装置，栗体采用了直腔结构，栗体外设有水槽式冷却外套，栗芯组件垂直安装在栗体内的中心位置，栗芯组件结构是由内至外依次设置伞帽形一级喷嘴帽、伞帽形二级喷嘴帽、伞帽形三级喷嘴帽、三级导流管构成整体结构，各级伞帽喷嘴帽上均设有导流管，一级扩压导流管垂直焊接在三级导流管的内部中心位置，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。
[0006]上述的栗体直腔的中间体直径尺寸与进气口直径尺寸相同，栗体采用不锈钢制成，栗体的内外焊缝处采用两面焊接结构，栗体进气口处的法兰采用不锈钢整体结构。
[0007]上述的水槽式冷却外套结构如下，它是由不锈钢板折压制造而成，缠绕栗体外部形成水流导向结构；水流导向结构为冷却槽缠绕栗体外壁，冷却水在水冷却槽内流动，水冷却槽与栗体外壁接触处采用氩弧焊点焊连接，然后再满焊连接。
[0008]上述的栗体的下部设有观察窗和测温电阻。
[0009]上述的观察窗结构为第一无氧铜密封垫安装于小法兰口处，小法兰与小接管焊接，小法兰上部安装盲板法兰，第二无氧铜密封垫安装在主法兰上，主管法兰与主接管焊接，第二无氧铜密封垫与观察窗法兰连接。
[0010]上述的栗芯组件采用不锈钢拉丝板材料制造，其具体结构为:所述的栗芯组件采用不锈钢拉丝板材料制造，其具体结构为:一级喷嘴帽安装在一级喷嘴座上，一级喷嘴帽通过长螺杆与一级喷嘴座、三级导流管安装成一体，二级喷嘴安装在三级喷嘴上，三级喷嘴帽安装在三级导流管上，二级喷嘴帽与三级导流管通过垫圈、连接套管和不锈钢螺杆连接在一起，一级喷嘴帽通过长螺杆与一级喷嘴座、三级导流管安装成一体，一级扩压导流管垂直焊接在三级导流管的内部中心位置，二级间隙垫安装在三级喷嘴帽上，三级间隙垫安装三级导流管上部，一级喷嘴帽、二级喷嘴帽和三级喷嘴帽为伞帽形扩散喷嘴帽。
[0011]上述的栗芯组件的伞帽形扩散喷嘴的喷射角度为53~63度，一级扩压导流管的喷射角度为75度。
[0012]上述的电磁加热器的结构:所述的电磁加热器的结构如下:金属外壳内安装电磁耐热高温加热线，金属外壳由铝制品制造，金属外壳外部焊接有连接螺母，连接螺母通过紧固件连接于栗体底部，用于控制电磁加热器的电控箱安装在栗体上。
[0013]上述的水冷挡油装置垂直安装在栗体的排气口处，水冷挡油装置是由位于中心的水冷铜管及水冷铜管上由下至上间隔、交错排列的半圆形挡油片构成，水冷铜管与水冷法兰、无缝弯头焊接成一体。
[0014]上述的栗体的进气口上水平安装有水冷挡板，水冷挡板的结构如下:水冷挡板法兰上下端中部安装挡油帽体，挡片一、挡片二、挡片三、挡片四及挡片五安装在水冷挡板法兰内，固定拉筋、上挡片、压垫与挡片一、挡片二、挡片三、挡片四及挡片五焊接成一体结构，铜冷却管缠绕于挡片一、挡片二、挡片三、挡片四及挡片五外，把手、水嘴组件、测量元件焊接于水冷挡板法兰外侧，挡片一、挡片二、挡片三、挡片四及挡片五的水平方向倾斜角度为47度。
[0015]由于采用上述技术方案，使得本发明具有如下优点和效果:为满足市场对大抽速高真空油扩散栗的要求，本发明KCD-720毫米口径电磁加热高真空油扩散栗，其特点在于比现有栗抽气速率提高40%以上，抽速为11000L/S。本发明电磁加热高真空油扩散栗的加热时间短，提高了工作效率，减少了抽气时间，缩短了生产工艺过程的操作时间，并降低了用电量成本。本发明高真空油扩散栗结构紧凑，便于安装、操作、运输、维修。
[0016]经过试验验证为了得到较高的真空度，栗体的结构采用了直腔形式，直腔的中间体直径尺寸是进气口径尺寸相同，栗体采用不锈钢制造，内外焊缝处两面焊接，使栗体内部达到了设计真空设备的较高要求。外部采用了冷却效果较好的水冷槽式冷却结构，水槽式冷却外套采用为不锈钢板，避免了栗在长期使用工作中由于水质的问题导致栗水套的腐蚀问题，大大提高扩散栗的使用寿命，由水槽式冷却外套缠绕栗体外部形成水流导向模式，最大限度的提供冷却水与栗体的接触面积和水流量，快速充分的降低了栗体内表面的温度，减少栗工作液在栗体内部表面附着时间，避免栗液的二次蒸发，减少了返油量，降低了对真空室的污染，提高了真空室产品的质量。栗体法兰采用优质不锈钢整体加工制造结构，合理的工艺，精密的加工设备，保证了法兰密封表面所要求的粗糙度，对真空设备的密封起到了作用。在栗体中设计安装油位观察装置，由不锈钢制造，其作用便于使用和观察栗液的使用情况，整体为不锈钢金属法兰密封，形式为金属刀口密封法兰，其特点在高温状态下，使用时间长，不易泄漏，安装维修方便等。安装了栗油测温装置，将栗液工作的温度通过油温数显表表示出来，便于观察栗的使用工作情况。
[0017]栗芯组件结构采用的是整体结构，利于安装调试时的整体性。栗芯组件的材料采用了不锈钢拉丝板材料制造，保证了栗芯组件零部件表面的光洁度，使栗工作油液快速下滑，减少了栗油液在栗芯组件零件表面上的附着时间，大大降低了对真空室的栗液返油率的污染，对真空室中的产品工件起到了保护作用。其结构采用了一级导流管和二级喷嘴帽上部焊接连接；三级导流管和二级喷嘴帽通过连接套管连接在一起；三级间隙垫安装在三级导流管上部；三级喷嘴帽放置在三级导流管上；二级间隙垫安装在三级喷嘴帽上；一级喷嘴座安装在一级导流管上，一级喷嘴帽通过长螺杆与一级喷嘴座、三级导流管安装成一体；三个伞帽形喷嘴帽的角度为53~63度；由于采用此种栗芯结构达到极限真空时间短，能得到较高的抽气速率，各级最佳角度的设定加快了栗体内抽气介质的排除，可以达到最佳喷射效率，达到提高抽气速率的效果；采用这样的栗芯组件结构是设计该产品的核心技术。本发明栗芯采用设计伞帽形喷嘴帽及导流管组成整体的结构形式，利于在安装调