线性驱动装置的盖结构的制作方法技术资料下载

技术编号:5577368

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本发明涉及一种线性驱动装置的盖结构,该线性驱动装置具有丝杠机构,以把转动转换成线性移动,本发明尤其是涉及一种这样的线性驱动装置的盖结构,它可以有效地防止润滑剂从装置的丝杠上四溅或滴落,并且可以防止灰尘或其它的不希望的颗粒侵入并附着在线性驱动装置的丝杠上。本发明所涉及的线性驱动装置具有动作方向转换的功能,可以把转动转换成线性移动。线性驱动装置可有多种用途,例如可以用于测试半导体板的集成电路的试验装置。集成电路试验装置把要被试验的集成电路板移动至集成电路测试系...
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