技术编号：5630955
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。具有移动适配部分的用以耦接0形环的狭缝化TSSL阀门发明背景 发明领域本发明的实施方式一般与用于密封腔室中的开口的狭缝阀门(slit valve door)有关。相关技术的描述为了将基板引入腔室中，一般需开启一道门，而基板插置穿过一开口而至腔室的 内部空间中，接着关闭这道门并抽取(draw)真空。在抽取真空时，腔室本身会压缩，因此开 口会因为腔室移动而收缩。当腔室排空时，腔室便回到其正常状态。当该门对腔室密封时，这道门保持静止，这是因为其并非腔室壁体的一部...
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