技术编号：5637244
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分的真空阀和根据权利要 求11的前序部分的闭合盘，所述真空阀用于通过安装在至少一个连接杆 上的闭合盘气密闭合流路。背景技术从现有技术中可知各种实施方式的真空阀，其用于大致气密闭合穿 过阀壳中的开口的流路。真空闸阀具体应用于集成电路和半导体制造领 域中，集成电路和半导体制造必须在尽可能无污染颗粒的保护气氛中进 行。例如，在半导体晶片或液晶基板的制造单元中，高度敏感的半导体 或液晶元件顺序经过多个加工室，在各种情况下在加工室...
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