技术编号：5736319
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在第一部件和第二部件的连接部处介有密封构件的连 接部密封结构及其所用密封构件。背景技术一直以来，在半导体制造工艺、液晶制造工艺等化学液体控制中， 使用流量控制阀和开闭阀等阀门类、过滤器、压力传感器和流量传感 器等传感器类、接头组件及流路组件等配管组件类等流体设备。近年 来，为了装置的紧凑化，将这些流体设备的连接部彼此直接连接而将 连接部分密封，进行单元化。作为在第一部件和第二部件的连接部处 介有密封构件的连接部密封结构，存在例如专利文献1所述的结...
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