技术编号：5741419
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种气体供给装置，其具有第一线路及第二线路，该第一线路与第一质量流控制器连接，该第二线路与第二质量流控制器连接，该第一线路具有第一开闭阀及 第二开闭阀，该第二线路具有第三开闭阀及第四开闭阀，该气体供给装置与供给四种气体A、B、C、D的供给口连接。 背景技术目前，作为这种技术，公示有下述的专利文献1及专利文献2中记载的气体供给装 置，其发明的目的为，减少高价且比较大的装置即质量流控制器的使用数，减小地面占有面 积。 如图32所示，专利文献1记载的气...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。