连接部密封结构及其所用密封构件的制作方法

专利名称：连接部密封结构及其所用密封构件的制作方法
技术领域：
本发明涉及在第一部件和第二部件的连接部处介有密封构件的连 接部密封结构及其所用密封构件。
背景技术：
一直以来，在半导体制造工艺、液晶制造工艺等化学液体控制中， 使用流量控制阀和开闭阀等阀门类、过滤器、压力传感器和流量传感 器等传感器类、接头组件及流路组件等配管组件类等流体设备。近年 来，为了装置的紧凑化，将这些流体设备的连接部彼此直接连接而将 连接部分密封，进行单元化。作为在第一部件和第二部件的连接部处 介有密封构件的连接部密封结构，存在例如专利文献1所述的结构。
图36为应用了现有的连接部密封结构的集成板1100的剖面图。
集成板1100为在板材1101的上表面通过螺钉1116固定有阀1102 的部件，在板材1101和阀1102处介有密封构件1112。
板材1101的材质为氟树脂。与第一通道1103连通的纵通路1104、 和与第二通道1105连通并在纵通路1104的周围形成为环状的纵环形 通路1106在板材1101的连接部1101a上开口。连接部1101a中，在通 路1104、 1106的外侧设有具有环状突起1107的凹凸条。另一方面， 阀1102具有氟树脂制的流路组件1108。与板材1101的纵通路1104对 应的供给侧通路1109、和与板材1101的纵环形通路1106对应的环状 的排出侧通路1110在流路组件1108的连接部1108a上开口。连接部 1108a中，在通路1109、 1110的外侧设置有具有环状突起1111的凹凸 条。密封构件1112由氟树脂环状地成形，在两端面上形成与环状突起
1107、 1111嵌合的环状槽1113、 1114。环状槽1113、 1114的槽宽度 设定为环状突起的槽宽度的0.75 0.85倍，环状突起1107、 1111的外 周面和内周面压接于与环状槽1113、 1114相对应的内外侧周面。并且， 在密封构件1112的外周壁上，环状的装卸法兰盘1115横向突出。装 卸法兰盘1115的厚度设定为比连接部1101a、 1108a的间隙W小的值。
在安装密封构件1112时，以将板材1101的环状突起1107插入密 封构件1112的环状槽1113中的方式将密封构件1112设置在板材1101 上之后，以将流路组件1108的环状突起1111插入密封构件1112的环 状槽1114中的方式将阀1102设置在板材1101上，之后，通过拧紧螺 钉1116，将环状突起1107、 1111嵌入密封构件1112的环状槽1113、 1114中。
与此相对，在拆卸密封构件1112的情况下，拆卸螺钉11.16而使 阀1102从板材1101分离时，由于密封构件1112紧贴于板材1101或 流路组件1108中的一个，所以用工具或手指拉扯密封构件1112的装 卸法兰盘1115，将密封构件1112从板材1101或流路组件1108的凹凸 条拆下。
专利文献1:日本特开2006-90378号公报(参照第11页、段落 0041)

发明内容
但是，现有的连接部密封结构中，密封构件1112的装卸法兰盘 1115较小，且收容于连接部1101a、 1108a之间，因此难以用手指揪住。 因此，在现有的连接部密封结构中，不得不用工具夹住装卸法兰盘1115 而将其拉扯，但是可能会出现作业时工具与连接部1101a、 1108a摩擦 或碰撞等而使连接部1101a、 1108a受到损伤的情况。在连接部1101a、1108a受到损伤的情况下，为了防止出现流体从损伤部分的泄漏，必须 整个更换板材1101或流路组件1108，在密封构件1112的拆卸作业上
耗费工吋。
假设，即使能用手指揪住装卸法兰盘1115，但为了防止在通过螺 钉1116将流路组件1108安装在板材1101上时，装卸法兰盘1115紧 贴于板材1101的连接部1101a或流路组件1108的连接部1108a，所以 装卸法兰盘1115的厚度设定为比连接部1101a、 1108a的间隙W小的
值，变得较薄。因此，在用手指捏住装卸法兰盘1115而拉扯时，装卸 法兰盘1115可能会被撕下而破损，并不实用。
因此，希望一种能够用手工作业简单地将介于第一部件和第二部 件之间的密封构件拆卸的连接部密封结构。
此外，现有的连接部密封结构包含开口部，在密封构件1112上形 成的环状槽1113、 1114的槽宽度比环状突起1107、 1111的宽度小。 因此，直至将环状突起1107、 1111的前端压入环状槽1113、 1114中 为止，第一和第二部件与密封构件的位置关系不稳定，难以将环状突 起1107、 1111压入环状槽1113、 1114中。因此，希望一种易于将环 状突起压入环状槽且密封构件的安装性良好的连接部密封结构。
本发明为了解决上述问题而提出，目的是提供一种适于密封构件 的拆卸/安装作业的连接部密封结构。
本发明的连接部密封结构，具有下述构成。
(1) 一种连接部密封结构，在第一部件和第二部件的连接部处介 有密封构件，所述第一部件在连接部上形成第一凹凸条，所述第二部 件在连接部上形成第二凹凸条，所述密封构件在一面上设有与所述第 一凹凸条嵌合的第一嵌合部，在另一面上设有与所述第二凹凸条嵌合的第二嵌合部，在所述第一和第二嵌合部中具备沿壁厚方向的压入部，其中，所述密封构件具有从设有所述第一和第二嵌合部的环状的主体部向外周方向伸出的伸出部，所述伸出部从所述第一和所述第二部件的连接部向外侧突出。
(2) 在(1)所述的发明中，所述密封构件在所述伸出部的端部上具有沿相对于所述伸出部正交的方向延伸的把持部。
(3) 在(1)或(2)所述的发明中，所述密封构件中，定位凸部以与所述主体部的轴线平行延伸的方式设置在所述伸出部的两端面上，所述第一部件设有供所述定位凸部嵌入而定位的第一定位孔部，所述第二部件设有供所述定位凸部嵌入而定位的第二定位孔部。
(4) 一种连接部密封结构，在第一部件和第二部件的连接部处介有密封构件，在所述第一部件的连接部上形成第一环状突起，在所述第二部件的连接部上形成第二环状突起，所述密封构件在一面上设有与所述第一环状突起嵌合的第一环状槽，在另一面上设有与所述第二环状突起嵌合的第二环状槽，在所述第一和第二环状槽中具备沿壁厚方向的压入部，通过将所述第一和第二环状突起压入所述第一和第二环状槽的压入部而进行密封，其中，将所述第一和第二环状突起从所述第一和第二环状槽的开口部向所述压入部引导的引导部设置在所述密封构件的所述第一和第二环状槽的开口部上。
(5) —种连接部密封结构，在第一部件和第二部件的连接部处介有密封构件，在所述第一部件的连接部上形成第一环状槽，在所述第二部件的连接部上形成第二环状槽，所述密封构件在一面上设有嵌合于所述第一环状槽的第一环状突起，在另一面上设有嵌合于所述第二环状槽的第二环状突起，在所述第一和第二环状突起上具备沿壁厚方向的压入部，以将所述第一和第二环状突起的压入部压入所述第一和第二环状槽的方式使所述第一和第二环状突起嵌合于所述第一和第二环状槽，由此进行密封，其中，将所述第一和第二环状突起的压入部向所述第一和第二环状槽引导的引导部设置在所述密封构件的所述第一和第二环状突起的前端部上。
(6) —种连接部密封结构，第一部件和第二部件沿流路开口部的周围设有环状凹凸条，在所述第一部件和所述第二部件之间配置的密封构件设有与所述环状凹凸条对应的环状凸凹条，将所述环状凹凸条和所述环状凸凹条压入扣合而将所述第一和所述第二部件的连接部密
封，其中，所述密封构件具有具备所述环状凸凹条的圆筒状的主体部、从所述主体部向外周方向伸出的伸出部、和经由所述伸出部而与所述主体部连接并沿相对于所述伸出部正交的方向延伸设置、且具备从所述主体部侧突出的钩挂部的把持部，在所述第一部件和所述第二部件上设有卡定所述钩挂部的凸部。
(7) 在(6)所述的发明中，所述密封构件将所述钩挂部设置在所述把持部上，从而在使所述钩挂部卡定于所述凸部的情况下，使所述环状凸凹条和所述环状凹凸条定位。
(8) 在(6)或(7)所述的发明中，所述密封构件中，所述环状凸凹条具有与所述环状凹凸条对应的引导部、和位于相比所述引导部靠内侧的在所述环状凸凹条的直径方向上较厚的压入部，在使所述钩挂部卡定于所述凸部的情况下，所述环状凹凸条临时插入所述引导部。
(9) 在(6)至(8)的任一项所述的发明中，所述密封构件中，将所述把持部在圆周方向上分割配置。
(10) 在(6)至(8)的任一项所述的发明中，所述密封构件中，将所述把持部在圆周方向上环状地设置，沿所述把持部的内周设置所述所述钩挂部。(11) 在(6)至(10)的任一项所述的发明中，所述密封构件中，在所述伸出部的与所述把持部连接的部分上设有贯通孔。
(12) 在(6)至(11)的任一项所述的发明中，所述密封构件中，
在所述把持部的两端上具有所述钩挂部。
此外，所谓"在把持部的两端上具有钩挂部"是指，除了在分割配置的各把持部的两端上设有钩挂部的情况之外，也包括分割配置的把持部中，在一部分把持部的一端上设有钩挂部，在其他的把持部的另一端上设有钩挂部，作为密封构件整体在把持部的两侧具有钩挂部的情况。
(13) 在(6)至(12)的任一项所述的连接部密封结构中所使用的密封构件。
在具有上述构成的连接部密封结构中，在分离第一部件和第二部件时，随附第一部件或第二部件而残留的密封构件中，伸出部从第一部件或第二部件的连接部向外侧突出。即使伸出部被第一部件和第二部件夹持而贴附于第一部件或第二部件的连接部，也可以捏住伸出部而将伸出部从第一部件或第二部件的连接部撕下，用手指牢固地捏住伸出部，易于将密封构件从第一部件或第二构件扯下而拆卸。因此，根据本发明的连接部密封结构，能够通过手工作业简单地将介于第一部件或第二部件的连接部处的密封构件拆卸。
本发明的连接部密封结构中，在从第一和第二部件的连接部向外侧突出的伸出部的端部上设有把持部，把持面积较大，因此在拉扯把持部而将密封构件从第一或第二部件拆卸时，手指不易从把持部滑出。
该情况下，在以沿第一和第二部件的连接部形状的方式设置把持部内径的情况下，由于把持部内径覆盖第一和第二部件的连接部，所以易于将密封部件安装于第一部件或第二部件。
本发明的连接部密封结构中，密封构件的定位凸部嵌合于第一和第二部件的第一和第二定位孔部，密封构件相对于第一部件和第二部件进行定位，因此能够容易地安装密封构件。
本发明的连接部密封结构中，在第一和第二环状槽的开口部上设置将第一和第二环状突起向压入部引导的引导部，因此易于将第一和第二环状突起压入第一和第二嵌合部的压入部，密封构件的安装性良好。
此外，本发明的连接部密封结构中，在第一和第二环状突起的前端部上设置将压入部向第一和第二环状槽引导的引导部，因此易于将第一和第二环状突起压入第一和第二环状槽，密封构件的安装性良好。
本发明的连接部密封结构和密封构件中，在连接第一和第二部件的情况下，使钩挂部卡定于第一或第二凸部的至少一方而防止密封构件的脱落，防止密封构件的变形或损伤。由此，第一和第二部件的环状凹凸条与密封构件的环状凸凹条在圆周方向上均匀地向压入，不会产生流体泄漏。因此，根据本发明的连接部密封结构和密封构件，能够可靠地将第一和第二部件的连接部分密封。
此外，本发明的连接部密封结构和密封构件中，即使在例如在上下方向上连接第一和第二部件的情况下，若将钩挂部卡定于第一或第二凸部，则也能够防止密封构件从第一或第二部件脱落，同时能够将第一和第二部件的环状凹凸条与密封构件的环状凸凹条适宜地定位。
由此，在环状凹凸条和环状凸凹条压入的部分上不发生偏移，不产生泄漏。因此，根据本发明的连接部密封结构和密封构件，能够可靠地将第一和第二部件的连接部分密封。此外，本发明的连接部密封结构和密封构件中，在将钩挂部卡定 于第一或第二凸部时，在将环状凹凸条临时插入在环状凸凹条上设置 的引导部的情况下，在第一和第二部件相互接近而使环状凸凹条和环 状凹凸条压入时，由于将环状凹凸条从环状凸凹条的引导部顺滑地向 压入部引导，所以能够向环状凸凹条的压入部均匀地压入，进行适宜 的密封。
本发明的连接部密封结构和密封构件中，把持部被分割配置在密 封构件上而易于变形，因此易于使钩挂部卡定于第一或第二凸部。
本发明的连接部密封结构和密封构件中，由于沿着在密封构件的 圆周方向上环状地设置的把持部的内周而设置钩挂部，因此即使把持 部的壁厚较薄，也能够使钩挂部稳定地卡定于第一或第二凸部。
本发明的连接部密封结构和密封构件中，在伸出部的把持部连接 的部分上设置贯通孔，以在密封构件的成形时钩挂部不变为凹陷，因 此能够使密封构件不变形而从模具分离。
此外，密封构件中，从制造角度考虑，即使设置了凹陷以用于在 成形时设置钩挂部，也可使把持部在贯通孔侧变形而易于从模具分离。
本发明的连接部密封结构和密封构件中，由于在把持部的两端上 设有钩挂部，所以不限定在第一和第二部件上安装密封构件的安装方 向。


图1是表示本发明的第一实施方式的连接部密封结构的放大剖面图。
图2是图1所示的连接部密封结构的分解图。但是，省略了连接 构件。图4是图3的A-A剖面图。
图5是安装图l所示的连接部密封结构的密封构件的安装说明图， 表示连接前的状态。
图6是安装图l所示的连接部密封结构的密封构件的安装说明图， 表示连接后的状态。
图7是拆卸图l所示的连接部密封结构的密封构件的拆卸说明图， 表示从密封构件拆卸第一部件后的状态。
图8是拆卸图l所示的连接部密封结构的密封构件的拆卸说明图， 表示从密封构件拆卸第二部件后的状态。
图9是本发明的第二实施方式的连接部密封结构的剖面图。
图10是图9所示的密封构件的俯视图。
图11是图IO的A-A剖面图。
图12是图IO所示的密封构件的外观立体图。
图13是图9所示的连接部密封结构的装配说明图，特别是表示了 将密封构件安装在一方的连接部上的状态。
图14是图9所示的连接部密封结构的装配说明图，特别是表示了 流体设备的拢靠方法。
图15是图9所示的连接部密封结构的装配说明图，特别是表示了 连接构件的安装方法。
图16是图9所示的密封构件的第一变形例，表示外观立体图。
图17是图9所示的密封构件的第二变形例，表示俯视图。
图18是图17的B-B剖面图。
图19是图n所示的密封构件的外观立体图。
图20是表示图l所示的密封构件的第一变形例的俯视图。
图21是图20所示的变形例的B-B剖面图。
图22是表示图1所示的密封构件的第二变形例的俯视图。
图23是图22所示的变形例的C-C剖面图。
图24是表示图l所示的密封构件的第三变形例的俯视图。
图25是图24所示的变形例的D-D剖面图。图26是表示图1所示的密封构件的第四变形例的俯视图。
图27是图26所示的变形例的E-E剖面图。
图28是表示图1所示的密封构件的第五变形例的俯视图。
图29是图28所示的变形例的F-F剖面图。
图30是表示图1所示的密封构件的第六变形例的俯视图。
图31是图30图19所示的变形例的G-G剖面图。
图32是表示图1所示的密封构件的第七变形例的俯视图。
图33是图32图21所示的变形例的H-H剖面图。
图34是图l所示的连接部密封结构的变形例。
图35是图1所示的连接部密封结构的变形例。
图36是应用现有的连接部密封结构的化学液体阀的剖面图。
标号说明
1连接部密封结构
2第一部件
3第二部件
4密封构件
5连接构件
12连接部
15第一凹凸条
16第一定位孔部
22连接部
25第二凹凸条
26第二定位孔部
31主体部
32第一环状槽(第一嵌合部) 33第二环状槽(第二嵌合部) 35伸出部 36把持部 37定位凸部51环状突起(第一嵌合部)
52环状突起(第二嵌合部)
53环状槽
54环状槽
55第一凹凸条
56第二凹凸条
57压入部
58引导部
59引导部
101连接部密封结构
102第一主体(第一部件)
103第二主体(第二部件)
104第一连接部
104b环状突起(凹凸条)
104g凸部(第一凸部)
105第二连接部
105b环状突起(凹凸条)
105g凸部(第二凸部)
106、 106A、 106B密封构件
111主体部
llla、 lllb环状槽(凸凹条) 112、 112A、 112B把持部 112a、 112b钩挂部 113伸出部
具体实施例方式
接着，参照

本发明的连接部密封结构和密封构件的一种 实施方式。
(第一实施方式)第一实施方式的连接部密封结构1除了应用于图36所示的集成板
1100的板材1101和流路组件1108的连接部之外，还应用于化学液体 阀用流体设备的流路组件和歧管组件的连接部、配管组件彼此的连接 部等。此外，这些构件均可作为后述的第一部件2和第二部件3的一 例。
<整体构成〉
图1是表示本发明的第一实施方式的连接部密封结构1的放大剖 面图。
第一实施方式的连接部密封结构1为在第一部件2和第二部件3 之间介有密封构件4而构成。连接部密封结构1中， 一对连接构件5 以覆盖密封构件4的四周的方式连接第一部件2的连接部12和第二部 件3的连接部22。
<第一部件的构成>
图2是图1所示的连接部密封结构1的分解图。但是，省略了连 接构件5。
第一部件2的材质为PTFE、 PFA等氟树脂。第一部件2中，第一 流路11在连接部12上开口 。连接部12形成于在第一部件2上设置的 第一凸缘部13的端面上。为了安装连接构件5，第一凸缘部13设置为 比第二部件3的外形尺寸小。在连接部12上，沿着第一流路11开口 的开口部的外侧而环状地形成具有第一环状突起14的第一凹凸条15。 第一环状突起14的壁厚方向的宽度Wl设定为与密封构件4的第一和 第二环状槽32、 33的宽度W3相同或比其稍小一些。并且，在连接部 12上，在比第一凹凸条15靠外侧处形成第一定位孔部16。
<第二部件的构成〉
第二部件3的材质为PTFE、 PFA等氟树脂。第二部件3中，第二流路21在连接部22上开口 。连接部22形成于在第二部件3上设置的 第二凸缘部23的端面上。为了安装连接构件5，第二凸缘部23设置为 比第二部件3的外形尺寸小。在连接部22上，沿着第二流路21开口 的开口部的外侧而环状地形成具有第二环状突起24的第二凹凸条25。 第二环状突起24的壁厚方向的宽度Wl设定为与密封构件4的第一和 第二环状槽32、 33的宽度W3相同或比其稍小一些。并且，在连接部 22上，在比第二凹凸条25靠外侧处形成第二定位孔部26。
此外，第一和第二部件2、 3中，第一和第二凸缘部13、 23，第一 和第二环状突起14、 24，第一和第二凹凸条15、 25，第一和第二定位 孔部16、 26设置为对称形状。
<密封构件的构成>
图3为密封构件4的俯视图。图4为图3的A-A剖面图。
密封构件4的材质为PTFE、 PFA等氟树脂。密封构件4中，为了 不限制相对于第一部件2和第二部件3的安装方向，两端面(图中左 右端面)形成对称形状。
密封构件4具备环状的主体部31。主体部31中，在一面上形成嵌 合于第一部件2的第一环状突起14的第一环状槽32，在另一面上形成 嵌合于第二部件3的第二环状突起24的第二环状槽33。
密封构件4中，第一和第二环状槽32、 33的宽度W3设定为与在 第一和第二部件2、 3上设置的第一和第二环状突起14、 24的宽度Wl 大致相同的尺寸或比其稍大一些。具体而言，第一和第二环状槽32、 33的宽度W3设定为第一和第二环状突起14、 24的宽度Wl的一倍以 上1.2倍以下。在第一和第二环状槽32、 33的内周壁和外周壁上，在 比第一和第二环状槽32、 33的开口部靠内侧处，在壁厚方向XI上分 别设置厚度为t、 t'的压入部34，设有压入部34的部分的宽度W2比第一和第二环状槽32、 33的宽度W3窄(参照图4的虚线部分)。因此， 密封构件4中，在第一和第二环状槽32、 33的开口部和压入部34之 间设置台阶差，通过该台阶差设置第一和第二引导部38、 39，用于将 第一和第二环状突起14、 24从第一和第二环状槽32、 33的开口部向 压入部34引导。此处，为了使密封力均匀，理想的是使t、 t，相同，但 是考虑到现实中会产生尺寸公差，所以将t、 t'分开考虑。此外，压入 部34的厚度为t+t^Wl-W2 (参照图2)。
密封构件4中，从主体部31的外周壁向外周方向设置一对伸出部 35、 35。伸出部35、 35夹持主体部31而向相反方向设置并对称配置。 各伸出部35成形为长方形的膜状以自由地挠曲。各伸出部35的厚度 设定为能够确保对将第一或第二环状突起14、 24压入了压入部34后 的密封构件4进行拉扯时不会破损的强度。各伸出部35设置为在将密 封构件4安装于第一和第二部件2、 3的连接部12、 22的情况下，端 部从第一和第二部件2、 3的连接部12、 22向外侧突出。
在各伸出部35的端部上设有把持部36。把持部36为了确保用手 指捏住时的强度，形成得厚于伸出部35。把持部36中，轴线方向的全 长X2设定为比主体部31的轴线方向的全长X3大的尺寸，把持部36 从密封构件4的端面向轴线方向突出，从而在操作密封构件4时，把 持部36比主体部31先与其他物体接触，保护主体部31及其密封面。 此外，把持部36的内径与第一和第二凸缘部13、 23的外径相同，在 第一和第二凸缘部13、 23上安装密封构件4时，把持部36的内周面 以沿着第一和第二凸缘部13、 23的外周面的方式而覆盖，因此易于将 密封构件4安装在第一和第二部件2、 3的连接部12、 22上。
在一方的伸出部35上，定位凸部37、 37设置成销状。 一对定位 凸部37以与主体部31的轴线方向平行地延伸的方式设置在伸出部35 的两端面上，夹持伸出部35而对称配置。 一对定位凸部37以相比主 体部31向轴线方向突出的高度设置，嵌合于第一和第二部件的第一和
18第二定位孔部16、 26而使密封构件4相对于第一和第二部件2、 3定 位。
<连接构件的构成〉
回到图1，一对连接构件5以将介有密封构件4的第一和第二凸缘 部13、 23从两侧夹持的方式安装在第一和第二部件2、 3上，包围第 一和第二凸缘部13、 23的周围而连接连接部12、 22。 一对连接构件5 以按压从第一和第二凸缘部13、 23之间向外侧突出的把持部36的方
式将其覆盖。
<密封构件的安装说明>
图5是安装图1所示的连接部密封结构1的密封构件4的安装说 明图，表示连接前的状态。图6是安装图1所示的连接部密封结构1 的密封构件4的安装说明图，表示连接后的状态。
如图5所示，将密封构件4的定位凸部37插入第一部件2的第一 定位孔部16中，然后将第一部件2的第一环状突起14插入密封构件4 的第一引导部38中。此外，将密封构件4的定位凸部37插入第二部 件3的第二定位孔部26中，然后将第二部件3的第二环状突起24插 入密封构件4的第二引导部39中。由此，第一部件2的连接部12和 第二部件3的连接部22，经由插入第一和第二定位孔部16、 26中的定 位凸部37、 37而限制密封构件4的旋转，同时经由密封构件4的主体 部31而定位，将第一和第二流路ll、 21配置在同一轴上。
在该状态下向第一部件2 —侧推压第二部件3时，第一和第二部 件2、 3被密封构件4的定位凸部37引导而在同轴上移动，使连接部 12、 22靠近。随之，第一和第二部件2、 3的第一和第二环状突起14、 24被从密封构件4的第一和第二引导部38、 39向第一和第二环状槽 32、 33的压入部34压入。将第一和第二环状突起14、 24向密封构件 4的压入部34充分压入时，第一和第二部件2、 3的连接部12、 22将密封构件4的伸出部35夹入。此时，在伸出部35的端部上设置的把 持部36从第一和第二部件2、 3的连接部12、 22向外侧突出，位于第 一和第二凸缘部13、 23的外周面上。
而且，如图l所示，将一对连接构件5、 5以覆盖第一和第二凸缘 部13、 23的方式安装，以使密封构件4的把持部36、 36不向外部露 出。连接构件5、 5通过螺钉等固定构件而一体化。第一和第二凸缘部 13、 23被连接构件5、 5夹入保持，即使在使连接部12、 22分离的方 向上承受密封构件4的反作用力，也能维持连接部12、 22的连接状态。
<密封构件的拆卸说明>
图7是表示拆卸图1所示的连接部密封结构的密封构件4的工序 的工序图，表示从密封构件拆卸第一部件后的状态。
将图1所示的一对连接构件5、 5从第一和第二凸缘部13、 23拆 卸，变成图6所示的状态后，如图7所示，分离第一部件2和第二部 件3。于是，密封构件4随附第一部件2或第二部件3中的任一个而残 留。在第一实施方式中为残留在第二部件3上的情形。
密封构件4通过从第一部件2分离，主体部31、把持部36、和定 位凸部37的一端侧被开放。例如，用拇指对把持部36的一端侧施加 向内(主体部31—侧)的力而使把持部36相对于伸出部35倾斜时， 由于把持部36的另一端侧从第二凸缘部23的外周面翘起，所以在翘 起的把持部36的另一端侧上搭上食指，用拇指和食指牢固地捏住把持 部36而拉扯。把持部36中，由于全长X2设定为比主体部X3大的尺 寸，因此按压把持部36的一端侧时，把持部36的另一端的翘起幅度 较大，易于捏住把持部36。此外，由于把持部36的把持面积较大，所 以在拉扯密封构件4时，手指不易从把持部36滑下。
此处，密封构件4中，将长方形状的伸出部35在密封构件4的外
20周壁上设置两处，在使密封构件4介于连接部12、 22之间时，伸出部 35与连接部12、 22紧贴的面积较小。因此，即使设定将伸出部35紧 密地夹持在连接部12、 22之间的厚度而确保强度，也能在向第二部件 3的相反一侧拉扯把持部36时，简单地将伸出部35从连接部22剥离。
密封构件4中，以大致均匀的力拉扯隔着主体部31而设置于一条 直线上的一对伸出部35的把持部36。因此，拉扯力在密封构件4上分 散，在拉扯把持部36时伸出部35不易被撕破。把持部36被拉扯的密 封构件4，如图8所示解除了第二环状槽33和第二环状突起24的嵌合 状态，从第二部件3的第二凹凸条25被拆下。
这样，不使用工具而通过手工作业将密封构件4从第一和第二部 件2、 3的连接部12、 22拆下。因此，在拆下密封构件4时，不会损 伤第一和第二部件2、 3的连接部12、 22。此外，密封构件4自身也不 会被工具损伤。并且，密封构件4中，由于伸出部35具有强度，所以， 即使用手指捏住伸出部35、 35而拉扯，从第一或第二部件2、 3的连 接部12、 22拆卸，也不易产生伸出部35被撕破等破损。这样，在第 一实施方式的连接部密封结构1中，在拆卸密封构件4时，密封构件4、 第一和第二部件2、 3不易受到损伤，能够将密封构件4反复装卸在第 一和第二部件2、 3上而使用。
<密封构件的安装>
在将密封构件4安装在第一和第二部件2、 3之间的情况下，以与 上述拆卸顺序相反的顺序进行即可。
此外，在该情况下，密封构件4中，用手指捏住在伸出部35的端 部上设置的把持部36、 36，使第一或第二环状槽32、 33与第一部件2 的第一环状突起14或第二部件3的第二环状突起24对准位置，使第 一或第二环状突起14、 24的前端部插入第一或第二环状槽32、 33的 引导部38、 39中，因此易于将密封构件4安装在第一或第二部件2、 3的连接部12、 22上。
而且，把持部36、 36从主体部31的端面向轴线方向突出。因此， 在使第一或第二环状突起14、 24的前端部插入第一或第二环状槽32、 33的引导部38、 39中之前，将把持部36、 36安装在第一或第二凸缘 部13、 23的外周面上，使第一或第二环状槽32、 33的引导部38、 39 与第一或第二环状突起14、 24的前端部定位。并且，把持部36沿第 一或第二凸缘部13、 23将第一或第二环状突起14、 24的前端部向第 一或第二环状槽32、 33的引导部38、 39引导，起到导向的作用，因 此易于将密封构件4安装在第一或第二部件2、 3的连接部12、 22上。
<作用效果>
在上述第一实施方式的连接部密封结构1中，在分离第一部件2 和第二部件3时，随附第一部件2或第二部件3而残留的密封构件4 中，伸出部35从第一部件2或第二部件3的连接部12、 22向外侧突 出(参照图7)。伸出部35为夹持在第一部件2和第二部件3之间的 程度的壁厚，即使在分离第一部件2和第二部件3时贴附在第一部件2 的连接部12或第二部件3的连接部22上，也可以捏住伸出部35而将 伸出部35从第一部件2的连接部12或第二部件3的连接部22剥离， 用手指牢固地捏住伸出部35,易于将密封构件4从第一部件2或第二 部件3扯下而拆卸。此外，由于伸出部35具有强度，所以伸出部35 在被拉扯的过程中不会被撕破。因此，根据第一实施方式的连接部密 封结构l，能够将介于第一部件2或第二部件3的连接部12、 22之间 的密封构件4简单地拆卸。并且，根据第一实施方式的连接部密封结 构1，由于用手指捏住密封构件4的伸出部35的端部而将主体部31安 装在第一或第二部件2、 3的连接部12、 22上，所以，即使在例如密 封构件4较小而难以操作的情况下，也易于将密封构件4安装在连接 部12、 22上。
在上述第一实施方式的连接部密封结构1中，在从第一和第二部件2、 3的连接部12、 22向外侧突出的伸出部35的端部上设置把持部 36，并扩大把持面积(参照图7)，因此，在拉扯把持部36而将密封 构件4从第一或第二部件2、 3拆卸时，手指不易从把持部36滑下。
在上述第一实施方式的连接部密封结构1中，将密封构件4的定 位凸部37、 37嵌入第一和第二部件的第一和第二定位孔部16、 26中， 使密封构件4相对于第一部件2和第二部件3而定位(参照图5)，因 此能够容易地安装密封构件4。
在上述第一实施方式的连接部密封结构1中，在第一和第二环状 槽32、 33的开口部上设置引导部38、 39，该引导部38、 39用于将在 第一和第二凹凸条15、 25上设置的第一和第二环状突起14、 24向压 入部34引导(参照图5)，因此易于将第一和第二环状突起14、 24压 入第一和第二环状槽32、 33的压入部34中，密封构件4的安装性良 好。
(第二实施方式)
接着，参照

本发明的第二实施方式。
第一实施方式的密封构件中，为了使密封连接部紧凑化，不能使 在第一和第二树脂制部件上安装的把持部充分地大。因此，例如在使 把持部嵌合于第二树脂制部件的连接部而使密封构件临时固定在第二 树脂制部件上之后，到第一树脂制部件临时固定在密封构件上为止的 期间，可能出现密封构件由于自重或某种冲击而从第二树脂制部件脱 落的情况。脱落的密封构件可能会产生变形或损伤。密封构件中，如 果环状槽是相对于环状突起适宜的形状，则能够将环状槽相对于环状 突起在圆周方向上均匀地压入而适宜地将连接部密封。但是，对于由 于变形或损伤等导致环状槽相对于环状突起不是适宜的形状的密封构 件，不能将环状槽和环状突起在圆周方向上均匀地压入，担心流体从 密封较弱的部分泄漏。图9是连接部密封结构101的剖面图。
第二实施方式的连接部密封结构101及其所用密封构件106，是为
了解决第一实施方式的密封构件及使用了该密封构件的连接部密封结
构所产生的问题而开发的。在密封构件106上设置钩挂部112a、 112b， 在对连接部104、 105进行连接的作业中，防止密封构件106从第一或 第二连接部104、 105脱落。
<连接部密封结构的整体构成>
第二实施方式的连接部密封结构101适用于例如半导体制造工艺 中所使用的第一流体设备的第一主体102 ("第一部件"的一例)和第 二流体设备的第二主体103 ("第二部件"的一例)的连接部。连接部 密封结构101中，在第一主体102的第一连接部104和第二主体103 的第二连接部105之间配置密封构件106，使用连接构件107而连接第 一和第二连接部104、 105。
第一和第二主体102、 103由PTFE等耐热性、耐腐蚀性的氟树脂 形成为块状。在第一和第二主体102、 103中，第一和第二连接部104、 105分别以圆筒状设置，流路104h、 105h在其端面上开口。第一和第 二连接部104、 105形成相同的结构。
在第一和第二连接部104、 105的端面上，在流路开口部的周围形 成密封槽104a、 105a。在密封槽104a、 105a上，作为"环状凹凸条" 的一例的环状突起104b、 105b与流路104h、 105h成同心圆状地突出 设置。在第一和第二连接部104、 105的端面外周上，环状地突出设置 凸部104g、 105g。在这种第一和第二连接部104、 105的外周面上，分 别环状地形成安装有后述夹具115的第一和第二安装槽104f、 105f。并 且，第一和第二连接部104、 105在其端面与第一和第二安装槽104f、 105f之间，环状地形成用于安装连接构件107的第一和第二安装槽
24104c、 105c。
连接构件107分割为第一分割片108和第二分割片109，通过未图 示的固定构件将第一分割片108和第二分割片109—体化，由此维持 第一和第二连接部104、 105的连接状态。第一和第二分割片108、 109 为了安装在第一和第二连接部104、 105的外周上，具有半圆状的圆弧 面。在第一和第二分割片108、 109的圆弧面上，以向内突出的方式分 别设置突部108j、 108k、 109j、 109k，在突部108j、 108k、 109j、 109k 之间设置第一和第二保持槽108f、 109f。
<密封构件〉
图IO是图9所示的密封构件106的俯视图。图11是图IO的A-A 剖面图。图12是图10所示的密封构件106的外观立体图。图13是图 9所示的连接部密封结构101的装配说明图，特别是表示了将密封构件 106安装在一方的连接部105上的状态。
密封构件106的材质为PFA(四氟乙烯-全氟垸基乙烯基醚共聚物) 等硬且具有耐腐蚀性的树脂。如图10-12所示，密封构件106具备主 体部111、把持部112和伸出部113。
如图10 12所示，主体部111形成为短圆筒形状。主体部lll在 两端面上形成与第一和第二连接部104、 105的环状突起104b、 105b 嵌合的环状槽llla、 lllb ("凸凹条"的一例)，形成H形截面，截 面为线对称形状。
图11所示的环状槽llla、 lllb的槽宽度形成为与第一和第二连 接部104、 105的环状突起104b、 105b(参照图9)的壁厚方向宽度尺 寸相同或比其稍大。环状槽llla、 lllb中，在比开口部靠内侧的内侧 内壁和外侧内壁上，分别设置压入部lllc、 llld，使比环状槽llla、 lllb的开口部靠内侧的槽宽度小于环状突起104b、 105b的壁厚方向宽度尺寸。因此，在环状槽llla、 lllb的开口部上，分别设置用于引导
环状突起104b、 105b的引导部llle。
这种主体部111如图11所示，在内周面和外周面上，与在密封槽 104a、 105a的底部上设置的倾斜(参照图9)对应而设置倾斜，防止在 将第一和第二连接部104、 105的环状突起104b、 105b压入主体部111 的环状槽llla、 lllb中时，密封构件106的环状槽llla、 lllb的宽度
扩宽导致密封力降低。
如图10 图12所示，在主体部111的外周面上，伸出部113向外 突出设置。伸出部113沿主体部111的外周面而环状地形成。在伸出 部113的外缘部上，多个把持部112空出规定间隔而一体地连接。各 把持部112从伸出部113的端部向两侧以在相对于伸出部113正交的 方向上延伸的方式设置。换言之，各把持部112相对于主体部111的 外周面空出一定间隔而平行地设置。在各把持部112的两端部上，钩 挂于第一和第二连接部104、 105的凸部104g、 105g而扣合的钩挂部 112a、 112b，向主体部111 一侧(向内)突出而设置。钩挂部112a、 112b设置在各把持部112上，从而在钩挂部112a、 112b卡定于第一或 第二连接部104、 105的凸部104g、 105g的情况下，使在第一或第二 连接部104、 105上设置的环状突起104b、 105b的前端部临时插入环 状槽llla、 lllb的引导部llle中，使环状突起104b、 105b和环状槽 llla、 lllb适宜地定位。
此外，密封构件106通过注塑成形而形成为图10~图12所示的形 状。在注塑成形中使用的模具上，设置用于形成钩挂部U2a、 112b的 凹陷，但由于把持部112被分割配置而易于变形，所以易于从模具分 离密封构件106。
<流体设备的连接方法>
接着，说明连接第一和第二流体设备的第一和第二主体102、 103
26的方法。图13是图9所示的连接部密封结构101的装配说明图，特别
是表示了将密封构件106安装在一方的连接部105上的状态。图14是 图9所示的连接部密封结构101的装配说明图，特别是表示了流体设 备的拢靠方法。图15是图9所示的连接部密封结构101的装配说明图， 特别是表示了连接构件107的安装方法。
首先，用戴上手套的手捏住密封构件106的把持部112,如图13 所示，例如，在第二连接部105的凸部105g上钩挂密封构件106的钩 挂部112a，将把持部112安装在第二连接部105的外周上，使密封构 件106临时固定在第二连接部105上。此处，戴上手套的目的是为了 防止在密封面上附着异物，并且防止手接触附着于流路104h、 105h上 的化学液体。密封构件106中，由于将把持部112分割配置，所以易 于使各把持部112变形，并且钩挂部112a不在全周上形成。因此，密 封构件106易于使钩挂部112a钩挂于凸部105g而卡定，能够简单地安 装在第二连接部105上。像这样钩挂部112a卡定在凸部105g上的密封 构件106中，第二连接部105的环状突起105b的前端部临时插入在环 状槽llla的开口部上设置的引导部llle中而不晃动，不会损伤密封面 (压入部lllc、 llld、环状突起105b)，能够使环状槽llla和环状突 起105b定位。此外，密封构件106中，由于钩挂部112a卡定于凸部 105g，所以即使第二主体103发生倾斜等，密封构件106也不会在环 状槽llla和环状突起105b适宜地定位的状态下从第二连接部105脱 落，易于操作。
然后，密封构件106中，如上述同样，使钩挂部112b钩挂于凸部 104g而安装在第一连接部104上，不损伤密封面而使环状槽lllb相对 于环状突起104b定位。
然后，使用图14所示的夹具115，拢靠第一和第二主体102、 103， 将第一和第二连接部104、 105的环状突起104b、 105b压入密封构件 106的压入部lllc、 llld。具体而言，夹具115为两根把手116A、 116B通过支轴117可旋转地连接而成的构件。在把手116A、 116B的前端部 上，加压板119经由支轴118而摆动自如地分别保持。夹具115调整 把手116A、 U6B的宽度，以将加压板119、 119安装在第一和第二安 装槽104f、 105f中。在该时刻，第一和第二安装槽104c、 105c的端面 侧内侧面之间的宽度W101比连接构件107的保持槽108f的宽度(第 一突部108j和第二突部108k之间的宽度)W102宽，不能将连接构件 107安装在第一和第二连接部104、 105上。因此，握住夹具115的把 手116A、 116B，如图中箭头所示，对第一和第二连接部104、 105向 相互靠近的方向加压而拢靠，将第一和第二连接部104、 105的环状突 起104b、 105b压入密封构件106的压入部lllc、 llld。此时，环状突 起104b、 105b由于通过临时插入了前端部的密封构件106的引导部 llle向压入部lllc、 llld被引导，所以在圆周方向上均匀地压入压入 部lllc、 llld。
如图15所示，如果利用夹具115将第一和第二连接部104、 105 拢靠直到宽度W101变为保持槽108f的宽度W102以下为止，则第一 和第二连接部104、 105的环状突起104b、 105b被向密封构件106的 压入部lllc、 llld压入规定量，得到规定的密封力。因此，握住夹具 115而维持第一和第二连接部104、 105的连接状态，使第一和第二分 割片108、 109的突部108j、 108k、 109j、 109k嵌合于第一和第二连接 部104、 105的第一和第二安装槽104c、 105c，通过未图示的固定构件 将第一和第二分割片108、 109固定。由此，对于连接构件107，即使 第一和第二连接部104、 105由于密封构件106的反作用力而要分离， 也能够由第一和第二凸部108j、 108k、 109j、 109k承受该力，能够维 持第一和第二连接部104、 105的连接状态。因此，密封构件106中， 将第一和第二连接部104、 105的环状突起104b、 105b向环状槽Ula、 lllb压入规定量，能够在其压入部分上维持规定的密封力。
<作用效果〉
因此，第二实施方式的连接部密封结构101和密封构件106，在连接第一和第二主体102、 103的第一和第二连接部104、 105的情况下， 使钩挂部112a、 112b卡定于第一或第二凸部104g、 105g而防止密封构 件106的脱落，防止了密封构件106的变形或损伤。由此，第一和第 二连接部104、 105的环状突起104b、 105b与密封构件106的环状槽 llla、 lllb在圆周方向上被均匀地压入，不会产生流体泄漏。因此， 根据第二实施方式的连接部密封结构101和密封构件106，能够将在第 一和第二主体102、 103上设置的第一和第二连接部104、 105的连接 部分可靠地密封。
此外，第二实施方式的连接部密封结构101和密封构件106，例如 如果使钩挂部112a卡定于第二凸部105g，则能够防止密封构件106从 第二连接部105脱落，同时能够使第二连接部105的环状突起105b和 密封构件106的环状槽llla适宜地定位。由此，环状突起105b和环状 槽llla在压入的部分上不会产生偏移，不产生泄漏。因此，根据第二 实施方式的连接部密封结构101和密封构件106，能够将第一和第二连 接部104、 105的连接部分可靠地密封。
特别是，第二实施方式的连接部密封结构101和密封构件106，在 使钩挂部112a、 112b卡定于第一和第二凸部104g、 105g时，将环状突 起104b、 105b的前端部临时插入在环状槽llla、 lllb上设置的引导部 llle中。因此，在使第一和第二主体102、103的第一和第二连接部104、 105相互靠近而使环状槽llla、 lllb和环状突起104b、 105b压入时， 将环状突起104b、 105b从环状槽llla、 lllb的引导部llle向压入部 lllc、 llld顺滑地引导，因此，能够将环状突起104b、 105b向环状槽 llla、 lllb的压入部lllc、 llld均匀地压入，能够进行适宜的密封。
第二实施方式的连接部密封结构101和密封构件106中，把持部 112在密封构件106上分割配置而易于变形，因此易于使钩挂部112a、 112b卡定于第一和第二凸部104g、 105g。第二实施方式的连接部密封结构101和密封构件106中，由于在
把持部112的两端上设置钩挂部112a、 112b，因此将密封构件106安 装在第一或第二连接部104、 105上的安装方向不受限定。
第二实施方式的连接部密封结构101和密封构件106中，由于在 更换密封构件106时用戴着手套的手捏住把持部112，所以能够不直接 接触密封构件106的接液部而更换密封构件106。
<密封构件的变形例>
此外，密封构件106的形状不限定于上述形状。图16为图9所示 的密封构件106的第一变形例，表示外观立体图。
例如像图16中所示的密封构件106A那样，也可以将把持部112A 环状地设置在密封构件106A的圆周方向上。该情况下，钩挂部112a、 112b可以沿把持部112A的一端或两端部的内周面设置。这种密封构 件106A和使用它的连接部密封结构中，即使使把持部112A的壁厚较 薄，由于在将钩挂部112a、 112b钩挂于第一和第二凸部104g、 105g 时通过把持部112A整体取得平衡，所以也能够使钩挂部112a、 112b 稳定地卡定于第一和第二凸部104g、105g。换言之，在将密封构件106A 安装在第一和第二连接部104、 105上时，能够使环状槽llla、 lllb 相对于环状突起104b、 105b更加准确地定位。
此外，密封构件106A也可以在把持部112A与伸出部113连接的 部分上设置贯通孔。由此，由于在成形时钩挂部112a、 112b不变为凹 陷，所以能够不使密封构件106变形而使密封构件106A从模具分离。
图17是图9所示的密封构件106的第二变形例，表示俯视图。图 18是图17的B-B剖面图。图19是图17所示的密封构件106B的外观 立体图。例如像图17 图19所示的密封构件106B那样，也可以在分割配 置的把持部112B上交互设置钩挂部112a、 112b。由此，在密封构件 106B成形时易于从模具的凹陷分离密封构件106B，并且能够消除密封 构件106B的安装方向的限制。
此外，例如像图17~图19所示的密封构件106B那样，也可以在 伸出部113B的与把持部112B连接的部分上设置贯通孔113a。该情况 下，密封构件106B和使用它的连接部密封结构中，由于把持部112B 易于向贯通孔113a—侧变形，所以易于使各把持部112卡定于第一和 第二连接部104、 105的凸部104g、 105g。而且，密封构件106B中， 从制造角度考虑，由于成形时钩挂部112a、 112b不变为凹陷，所以不 会使制品变形，易于从模具分离。
再例如，密封构件106中，伸出部113设置成环状，但是也可以 由设置成放射线状的筋部构成伸出部。
再例如，密封构件106中，分割配置四个把持部112，但是也可以 分割配置2个或3个、或者5个以上的把持部112。
再例如，密封构件106中，在把持部112的两端上设置钩挂部112a、 112b，但是也可以在把持部U2上仅设置某一方的钩挂部112a、 112b。
再例如，密封构件106中，以向伸出部113的两侧延伸的方式设 置把持部112，但是也可以从伸出部113仅向一方延伸的方式设置把持 部，并在该把持部上设置钩挂部。
再例如，密封构件106中，在把持部112的端部上设置钩挂部112a、 U2b，但是也可以在把持部与伸出部连接的部分和把持部的端部之间 设置钩挂部。
31再例如，密封构件106中，沿把持部112设置钩挂部112a、 112b， 但是也可以在各把持部112上部分地设置钩挂部。
再例如，在上述第二实施方式中，密封构件106的材质为PFA， 但是也可以是PP (聚丙烯)、PE (聚乙烯)等硬且具有耐腐蚀性的树 脂。或者，密封构件106的材质也可以是EPDM (乙丙橡胶)、FKM (氟橡胶)等橡胶。
<变形例>
此外，本发明不限定于上述实施方式，可以进行各种应用。
(1)例如，对于上述第一实施方式的密封构件4可以考虑以下的 变形例。例如，也可以像图20和图21所示的密封构件4A那样，形成 省略了定位凸部37的伸出部35A。该情况下，也可以不在第一和第二 部件2、 3上形成定位孔部16、 26。
此外，也可以如图22和图23所示的密封构件4B那样，省略图 20和图21所示的伸出部35A的把持部36而形成伸出部35B，减少密 封构件4B的制造所使用的材料。在该情况下也一样，在将密封构件4B 安装在第一和第二部件2、 3上时，如果伸出部35B向连接部12、 22 的外侧突出，则能够用手指捏住其突出部分，将密封构件4B简单地从 第一和第二部件2、 3拆卸。
此外，上述第一实施方式的密封构件4中，在隔着主体部31的对 称位置上设置一对伸出部35、 35，但是也可以像图24和图25所示的 密封构件4C那样，仅在主体部31的一侧设置伸出部35C。该情况下， 也可以使伸出部35C形成为大致三角形状，往前段逐渐变细，以将拉 扯伸出部35C的力宽广地分散在主体部31和伸出部35C的连接部分 上。并且，也可以在前端部上设置把持部36。另一方面，也可以像图 26和图27中所示的密封构件4D那样，省略图24和图25所示的伸出部35C的把持部36，形成伸出部35D。
此外，也可以像图28和图29中所示的密封构件4E那样，在主体 部31的外周壁上沿圆周方向等间隔地设置伸出部35E (此处，将伸出 部35E十字地配置在主体部31的周围)。并且，可以在各伸出部35E 的端部上设置把持部36。这样，通过较多地设置伸出部35E，能够减 少捏住把持部36的方向的限制，易于对密封构件4E进行装卸作业。 另一方面，也可以像图30和图31中所示的密封构件4F那样，省略图 28和图29中所示的伸出部35E的把持部36，形成伸出部35F。
此外，也可以像图32和图33中所示的密封构件4G那样，沿着主 体部31的外周壁而环状地设置伸出部35G。并且，可以在伸出部35G 的端部(外缘部)上设置把持部36。由此，不仅能够不限定密封构件 4G的安装方向，而且能够确保伸出部35G的强度，防止装卸密封构件 4G时的破损。
但是，在使伸出部35G形成环状而与连接部12、 22在整个面上接 触时，担心伸出部35G密封于连接部12、 22上而不能确认本来应密封 的压入部的密封性。因此，可以在伸出部35G的表面上形成从主体部 31向外缘部延伸的槽40，防止在使密封构件4G介于第一和第二部件 2、 3的连接部12、 22之间时，伸出部35G紧贴于连接部12、 22而密 封。此外，虽然在本变形例中形成4个槽40，但是显而易见槽40的数 目不限于此。
(2)在上述第一实施方式中，安装在第一和第二凸缘部13、 23 上的连接构件5形成为截面3字形。与之相对，也可以像图34中所示 的连接部密封结构1A那样，在第一和第二凸缘部13A、 23A的端面上 形成第一和第二部件2、 3的连接部。第一和第二凸缘部13A、 23A也 可以在外周面形成凹凸槽41、 42，在连接构件5A、 5A的内周面形成 与该凹凸槽41、 42配合的凸凹部43、 44。并且，可以在凹凸槽41、42的内壁和凸凹部42的滑接面上设置倾斜，以使在将凸凹部43、 44 压入凹凸槽41、 42而嵌合时产生的力作用于第一和第二凸缘部13A、 23A的密封面。由此，能够简单地使密封构件4G的主体部31在圆周 方向上以均匀的力压紧，使密封性能良好。
(3) 在上述第一实施方式中，定位凸部37形成为销状，但是也 可以形成为板状等。
(4) 在上述第一实施方式中，在密封构件4上形成第一和第二环 状槽32、 33，在第一和第二部件2、 3上设置第一和第二环状突起14、 24。与之相对，也可以如图35所示，在构成密封构件4H的主体部31A 的两端面上设置具备第一和第二环状突起5K52的第一和第二嵌合部， 在第一和第二部件2、 3的连接部12、 22上形成第一和第二凹凸条55、 56，所述第一和第二凹凸条55、 56包含与密封构件4H的第一和第二 环状突起51、 52嵌合的第一和第二环状槽53、 54。
该情况下，第一和第二环状突起51、 52中，也可以使比前端部靠 内侧的内周面和外周面分别以厚度t、 t'的量在壁厚方向Xll上形成壁 厚而设置压入部57。由此，第一和第二环状突起51、 52中，前端部的 宽度W31比设有压入部57的基端部的宽度Wll窄，第一和第二环状 突起51、 52中，在前端部和基端部之间设置台阶差。第一和第二环状 突起51、 52中，前端部的宽度W31设定为与在第一和第二部件2、 3 上形成的第一和第二环状槽53、54的宽度W21大致相同或比其大一些。 因此，在插入第一和第二环状突起51、 52时，第一和第二环状突起51、 52的前端部起到将第一和第二环状突起51、 52向第一和第二环状槽 53、 54引导的引导部58、 59的作用。这样，通过在第一和第二环状突 起51、 52的前端部上设置将压入部57向第一和第二环状槽53、 54引 导的引导部58、 59，易于将第一和第二环状突起51、 52压入第一和第 二环状槽53、 54，使密封构件4H的安装性良好。压入第一和第二环 状槽53、 54中的第一和第二环状突起51、 52通过各压入部57被压扁
34的部分进行密封。
此外，在密封构件4H的第一和第二环状突起51、 52上设置的压 入部57的厚度为t+t'=Wll-W2i。将第一和第二环状突起51、 52压入 第一和第二环状槽53、 54中的情况下的压入部57的压扁率与上述第 一实施方式一样，优选O.l以上0.3以下。
(5) 例如，在上述第二实施方式中，在用连接构件107将第一和 第二流体设备的流路104h、 105h连接的部分连接时的密封中，适用连 接部密封结构101和密封构件106、 106A、 106B。与之相对，在例如
用螺钉将阀的阀体和驱动部连接的情况下的密封、以及用螺钉或连接 构件将流体设备与歧管连接的情况下的密封等中，也可以适用连接部
密封结构101或密封构件106、 106A、 106B。
(6) 例如，也可以将上述第二实施方式的第一和第二连接部104、 105上设置的环状突起104b、 105b变更为环状槽，将上述第二实施方 式的密封构件106上设置的环状槽llla、 lllb变更为具备压入部的环 状突起，通过环状槽和环状突起的压入部分进行密封。
(7) 例如，在上述第二实施方式中，第一和第二主体102、 103 与第一和第二连接部104、 105为树脂制部件，但是也可以对第一和第 二主体102、 103、第一和第二连接部104、 105使用金属制部件。
权利要求
1.一种连接部密封结构，在第一部件和第二部件的连接部处介有密封构件，在所述第一部件的连接部上形成第一凹凸条，在所述第二部件的连接部上形成第二凹凸条，所述密封构件在一面上设有与所述第一凹凸条嵌合的第一嵌合部，在另一面上设有与所述第二凹凸条嵌合的第二嵌合部，在所述第一和第二嵌合部中具备沿壁厚方向的压入部，其特征在于，所述密封构件具有从设有所述第一和第二嵌合部的环状的主体部向外周方向伸出的伸出部，所述伸出部从所述第一和所述第二部件的连接部向外侧突出。
2. 如权利要求l所述的连接部密封结构，其特征在于，所述密封构件在所述伸出部的端部上具有沿相对于所述伸出部正交的方向延伸的把持部。
3. 如权利要求1或权利要求2所述的连接部密封结构，其特征在于，所述密封构件在所述伸出部的两端面上与所述主体部的轴线平行延伸地设有定位凸部，所述第一部件设有供所述定位凸部嵌入而定位的第一定位孔部，所述第二部件设有供所述定位凸部嵌入而定位的第二定位孔部。
4. 一种连接部密封结构，在第一部件和第二部件的连接部处介有密封构件，在所述第一部件的连接部上形成第一环状突起，在所述第二部件的连接部上形成第二环状突起，所述密封构件在一面上设有与所述第一环状突起嵌合的第一环状槽，在另一面上设有与所述第二环状突起嵌合的第二环状槽，在所述第一和第二环状槽中具备沿壁厚方向的压入部，通过将所述第一和第二环状突起压入所述第一和第二环状槽的压入部而进行密封，其特征在于，将所述第一和第二环状突起从所述第一和第二环状槽的开口部向所述压入部引导的引导部设置在所述密封构件的所述第一和第二环状糟的开口部上。
5. —种连接部密封结构，在第一部件和第二部件的连接部处介有密封构件，在所述第一部件的连接部上形成第一环状槽，在所述第二部件的连接部上形成第二环状槽，所述密封构件在一面上设有嵌合于所述第一环状槽的第一环状突起，在另一面上设有嵌合于所述第二环状槽的第二环状突起，在所述第一和第二环状突起上具备沿壁厚方向的压入部，以将所述第一和第二环状突起的压入部压入所述第一和第二环状槽的方式使所述第一和第二环状突起嵌合于所述第一和第二环状槽，由此进行密封，其特征在于，将所述第一和第二环状突起的压入部向所述第一和第二环状槽引导的引导部设置在所述密封构件的所述第一和第二环状突起的前端部上。
6. —种连接部密封结构，第一部件和第二部件沿流路开口部的周围设有环状凹凸条，在所述第一部件和所述第二部件之间配置的密封构件设有与所述环状凹凸条对应的环状凸凹条，将所述环状凹凸条和所述环状凸凹条压入扣合而将所述第一和所述第二部件的连接部密封，其特征在于，所述密封构件具有具备所述环状凸凹条的圆筒状的主体；从所述主体部向外周方向伸出的伸出部；以及经由所述伸出部而与所述主体部连接并沿相对于所述伸出部正交的方向延伸设置、且具备从所述主体部侧突出的钩挂部的把持部，在所述第一部件和所述第二部件上设有卡定所述钩挂部的凸部。
7. 如权利要求6所述的连接部密封结构，其特征在于，所述密封构件将所述钩挂部设置在所述把持部上，从而在使所述钩挂部卡定于所述凸部的情况下，使所述环状凸凹条和所述环状凹凸条定位。
8. 如权利要求6或权利要求7所述的连接部密封结构，其特征在于，所述密封构件中，所述把持部在圆周方向上分割配置。
9. 如权利要求6或权利要求7所述的连接部密封结构，其特征在于，所述密封构件中，将所述把持部在圆周方向上环状地设置，沿所述把持部的内周设置所述所述钩挂部。
10. 如权利要求6至权利要求9的任一项所述的连接部密封结构，其特征在于，所述密封构件中，在所述伸出部的与所述把持部连接的部分上设有贯通孔。
11. 如权利要求6至权利要求10的任一项所述的连接部密封结构，其特征在于，所述密封构件中，在所述把持部的两端上具有所述钩挂部。
12. —种密封构件，其特征在于，用于权利要求6至权利要求11的任一项所述的连接部密封结构中。
全文摘要
为了对密封构件的拆卸、安装提供一种适宜的连接部密封结构，该连接部密封结构(1)中，在第一部件(2)和第二部件(3)的连接部(12、22)处介有密封构件(4)，在第一部件(2)的连接部(12)上形成第一凹凸条(15)，在第二部件(3)的连接部(22)上形成第二凹凸条(25)，所述密封构件(4)在一面上设有与所述第一凹凸条嵌合(15)的第一嵌合部(32)，在另一面上设有与所述第二凹凸条嵌合(25)的第二嵌合部(33)，在所述第一和第二嵌合部(32、33)中具备沿壁厚方向的压入部(34)；所述密封构件(4)具有从设有第一和第二嵌合部(32、33)的环状的主体部(31)向外周方向伸出的伸出部(35)，伸出部(35)从第一和第二部件(2、3)的连接部(12、22)向外侧突出。
文档编号F16J15/06GK101646886SQ20088001013
公开日2010年2月10日 申请日期2008年3月21日 优先权日2007年3月27日
发明者土屋文人, 石原哲哉, 竹田秀行 申请人:喜开理株式会社