技术编号：5499860
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及高温炉，具体是一种高温炉抽真空装置。背景技术泡生法生长掺钛蓝宝石晶体的高温炉炉温要求高，为了防止器件在高温下发生氧化，所以要求高温炉体内真空度很高，现有技术的炉体采用扩散泵，即在前级机械泵所造成的低真空条件下，加热泵内硅油，使受热沸腾蒸发，生成蒸气，以极高速度通过该泵的各级喷口的缝隙喷出，使容器内部的气体分子扩散到蒸汽中被带到前级真空泵所能作用的位置，由前级真空泵迅速抽出，使系统达到真空的要求。这种结构尚无法满足泡生法生长掺钛蓝宝石晶体的高真...
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