专利名称：高温炉抽真空装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及高温炉，具体是一种高温炉抽真空装置。
背景技术：
泡生法生长掺钛蓝宝石晶体的高温炉炉温要求高，为了防止器件在高温下发生氧化，所以要求高温炉体内真空度很高，现有技术的炉体采用扩散泵，即在前级机械泵所造成的低真空条件下，加热泵内硅油，使受热沸腾蒸发，生成蒸气，以极高速度通过该泵的各级喷口的缝隙喷出，使容器内部的气体分子扩散到蒸汽中被带到前级真空泵所能作用的位置，由前级真空泵迅速抽出，使系统达到真空的要求。这种结构尚无法满足泡生法生长掺钛蓝宝石晶体的高真空要求。
实用新型内容本实用新型的目的是针对现有技术存在的缺陷，提出一种高温炉抽真空装置。本实用新型采用的技术方案为:本实用新型的一种高温炉抽真空装置，它包括机械泵、高阀、低阀、大阀、扩散泵和泄压阀，其特征在于在扩散泵的上端设有含有水冷管的冷径。本实用新型的一种高温炉抽真空装置，由于在在扩散泵的上端设有含有水冷管的冷径，当硅油蒸气接触到低温的冷径时迅速冷却并凝成液体滴落回扩散泵内，所以有抽取更高级真空的特点。
图1为本实用新型的高温炉抽真空装置结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图通过实施例对本实用新型作进一步说明:如图1所示，本实用新型的一种高温炉抽真空装置，它包括机械泵1、高阀2、低阀3、大阀4、扩散泵6和泄压阀7，其特征在于在扩散泵6的上端设有含有水冷管的冷径5。
权利要求1.一种高温炉抽真空装置，它包括机械泵(I)、高阀(2)、低阀(3)、大阀(4)、扩散泵(6)和泄压阀(7)，其特征在于在扩散泵(6)的上端设有含有水冷管的冷径(5)。
专利摘要一种高温炉抽真空装置，它包括机械泵、高阀、低阀、大阀、扩散泵和泄压阀，其特征在于在扩散泵的上端设有含有水冷管的冷径。本实用新型的一种高温炉抽真空装置，由于在在扩散泵的上端设有含有水冷管的冷径，当硅油蒸气接触到低温的冷径时迅速冷却并凝成液体滴落回扩散泵内，所以有抽取更高级真空的特点。
文档编号F04B41/06GK202945370SQ20122058595
公开日2013年5月22日 申请日期2012年11月9日 优先权日2012年11月9日
发明者刘嘉, 陶翔, 李世香, 张翼 申请人:浙江特锐新能源有限公司