专利名称：真空阀及可安装在连接杆上的闭合盘的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分的真空阀和根据权利要 求11的前序部分的闭合盘，所述真空阀用于通过安装在至少一个连接杆 上的闭合盘气密闭合流路。
背景技术：
从现有技术中可知各种实施方式的真空阀，其用于大致气密闭合穿 过阀壳中的开口的流路。真空闸阀具体应用于集成电路和半导体制造领 域中，集成电路和半导体制造必须在尽可能无污染颗粒的保护气氛中进 行。例如，在半导体晶片或液晶基板的制造单元中，高度敏感的半导体 或液晶元件顺序经过多个加工室，在各种情况下在加工室内通过加工设 备对位于加工室内的半导体元件进行加工。在加工室内部进行加工期间 以及在加工室之间输送期间，高度敏感的半导体元件必须一直处于保护 气氛中，特别是处于真空中。加工室例如通过连接通道彼此相连，加工 室能够通过真空闸阀打开以将部件从一个加工室输送到下一加工室，并 且之后能够气密闭合以进行相应的制造步骤。由于所述的应用领域，这 样的阀也被称为真空输送阀，并且由于其矩形开口截面，也被称为矩形 闸阀。
从现有技术公知真空阀(特别是其密封和驱动技术)的多种不同实 施方式。根据相应的驱动技术，闸阀(也称为阀门或矩形闸阀)与梭阀 之间的具体区别在于，在现有技术中通常以两个步骤进行的打开和关闭。
在第一步骤中，在例如US 6,416,037 (授予Geiser)或US 6，056，266 (授 予Blecha)中公开的闸阀的情况下，阀闭合件(具体是闭合盘)大致平 行于阀座线性运动到开口上，或者在例如US 6,089,537 (授予Olmsted) 中公开的梭阀的情况下，闭合件绕枢转轴线枢转运动到开口上，因此闭
合盘和阀壳的阀座之间不产生接触。在第二步骤中，闭合盘使其闭合侧 面压到阀壳的阀座上，从而使开口气密闭合。例如可借助设置在闭合盘 的闭合侧面上并被压到围绕开口延伸的阀座上的密封圈，或者借助位于 阀座上而被闭合盘的闭合侧面压靠的密封圈，来实现密封。
借助单次线性运动而实现闭合和密封过程的闸阀也是公知的。这样
的阀例如瑞士 Haag的VAT Vakuumventile AG的输送阀，其以产品标号 为"MONOVAT系列02和03"而为人所知并被设计成矩形插入阀。例如 在US 4,809,950 (授予Geiser)和US 4,881,717 (授予Geiser)中描述了 这样的阀的设计和操作模式。上述的阀在其壳体中具有密封表面，当沿 阀道的轴线方向观看时，该密封表面的截面彼此叠置，并经由连续曲线 而变成横向向外延伸的密封表面部分，在一个部件之中但具有多个部分 的密封表面的假想母线平行于阀道的轴线。密封表面被加工。闭合件具 有与其对应的接触表面，用于进行周向闭合密封。更详细地说，所谓的
阀门具有门形壳体和门形通道，所述门形通道可被闭合件关闭，该闭合 件可以在自身的平面中移动。在门形通道区域中设置有密封表面，闭合 件上设置的周向闭合密封件在所述闭合件的闭合位置靠在该闭合表面 上，密封表面的直的假想母线平行于门形通道的轴线。周向闭合的单件 式密封件具有位于不同平面中的不同长度和/或不同形状的部分，该周向 闭合的密封件的两个主要部分位于与门形通道的轴线成直角且分开一定 距离的平面内。密封件的两个主要部分通过横向部分相连。闭合件具有 与壳体的密封表面轮廓一致的表面，该表面承载周向闭合密封件。周向 闭合密封件的横向部分为U形。在各种情况下，这些U形横向部分的分 支位于同一平面中。密封表面的当沿门形通道的轴向观看时彼此叠置的 这些部分成为横向向外延伸的平坦的密封表面部分，从而与密封件的主 要部分在具有平行于轴线的直的公共母线的区域中相接触。这些平坦的 密封表面部分位于彼此平行且平行于门形通道轴线的平面内。由于闭合 件包含一个部件，因此可经受大的加速力，从而该阀也可用于快速闭合 和紧急闭合。由于可通过单次线性运动实现闭合和密封，因而可以快速 地闭合和打开该阀。
在JP 6241344 (授予BuriidaFuuberuto)中描述了一种用于这种输送 阀的合适驱动器，该输送阀可通过线性运动而闭合。其所述的驱动器具 有偏心安装的操纵杆，该操纵杆用于使安装有闭合件的连接杆线性移动。
由于输送阀特别是在高度敏感的半导体元件的制造中使用，因而必 须使特别是由于阀致动而产生颗粒的可能性以及阀空间中的自由颗粒数 量尽可能小。产生颗粒主要是例如金属与金属接触而摩擦的结果，特别 是阀闭合件与阀壳或阀座之间的摩擦、以及阀闭合件与固定有阀闭合件 的连接杆之间的摩擦，因此与驱动器相关。
避免产生颗粒的主要难题在于阀驱动器的连接杆与阀闭合件(特别 是闭合盘)之间的连接。闭合盘必须牢固地连接到一个或多个连接杆上， 使得能够在阀壳中精确引导并能够将闭合盘准确压到阀座上，而不会产 生不期望的材料接触，同时在阀的闭合状态下闭合盘具有高负载能力。 由于材料摩擦的结果而使阀盘在连接杆上不期望地相对运动会致使在阀 空间中产生磨粒，这些磨粒会污染高纯度气氛。因此，现有技术一直致 力于连接杆与闭合盘之间的无游隙的牢固接触。另一方面，为了进行维 修和/或更换，闭合盘必须能够尽可能不需要大的拆卸力而从连接杆拆卸 并能够重新安装。然而，由于在将闭合盘从连接杆拆除期间以及所述闭 合盘的安装期间需要相当大的努力才能避免材料摩擦接触和产生颗粒， 因而需要提供可拆卸连接与期望避免产生颗粒相矛盾。在可拆卸连接的 情况下，闭合盘和连接杆之间产生不期望的相对运动的危险当然比不可 拆卸连接(尤其是由材料熔接而实现的不可拆卸连接)的情况下大。
现有技术公开了可在闭合盘的背面设置用于两个连接杆的两个开口 半圆形凹槽，并且每个连接杆用一个螺钉安装，所述螺钉穿过位于连接 杆中的横向孔并与形成在凹槽中的螺纹孔接合。相对于连接杆为轴向的 连接是通过如下两种连接实现的，即由螺钉施加并垂直于闭合盘作用的 力所产生的连接杆与凹槽之间的摩擦连接，以及通过连接杆上的肩状台 阶(该台阶仅沿闭合方向作用)所产生的互锁连接。在闭合盘通过线性 运动闭合从而该闭合盘压到阀座上时，所述台阶在半圆形凹槽的上边缘 上支撑连接杆。例如在瑞士 Haag的以产品标号为"MONOVAT系列02和03"而为 人所知并被设计成矩形插入阀的VAT Vakuumventile AG的输送阀中使用 了这样的固定结构。为了允许闭合盘相对于阀座准确定位，在安装闭合 盘之后，螺钉最初不紧固，从而在阀闭合时连接杆和闭合盘之间仍然可 通过克服摩擦而相对运动。随后，阀闭合。由于连接杆和闭合盘之间的 固定仍然不是完全的，因此阀盘朝向阀座精确定位。而且，最初通过摩 擦连接保持的连接杆沿着线性移动路径相对于闭合盘运动，直到肩状台 阶牢固地靠在半圆形凹槽的上边缘上，因此通过互锁而实现闭合力通量。 在接下来的步骤中，紧固螺钉，使得闭合盘不再能相对于连接杆运动。 两个连接杆的两个肩状台阶牢固地靠在半圆形凹槽的上边缘上，并通过 紧固螺钉而产生的摩檫连接固定在该处。由于大的力仅沿线性闭合方向 作用在连接杆和闭合盘之间的连接处，并且该大的力被由肩状台阶产生 的互锁吸收，因而螺钉的紧固不会使连接杆和闭合盘之间产生显著移动， 从而在真空阀的正常操作期间由于摩擦而产生的材料颗粒保持相对较 少。通过清洁移除在将螺钉定位在连接杆上的紧固之前产生的颗粒。由 于闭合盘固定在连接杆上，因此直到螺钉再次变松之前不会再产生颗粒。
闭合盘和连接杆之间的公知连接的缺点在于与旋松和紧固螺钉有 关的时间较长，因而将闭合盘从连接杆拆下和将其安装在连接杆上的时 间较长。以上所述的为准确定位闭合盘而分两步紧固螺钉成为一个问题， 并且这个问题不能通过迄今所知的连接得到充分的解决。为了能够在将 闭合盘安装在连接杆上之后即可防止材料摩擦和颗粒产生，需要一种可 快速操作且更方便的连接元件，通过这种连接元件可紧随安装之后甚至 在安装之前就将闭合盘准确定位在连接杆上。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供一种真空阀闭合盘，该闭合盘能够尽 可能快地并且自定位地准确安装在阀驱动器的至少一个连接杆上，并可 在短时间内不用大的力气而再次拆卸，在真空阀的操作期间在阀空间内 产生的自由材料颗粒保持较少。
该目的通过实现独立权利要求的特性部分的特征而实现。在从属权 利要求中描述了以可选或有利的方式进一步改进本发明的特征。
所述真空阀用于气密闭合流路，所述流路通常理解为是指有待闭合 的路径，该路径位于两个区域之间，特别是位于用于半导体制造的加工 室与另一加工室或外部之间。所述流路例如是彼此相连的两个加工室之 间的通道，所述加工室能够通过真空阀打开以将半导体器件从一个加工 室输送到下一加工室，并且能够在执行了相应的制造步骤之后气密闭合。 由于所述的应用领域，所述阀还被称为真空输送阀，并且由于其通常具 有矩形开口截面，也被称为矩形闸阀。然而，根据本发明的真空阀的用 于大致气密闭合任何期望流路的任何其它期望应用也理应是可以想到 的。所述真空阀包括阀壳，该阀壳具有用于所述流路的开口。所述开口 例如是矩形的，并具有中央轴线，该中央轴线在所述流路的中央并与该 流路平行地在所述开口的区域中延伸。该开口的轴线例如垂直于由所述 开口限定的区域。该开口被阀座表面环绕，所述阀座表面在所述开口的 轴线垂直穿过的多个假想平面内绕所述开口弯曲。
所述真空阀包括至少一个连接杆，特别是两个连接杆。所述连接杆 可通过阀驱动器而在垂直于所述开口轴线延伸的闭合盘的假想平面(所 述闭合盘平面)内沿平行于所述连接杆轴线的线性移动路径移动。所述 连接杆轴线特别是平行于连接杆的中央轴线或与其共线，所述连接杆优 选是直的。所述闭合盘平面大致平行于由所述开口限定的区域。所述阀
驱动器例如由现有技术公知的阀驱动器形成。在JP 6241344(授予Buriida Fuuberuto)中描述了一种用于这种可通过线性运动闭合的真空阀的合适 驱动器。该专利所述的阀驱动器具有偏心安装的操纵杆，其用于使连接 杆线性移动。在所述连接杆的端部形成有连接部，该连接部具有布置在 该连接部中央且大致垂直于所述闭合盘平面的横向通孔。
所述真空阀具有闭合盘，该闭合盘可拆卸地安装在所述至少一个连 接杆上。该闭合盘具有与所述阀座表面对应的闭合表面。"对应"应理解 为是指闭合表面和阀座表面形成为使得闭合盘可通过大致垂直于开口轴 线的线性运动而压到闭合表面上，从而可以在闭合表面与阀座表面之间
形成围绕幵口的密封接触。在所述闭合盘的远离所述开口的侧面上形成 有至少一个凹部，特别是半圆形杆槽，特别是用于两个连接杆的两个杆 槽。所述杆槽与所述连接杆的连接部相对应，从而能够使所述连接部与 所述杆槽接合。所述杆槽特别是具有半圆形的槽状，可在其中设置连接 部，该连接部例如为圆柱状并装配到该槽状的杆槽中。而且，在所述闭 合盘中设置螺纹孔，所述螺纹孔布置在所述杆槽中央并大致垂直于所述 闭合盘平面。
具体地说，设置两个连接杆和两个连接杆槽，它们布置成在所述闭 合盘平面内平行。
借助于螺钉将所述杆槽定位在所述连接部上，通过杆槽在连接部上 的定位而将所述闭合盘可拆卸地安装在至少一个连接杆上；所述螺钉穿 过所述连接杆的横向孔，接合该闭合盘的螺纹孔并将所述连接部压入所 述杆槽。
至少部分弯曲的阀座表面的几何法线与所述闭合表面的几何法线大 致平行于所述闭合盘平面。所述闭合盘借助于所述阀驱动器而沿所述移 动路径在打幵位置和大致气密闭合位置之间线性移动，所述打开位置不 阻塞所述开口，特别是完全不阻塞所述开口，因此不阻塞所述流路；在 所述大致气密闭合位置，所述闭合盘线性移动到所述开口上，因此大致 沿所述运动路径的闭合方向而将所述闭合表面压到所述阀座表面上。所 述几何法线应理解为是指阀座表面和闭合表面的接触区域的垂线，当真 空阀处于闭合状态下，该接触区域绕所述开口延伸。该接触区域例如由 闭合表面和阀座表面的密封带的接触区域形成。通常，该定义应理解为 是指，阈座表面和闭合表面形成为使得在真空阀沿着线性闭合方向闭合 时，闭合表面压到阀座表面上的动作(即，压力方向)基本上在大致平 行于闭合盘平面的平面中进行，从而完全避免或基本避免沿平行于开口 轴线方向的剪力。线性运动路径是闭合盘的打开位置和闭合位置之间的 直线，该直线优选平行于连接杆轴线。
这样的真空阀基本上己经在现有技术中公开，例如瑞士 Haag的VAT Vakuumventile AG研发并销售的矩形插入阀，其销售时的产品名称为
"MONOVAT系列02和03"。例如在US 4,809,950 (授予Geiser)和US 4,881,717 (授予Geiser)中描述了这样的阀的设计和操作模式。
根据本发明，在所述杆槽和所述连接部的连接区域中设置有突出部 和凹槽，所述连接区域即上述两个物体彼此连接的区域。可以将所述突 出部设置在所述连接部中，将所述凹槽设置在所述杆槽中，反之亦可。 此外，所述连接部和所述杆槽都可均具有至少一个突出部和至少一个凹 槽。所述突出部和所述凹槽形成为使得所述突出部在所述连接杆轴线所 在的平面内被该凹槽围绕夹持，从而使所述闭合盘和所述连接杆沿所述 移动路径的方向通过互锁连接而彼此固定。因此，借助于在所述闭合盘 的安装状态下的互锁连接，所述闭合盘不能沿平行于连接杆轴线的两个 方向相对于所述连接杆移动，从而避免了摩擦并因此避免了颗粒的产生。 这里，所述螺钉将所述闭合盘压进所述杆槽中，因此将所述突出部压进 所述凹槽。结果，闭合盘相对于连接杆沿着连接杆轴线定心在由所述突 出部和所述凹槽的位置限定的位置。连接杆和闭合盘之间的由于闭合盘 的压迫而作用在阀座表面上的力基本上通过突出部和凹槽的摩擦连接传 递。因此，突出部和凹槽执行两种功能，即力传递功能和沿移动路径方 向定心的功能，从而闭合盘和连接杆之间(并因此间接使得闭合盘和阀 驱动器之间)的沿移动路径的距离在通过用螺钉安装闭合盘的整个操作 期间采取不可变的预定位置。
根据本发明，闭合盘和连接杆之间的连接能够实现在短时间内从连 接杆上拆下闭合盘以及将闭合盘安装在连接杆上。由于在第一次紧固螺 钉之后就实现了定位，因而可省去上述在现有技术中为准确定位闭合盘 所需的分两步紧固螺钉。紧随安装之后以及甚至在阀的第一次闭合之前， 闭合盘就准确定位在连接杆上，使得闭合盘安装在连接杆上之后即可防 止材料摩擦和颗粒的产生。闭合盘可借助自定位而准确安装在阀驱动器 的至少一个连接杆上，并可在短时间内不用花大的力气就将其再次拆卸， 在真空阀操作期间产生的在阀空间内的自由材料颗粒保持较少。
在本发明的进一步改进中，所述凹槽具有朝该凹槽内呈逐渐縮小的 截面，使得通过借助于所述螺钉将所述突出部压进所述凹槽中而使所述
闭合盘沿所述移动路径的方向相对于所述连接杆以互锁方式定心。所述 突出部和所述凹槽布置在所述螺纹孔与所述杆槽的朝向所述阀驱动器的 边缘之间的区域中，特别是靠近所述边缘。
在本发明的一个实施方式中，所述凹槽呈沟槽形式，该沟槽在垂直 于所述连接杆轴线的平面内延伸。所述沟槽具有以大致V形的方式朝向 该沟槽内部逐渐縮小的截面。可选的是，所述凹槽呈孔的形式，该孔大 致平行于所述螺纹孔。所述突出部可由与所述沟槽或所述孔接合的突出 栓柱形成，特别是突出的直销或者暗销。可选的是，所述突出部是肩部， 该肩部在垂直于所述连接杆轴线的平面内延伸且与所述沟槽接合。所述 肩部通常应理解为是指从表面突出且至少部分沿周向延伸的细长区域， 特别是凸缘状区域，例如颈圈、台阶或珠缘，用于吸收作用在连接杆和 阀闭合件之间的两侧上的轴向力。在本发明的进一步改进中，所述肩部 具有相对于该肩部以大致V形方式向外逐渐缩小的截面，并可通过借助 于所述螺钉将所述肩部压进所述沟槽内而使所述闭合盘沿所述移动路径 的方向相对于所述连接杆以互锁方式定心。在这种情况下，所述沟槽具 有对应的特别是向内逐渐縮小的截面。
当然，也可以对所述突出部和/或所述凹槽作进一步改进。
以下仅以示例方式参照附图中所示的具体实施例更加详细地描述根 据本发明的方法和根据本发明的装置。 具体地说
图la表示第一真空阀的斜视图，该第一真空阀包括阀驱动器和处于 闭合位置的闭合盘；
图lb表示图la的第一真空阀的前视图，该第一真空阀包括处于打 开位置的闭合盘而没有包括阀驱动器；
图2a表示图la和图lb的第一真空阀的闭合盘的前视图2b表示图2a中的杆槽和连接部的详细视图2c表示图2a中的杆槽和连接部的剖视图3a表示在第一可选实施方式中的闭合盘的前视图3b表示图3a中的杆槽和连接部的A-A剖视图； 图3c表示图3a中的杆槽和连接部的B-B剖视图； 图4a表示在第二可选实施方式中的闭合盘的前视图； 图4b表示图4a中的杆槽和连接部的A-A剖视图；以及 图4c表示图4a中的杆槽和连接部的B-B剖视图。
具体实施例方式
图la至图2c以不同视角、不同状态和不同的详细程度大体表示本 发明的一个实施方式，因此在某些情况下一起描述这些附图。图3a至图 3c以及图4a至图4c分别表示真空阀的第一和第二可选实施方式，在每 种情况下以三个视图表示。由于在某些情况下，各附图和实施方式所使 用的附图标记在细节上部分地有所不同，因而不再对一部分已预先说明 的附图标记进行说明。
图la和图lb分别以斜视图和前视图表示呈矩形闸阀形式的真空阀 1，其用于气密闭合由箭头F表示的流路。图2a、图2b和图2c仅示出了 图la和图lb中的闭合盘5，该闭合盘5包括真空阀1的连接杆8的端部。 以下， 一起描述这五个图。
真空阀1具有阀壳2，该阀壳2具有用于流路F的开口 3。开口3具 有角部倒圆的矩形截面。图la示出了位于闭合位置C的真空阀1，因而 幵口3被挡住而不可见；在图lb中的真空阀1的打开位置O，该开口3 清晰可见。开口3具有中央开口轴线12，该开口轴线12在开口3的区域 中在流路F的中央并与该流路F平行地延伸。该开口轴线12垂直于由开 口限定的假想区域。开口3被阀座表面4包围，该阀座表面4在开口轴 线12垂直穿过的多个假想平面内围绕开口 3弯曲。阀座表面4沿阀驱动 器10的方向指向上。
此外，真空阀1包括扁平的闭合盘5。该闭合盘5具有与阀座表面4 相对应的闭合表面7，该闭合表面7沿阀座表面4的方向指向下，并且同 样在开口轴线12垂直穿过的多个假想平面内弯曲，如图2c中的通过闭
合盘5的截面所示。在闭合盘5的远离开口 3的侧面13上形成有两个凹 部，即半圆形杆槽6，它们具有半圆形的槽状。两个杆槽6在闭合盘平面 E内平行延伸。在杆槽6内的中部设置有垂直于闭合盘平面E的螺纹孔 14，如图2C (该图是通过根据图2a的闭合盘5的杆槽6的截面A-A)所示。
闭合盘5可拆除地安装在两个平行的连接杆8上。带有连接部9的 连接杆8具有圆形截面，该圆形截面对应于杆槽6的部分截面。连接杆8 可通过阀驱动器IO而沿着平行于连接杆轴线19的线性移动路径11在闭 合盘平面E内垂直于开口轴线12移动。在图la中以矩形形式示意性地 示出了假想闭合盘平面E，其表示扁平的闭合盘5的中央平面E。连接杆 8的两个连接部9均具有横向通孔15，该横向通孔15布置在连接部9的 中央且大致垂直于闭合盘平面E，参见图2c。
通过在各种情况下借助于螺钉16将杆槽6定位在连接部9上，由此 将闭合盘5可拆除地安装在两个连接杆8上，上述螺钉16穿过相应的横 向孔15并与相应的螺纹孔14相接合。连接部9通过螺钉16而被压入杆 槽6内，参见图2c。
闭合盘平面E平行于由开口 3限定的区域(未示出)。弯曲的阀座表 面4的法线和闭合表面7的法线基本上平行于闭合盘表面E，闭合表面7 离开阀座表面4 一定距离，可通过阀驱动器10调整该距离并可使闭合表 面7和阀座表面4相接触，所述法线未示出。因此，阀座表面4和闭合 表面7形成为使得在沿着线性移动路径11闭合真空阀1时，闭合表面7 压在阀座表面4上的动作(参见图la)基本上发生在与闭合盘表面E大 致平行的表面内，从而完全避免或基本避免沿平行于幵口轴线12方向的 剪力。闭合盘5通过阀驱动器10沿移动路径11在不阻塞开口 3 (参见图 lb)的打开位置O和气密闭合的位置C之间线性移动，在位置C，闭合 盘线性移动到开口 3上，因此将闭合表面7沿移动路径11的闭合方向压 到阀座表面4上，参见图la。
在连接杆8的连接部9上形成有突出部17，在各种情况下该突出部 17呈肩部17a的形式，其在垂直于连接杆轴线19的平面内围绕连接部9
延伸，参见图2a、图2b和图2c。肩部17a具有相对于连接杆8向外逐渐 縮小的大致V形的截面，参见图2b和图2c。在杆槽6中，在螺纹孔14 和杆槽6的朝向阀驱动器10的边缘20之间的区域内设置有呈沟槽18a 形式的凹槽18，其同样位于垂直于连接杆轴线19的平面内，参见图2b 和图2c。沟槽18a沿整个杆槽6在周向上延伸。肩部17a和沟槽18a位 于同一平面内，即相对于连接杆8位于相同高度。呈肩部17a形式的突 出部17和呈沟槽18a形式的凹槽18形成为使得肩部17a在包含连接杆 轴线19的假想平面内被沟槽18a围绕夹持，从而闭合盘5和连接杆8沿 移动路径ll的方向以互锁方式固定在一起，参见图2c。沟槽18a具有向 内逐渐縮小的截面，而肩部17a具有对应的向外逐渐缩小的截面(参见 图2b和图2c)，由此使得，由于肩部17a通过螺钉16而压入沟槽18a内， 闭合盘5沿移动路径II的方向相对于连接杆8以互锁方式定心，这在图 2b和图2c中同样明显可见。因此，在连接杆8和闭合盘5之间相对于连 接杆轴线19沿两个方向存在轴向互锁固定作用。
在初始紧固螺钉16之后，闭合盘5相对于连接杆8沿移动路径11 的方向定位。紧接着真空阀1的第一次闭合之后并且甚至在真空阀1第 一次关闭之前，闭合盘5准确定位在连接杆8上，从而在闭合盘5安装 在连接杆8上之后即可防止材料摩擦并可防止产生颗粒。闭合盘5可通 过自定位而准确安装在阀驱动器10的连接杆8上并可再次拆卸，由于通 过压进而互锁配合，阀盘5和连接杆8之间不会发生相对运动，因而使 真空阀1在操作期间在阀空间内产生的自由材料颗粒保持较少。
图3a、图3b和图3c表示第一可选实施方式。图3b和图3c分别表 示根据图3a的贯穿杆槽6和连接部9的截面A-A和B-B。这里，凹槽18 呈孔18b的形式，该孔18b大致平行于杆槽6中的螺纹孔14 (参见图3b 和图3c)，孔18b的轴线和螺纹孔14的轴线位于包含连接杆轴线19的公 共假想平面内。突出部17形成为突出栓柱，该突出栓柱呈突出的直销17b 的形式，同样如图3b和图3c所示。通过在紧固螺钉16时将直销17b引 入孔18b内，在连接杆8和闭合盘5之间形成了轴向互锁固定和径向互 锁固定，所述轴向互锁固定相对于连接杆轴线19沿移动路径11的两个
方向起作用，从而防止了沿移动路径11方向的线性运动以及绕连接杆轴 线19的任何旋转运动。
图4a、图4b和图4c表示第二可选实施方式。图4b和图4c分别表 示根据图4a的贯穿杆槽6和连接部9的截面A-A和B-B。这里，凹槽18 在垂直于连接杆轴线19的平面内呈镰刀形沟槽18c的形式，该镰刀形沟 槽18c在杆槽6中延伸。突出部17形成为突出栓柱，该突出栓柱为突出 的暗销(dowel pin) 17c的形式，其固定在连接杆8的连接部9中。通过 在紧固螺钉16时将暗销17c引入镰刀形沟槽18c中，在连接杆8和闭合 盘5之间形成相对于连接杆轴线19沿移动路径11的两个方向作用的轴 向互锁固定，从而不会产生沿移动路径ll方向的线性相对运动。也可以 用第一可选实施方式的直销17b来代替暗销17c，反之亦可。此外，可以 利用如第一工作实施例中所示的普通沟槽18a来代替镰刀形沟槽18c。
本文所说明的具体实施例仅用于参照示意图来示例性地说明本发 明，但本发明并不局限于这些实施例。
权利要求
1、一种用于气密闭合流路(F)的真空阀(1)，该真空阀(1)包括阀壳(2)，该阀壳(2)具有用于所述流路(F)的开口(3)以及完全包围该开口(3)的阀座表面(4)；阀驱动器(10)；至少一个连接杆(8)，可在垂直于所述开口轴线(12)的闭合盘平面(E)内沿平行于连接杆轴线(19)的线性移动路径(11)通过所述阀驱动器(10)而对该连接杆(8)进行调节，并且所述连接杆(8)具有连接部(9)，该连接部(9)具有大致垂直于闭合盘表面(E)且布置在该连接部(9)中央的横向通孔(15)；以及闭合盘(5)，该闭合盘(5)可拆卸地安装在所述至少一个连接杆(8)上，并包括与所述阀座表面(4)相对应的闭合表面(7)；至少一个凹部，特别是半圆形的杆槽(6)，该杆槽(6)与所述连接部(9)相对应，并形成在所述闭合盘(5)的远离所述开口(3)的侧面(13)上；以及螺纹孔(14)，该螺纹孔(14)大致垂直于所述闭合盘平面(E)且布置在所述杆槽(6)的中央；借助于穿过所述横向通孔(15)的螺钉(16)将所述杆槽(6)定位在所述连接部(9)上，借此将所述闭合盘(5)可拆卸地安装在所述至少一个连接杆(8)上，所述螺钉(16)与所述螺纹孔(14)接合并将所述连接部(9)压进所述杆槽(6)内；至少部分弯曲的阀座表面(4)的法线与所述闭合表面(7)的法线大致平行于所述闭合盘平面(E)，从而所述闭合盘(5)可借助于所述阀驱动器(10)而沿所述移动路径(11)在以下位置之间线性移动，所述位置为打开位置(O)，该打开位置(O)不阻塞所述开口(3)；以及气密闭合的位置(C)，其中所述闭合盘线性移动到所述开口(3)上，并因此大致沿所述运动路径(11)的闭合方向将所述闭合表面(7)压在所述阀座表面(4)上；该真空阀的特征在于位于所述杆槽(6)和所述连接部(9)的连接区域中的突出部(17)和凹槽(18)，所述突出部(17)和所述凹槽(18)形成为使得所述突出部(17)在包含所述连接杆轴线(19)的平面内被所述凹槽(18)围绕夹持，从而所述闭合盘(5)和所述连接杆(8)沿所述移动路径(11)的方向以互锁方式彼此固定。
2、 根据权利要求1所述的真空阀(1)，其中，所述凹槽(18)具有 逐渐縮小的截面，该逐渐縮小的方式使得所述闭合盘(5)通过借助于所 述螺钉(16)将所述突出部(17)压入所述凹槽(18)而沿所述移动路 径(11)的方向相对于所述连接杆(8)以互锁方式定心。
3、 根据权利要求1或2所述的真空阀(1)，其中，所述突出部(17) 和所述凹槽(18)布置在所述螺纹孔(14)与所述杆槽(6)的朝向所述 阀驱动器(10)的边缘(20)之间的区域中。
4、 根据权利要求l至3中任一项所述的真空阀(1)，其中，所述突 出部(17)布置在所述连接部(19)上，所述凹槽(18)布置在所述杆 槽(6)中。
5、 根据权利要求1至4中任一项所述的真空阀(1)，其中，所述凹 槽(18)呈沟槽(18a， 18c)的形式，所述沟槽(18a， 18c)位于与所述 连接杆轴线(19)垂直的平面内。
6、 根据权利要求5所述的真空阀(1)，其中，所述沟槽(18a)具 有以大致V形的方式朝向该沟槽(18a)内部逐渐縮小的截面。
7、 根据权利要求1至4中任一项所述的真空阀(1)，其中，所述凹 槽(18)呈孔(18b)的形式，该孔U8b)大致平行于所述螺纹孔(14)。
8、 根据权利要求5至7中任一项所述的真空阀(1)，其中，所述突 出部(17)呈突出栓柱的形式，特别是呈突出的直销(17b)或者暗销(17c) 的形式。
9、 根据权利要求5或6所述的真空阀(1)，其中，所述突出部(17) 呈肩部(17a)的形式，该肩部(17a)在垂直于所述连接杆轴线(19) 的平面内。
10、 根据权利要求9所述的真空阀(1),其中，所述肩部(17a)具 有相对于该肩部(17a)以大致V形的方式向外逐渐縮小的截面。
11、 一种用于根据权利要求1至10中任一项所述的真空阀(1)的 闭合盘(5)，为了气密闭合流路(F)，该真空阀(1)具有阀壳(2)和 阀座表面(4)，所述阀壳(2)带有用于所述流路(F)的开口 (3)，所 述阀座表面(4)完全包围该幵口 (3)，该闭合盘(5)包括与所述真空阀(1)的所述阀座表面(4)相对应的闭合表面(7); 至少一个凹部，特别是半圆形的杆槽(6)，该杆槽(6)形成在该闭合盘(5)的远离所述开口 (3)的侧面 (13)上，用于接收具有连接杆轴线(19)的连接杆(8)，该杆槽 (6)沿所述连接杆轴线(19)延伸，并且该杆槽(6)具有螺纹孔(14)，该螺纹孔(14)大致垂直于闭 合盘平面(E)且布置在所述杆槽(6)的中央； 通过借助于螺钉(16)将所述杆槽(6)定位在所述连接杆(8)的 连接部(9)上，所述闭合盘(5)能够可拆卸地安装在所述连接杆(8) 上，所述螺钉(16)与所述螺纹孔(14)接合并将所述连接部(9)压进 所述杆槽(6)内；借助于所述阀驱动器(10)，所述连接杆(8)在垂直于所述真空阀 (1)的开口轴线(12)的闭合盘平面(E)内、沿平行于所述连接杆轴 线(19)的方向可被调节；至少部分弯曲的阀座表面(4)的法线与所述闭合表面(7)的法线 大致平行于所述闭合盘平面(E)，所述闭合表面(7)形成为使得该闭合 表面(7)可沿移动路径(11)的方向被压在所述阀座表面(4)上，从 而达到气密闭合的位置(C)，在该位置(C)处，所述闭合盘线性移动到 所述开口 (3)上；所述闭合盘的特征在于在所述杆槽(6)中的凹槽(18)，该凹槽(18)用于夹持所述连接部(9)中的突出部(17)周围，所述凹槽(18)形成为使得所述突出部 (17)在包含所述连接杆轴线(19)的平面内被该凹槽(18)围绕夹持， 从而使所述闭合盘(5)和所述连接杆(8)能够沿所述移动路径(11) 的方向以互锁方式彼此固定。
12、 根据权利要求ll所述的闭合盘(5)，其中，所述凹槽(18)呈 沟槽U8a， 18c)的形式，所述沟槽(18a， 18c)在垂直于所述连接杆轴 线(19)的平面内。
13、 根据权利要求12所述的闭合盘(5)，其中，所述沟槽(18a) 沿整个杆槽(6)延伸。
14、 根据权利要求12或13所述的闭合盘(5)，其中，所述沟槽(18a) 具有以大致V形的方式朝向该沟槽(18a)内部逐渐缩小的截面。
15、 根据权利要求ll所述的闭合盘(5)，其中，所述凹槽(18)呈 孔(18b)的形式，所述孔(18b)大致平行于所述螺纹孔(14)。
16、 根据权利要求11至15中任一项所述的闭合盘(5)，其中，所 述突出部(17)布置在所述螺纹孔(14)与所述杆槽(6)的朝向所述阀 驱动器(10)的边缘(20)之间的区域中。
全文摘要
本发明涉及一种用于气密闭合流路的真空阀，该真空阀包括形成有至少一个杆槽的闭合盘和至少一个连接杆。借助于穿过连接部的横向孔并与杆槽中的螺纹孔接合的螺钉将杆槽定位在连接杆的连接部上，由此将闭合盘可拆卸地安装在连接杆上。根据本发明，在杆槽和连接部的连接区域中设置有突出部和凹槽，突出部和凹槽形成为使得突出部在包含连接杆轴线的平面内被凹槽围绕夹持，从而闭合盘和连接杆沿移动路径的方向以互锁方式彼此固定。本发明使得能够在螺钉的初始紧固之后实现闭合盘相对于连接杆沿移动路径方向的自定位，并能避免操作期间闭合盘和连接杆之间的相对运动。
文档编号F16K25/00GK101109450SQ20071013613
公开日2008年1月23日 申请日期2007年7月18日 优先权日2006年7月18日
发明者伯恩哈德·利乔尔 申请人:Vat控股公司