气体供给装置及块状凸缘的制作方法

专利名称：气体供给装置及块状凸缘的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种气体供给装置，其具有第一线路及第二线路，该第一线路与第一
质量流控制器连接，该第二线路与第二质量流控制器连接，该第一线路具有第一开闭阀及 第二开闭阀，该第二线路具有第三开闭阀及第四开闭阀，该气体供给装置与供给四种气体
A、B、C、D的供给口连接。
背景技术：
目前，作为这种技术，公示有下述的专利文献1及专利文献2中记载的气体供给装 置，其发明的目的为，减少高价且比较大的装置即质量流控制器的使用数，减小地面占有面 积。 如图32所示，专利文献1记载的气体供给装置300具有控制混合前的气体流量 的质量流控制器301MA。另外，在质量流控制器301MA中连接有三个开闭阀302VA、303VA、 304VA。在图32中，为了易于和本发明对比，设定有三个开闭阀。将与质量流控制器301MA 连接的线路设定为第一线路。 由于具有该结构，能够减少高价且比较大的装置即质量流控制器的使用数。
但是，在专利文献1的发明中，例如，在供给工艺气体时，在有频繁使用的工艺气 体G1的情况下，设定为通过一个质量流控制器301MA而只能供给工艺气体G1时，不能在第 一线路中同时供给通过同一质量流控制器301MA的另外的工艺气体G2、 G3。于是，在供给 其他的工艺气体G2、 G3时，必须停止工艺气体G1的供给。因此，存在不能与复杂的工艺相 对应，或需要用于对应的新的质量流控制器的问题。 于是，作为解决专利文献1的发明的课题，有专利文献2的发明。 如图33所示，专利文献2所述的气体供给装置200具有三个质量流控制器201MA、
201MB、201MC。在质量流控制器201MA上连通有开闭阀212A 212H八个开闭阀。另外，其
他的质量流控制器201MB、201MC也分别连通有八个开闭阀。将与质量流控制器201MA连通
的线路设定为第一线路，将与质量流控制器201MB连通的线路设定为第二线路，将与质量
流控制器201MC连通的线路设定为第三线路。例如，在供给工艺气体G1时，只要将开闭阀
212A、213A或214A中任一个打开，就可以从第一线路至第三线路的任何线路供给工艺气体
Gl。因此，在用第一线路供给频繁供给的工艺气体例如工艺气体G1时，也能够用另外的第
二、第三线路供给另外的工艺气体G2、G3。因此，即使不停止工艺气体G1的供给，也能够供
给其他的工艺气体G2、G3。 专利文献1 :日本特许3904368号 专利文献2 :日本特开2003-91322号公报 但是，在现有的气体供给装置200中存在以下问题。 例如，在气体供给装置200中，开闭阀需要24个。因此，开闭阀增多，所以存在制 造成本增高及地面占有面积变大的问题。 另外，如上所述，在专利文献1的气体供给装置300中，开闭阀的个数少，但是，例如供给气体时，在有频繁地使用的工艺气体Gl的情况下，设定为通过一个质量流控制器 301MA只能供给工艺气体Gl时，在第一线路中不能同时供给通过同一质量流控制器301MA 的另外的工艺气体G2、G3。于是，在供给其他的工艺气体G2、G3时，必须停止工艺气体G1供 给。因此，存在不能与复杂的工艺相对应，或者需要用于对应的新的质量流控制器的问题。
另外，在专利文献1的气体供给装置300中，在各工艺的每一个工艺所使用的工艺 气体的供给源和用于供给该工艺气体的全部的管与各开闭阀直接连接，因此，存在管混杂， 不能减小地面占有面积的问题。

发明内容
因此，本发明是为解决上述问题而开发的，其目的在于，提供一种气体供给装置， 可以不停止频繁使用的工艺气体的供给而能够使用其他的工艺气体，并能够减小地面占有 面积。 为实现上述目的，本发明的第一方面提供一种气体供给装置及块状凸缘，其具有 如下的结构。
(1) —种气体供给装置，具有第一线路及第二线路，第一线路与第一质量流控制器
连接，第二线路与第二质量流控制器连接，第一线路具有第一开闭阀及第二开闭阀，第二线 路具有第三开闭阀及第四开闭阀，该气体供给装置与供给四种气体A、 B、 C、 D的供给口连 接，其特征为，气体A和气体B是同一气体，第一开闭阀及第三开闭阀与供给气体A的供给 口连接，第二开闭阀与供给气体C的供给口连接，第四开闭阀与供给气体D的供给口连接。
(2)如(1)所述的气体供给装置，其特征为，具有块状凸缘，其被安装于所有的开 闭阀上安装的歧管块的下表面，块状凸缘具有与管连接的连接口、将与形成于歧管块的开 闭阀连结的歧管连通路和连接口连通的凸缘连通路、以及用于确保管通过的空间的管避让 部。 (3) (1)或(2)所述的气体供给装置，其特征为，在回路的排气侧具有流量检测系 统。 (4) (1)或(2)所述的气体供给装置，其特征为，块状凸缘在纵方向、横方向的任一 方向都能够安装于歧管块上。 (5) —种块状凸缘，其被安装于开闭阀上安装的歧管块的下表面，其特征为，块状 凸缘具有与管连接的连接口、将与形成于歧管块的开闭阀连结的歧管连通路和连接口连 通的凸缘连通路、以及用于确保管通过的空间的管避让部。 (6) (5)所述的块状凸缘，其特征为，块状凸缘在纵方向、横方向的任一方向都能够 安装于所述歧管块上。 对所述气体供给装置及块状凸缘的作用及效果进行说明。 (1)根据所述发明的气体供给装置，气体A和气体B是同一气体，第一开闭阀及第 三开闭阀与供给气体A的供给口连接，第二开闭阀与供给气体C的供给口连接，第四开闭阀 与供给气体D的供给口连接，因此，例如供给气体时，即使在有频繁地使用的工艺气体G1的 情况下，也能够通过两个质量流控制器而供给工艺气体G1。因此，在同时供给其他的工艺气 体G2、 G3的情况下，通过对工艺气体G1使用其他的质量流控制器，能够同时供给工艺气体 G2或G3。因此，能够与复杂的工艺相对应，因此，不需要新的质量流控制器。
(2)具有(1)的结构，另外，具有在安装于开闭阀的歧管块的下表面安装的块状凸 缘，块状凸缘具有与管连接的连接口、将与形成于歧管块的开闭阀连结的歧管连通路和连 接口连通的凸缘连通路、以及用于确保管通过的空间的管避让部，通过采用上述的结构，能 够整理管，因此，能够减少浪费的空间，因此能够减小地面占有面积。
(3)具有(1)或(2)的构成，另外，采用在回路的排气侧具有流量检测系统的结构， 因此，通过测定质量流控制器的流量，能够进行质量流控制器的不良情况的判断。
(4)具有(1)或(2)的结构，另外，采用块状凸缘在纵方向、横方向的任一方向都能 够安装于歧管块上的结构，因此，能够按照设置气体供给装置的场所来设计气体供给装置。 因此，能够节省空间而配置气体供给装置。 (5) —种块状凸缘，被安装于开闭阀上安装的歧管块的下表面，块状凸缘具有与 管连接的连接口、将与形成于歧管块的开闭阀连结的歧管连通路和连接口连通的凸缘连通 路、以及用于确保管通过的空间的管避让部，因此，能够整理管，因此，能够减少浪费的空 间，因此，能够减小地面占有面积。 (6)具有(5)的结构，另外，采用块状凸缘在纵方向、横方向的任一方向都能够安 装于歧管块上的结构，因此，能够按照设置的场所来设计气体供给装置。因此，能够节省空 间而配置气体供给装置。



I
I
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
表示气体供给装置的回路图； 表示气体供给装置的外观俯视立体图； 表示气体供给装置的仰视图； 表示气体供给装置的外观仰视立体图； *:示图3的气体供给装置的AA剖面图； 菱示中心类型的块状凸缘的外观立体图； 菱示中心类型的块状凸缘的俯视图； 菱示中心类型的块状凸缘的侧视图； 菱示中心类型的块状凸缘的主视图； 菱示R类型的块状凸缘的外观立体图； 變示R类型的块状凸缘的俯视图； 示R类型的块状凸缘的侧视图； 示R类型的块状凸缘的主视图； 示L类型的块状凸缘的外观立体图； 示L类型的块状凸缘的俯视图； L类型的块状凸缘的侧视图； L类型的块状凸缘的主视图； ^一连接类型的块状凸缘的外观立体图 ;一连接类型的块状凸缘的俯视图 9C表不第一连接类型的块状凸缘的侧视图 9D表示第一连接类型的块状凸缘的主视图
I3 I" I
I 6A I 6B I 6C I 6D I 7A I 7B I 7C 17D表 18A表 18B表 18C表 18D表 I 9A表 I 9B表 19C表
不
示
示
示〗
示j
图10A表示第二连接类型的块状凸缘的外观立体10B表示第二连接类型的块状凸缘的俯视图；图10C表示第二连接类型的块状凸缘的侧视图；图10D表示第二连接类型的块状凸缘的主视图；图11A表示第三连接类型的块状凸缘的外观立体11B表示第三连接类型的块状凸缘的俯视图；图11C表示第三连接类型的块状凸缘的侧视图；图11D表示第三连接类型的块状凸缘的主视图；图12A表示第四连接类型的块状凸缘的外观立体12B表示第四连接类型的块状凸缘的俯视图；图12C表示第四连接类型的块状凸缘的侧视图；图12D表示第四连接类型的块状凸缘的主视图；图13A表示第五连接类型的块状凸缘的外观立体13B表示第五连接类型的块状凸缘的俯视图；图13C表示第五连接类型的块状凸缘的侧视图；图13D表示第五连接类型的块状凸缘的主视图；图14A表示第二中心类型的块状凸缘的外观立体14B表示第二中心类型的块状凸缘的俯视图；图14C表示第二中心类型的块状凸缘的侧视图；图14D表示第二中心类型的块状凸缘的主视图；图15A表示第三中心类型的块状凸缘的外观立体15B表示第三中心类型的块状凸缘的俯视图；图15C表示第三中心类型的块状凸缘的侧视图；图15D表示第三中心类型的块状凸缘的主视图；图16A表示第二R类型的块状凸缘的外观立体图；图16B表示第二R类型的块状凸缘的俯视图；图16C表示第二R类型的块状凸缘的侧视图；图16D表示第二R类型的块状凸缘的主视图；图17A表示第二L类型的块状凸缘的外观立体图；图17B表示第二L类型的块状凸缘的俯视图；图17C表示第二L类型的块状凸缘的侧视图；图17D表示第二L类型的块状凸缘的主视图；图18A表示第六连接类型的块状凸缘的外观立体18B表示第六连接类型的块状凸缘的俯视图；图18C表示第六连接类型的块状凸缘的侧视图；图18D表示第六连接类型的块状凸缘的主视图；图19A表示第七连接类型的块状凸缘的外观立体19B表示第七连接类型的块状凸缘的俯视图；图19C表示第七连接类型的块状凸缘的侧视 图19D表示第七连接类型的块状凸缘的主视图 图20A表示第一加高凸缘的外观立体图； 图20B表示第一加高凸缘的俯视图 图20C表示第一加高凸缘的后视图 图20D表示第一加高凸缘的主视图 图21A表示第二加高凸缘的外观立体图 图21B表示第二加高凸缘的俯视图 图21C表示第二加高凸缘的后视图 图21D表示第二加高凸缘的主视图 图22表示实施例2的气体供给装置的外观俯视立体图 图23表示实施例2的气体供给装置的仰视图； 图24表示实施例2的气体供给装置的外观仰视立体图 图25表示图23的气体供给装置的BB剖面图； 图26表示实施例3的气体供给装置的第一回路图 图27表示实施例3的气体供给装置的第二回路图 图28表示实施例4的气体供给装置的第一回路图 图29表示实施例4的气体供给装置的第二回路图 图30表示实施例5的气体供给装置的俯视图； 图31表示实施例6的气体供给装置的局部剖面的侧视图 图32表示专利文献1所述的气体供给装置的回路图； 图33表示专利文献2所述的气体供给装置的回路图。 标号说明 l气体供给装置 VA1、VA2、VA3、 VA4开闭阀 VB1、VB2、VB3、 VB4开闭阀 VC1、VC2、VC3、 VC4开闭阀 PA、PB、PC、P1、P2开闭阀 H1 H9流路 MA、MB、MC质量流控制器
具体实施例方式
下表面，参照

本发明的气体供给装置及块状凸缘的一种实施方式。(第一实施方式)〈气体供给装置的整体结构> 图1表示气体供给装置1的回路图。气体供给装置1作为气体供给方式采用侧面 具备吸入口的形式。 如图1所示，气体供给装置1连通有八种工艺气体GAS1、GAS2、GAS3、GAS4、GAS5、 GAS6、 GAS7、 GAS8及吹扫气体的气体源。(工艺气体GAS6与气体A及气体B相当。)
与工艺气体GAS1的气体源连通的流路H1与开闭阀VA1的输入口连通。与开闭阀VA1的输出口连通的流路与质量流控制器MA的输入口连通。与质量流控制器MA的输出口 连通的流路与开闭阀VA4的输入口连通。在开闭阀VA4的输出口上连通有流路H9，流路H9 分支为向腔室的流路H9a和向排气管的流路H9b。在流路H9b中连接有流量检测系统Rl。
在流路H9b中连接有流量检测系统R1，由此，能够进行质量流控制器的不良情况 的判断。 与工艺气体GAS2的气体源连通的流路H2与开闭阀VA2的输入口连通。与开闭阀 VA2的输出口连通的流路与质量流控制器MA的输入口连通。与质量流控制器MA的输出口 连通的流路与开闭阀VA4的输入口连通。开闭阀VA4的结构为和上述相同的结构。
向工艺气体GAS3、GAS4、GAS5、GAS7、GAS8的腔室及向排气管的回路采用和上述工 艺气体GAS1、GAS2的回路相同的结构，因此，省略其说明。(与质量流控制器MB连结的线 路与第一线路相当，质量流控制器MB与第一质量流控制器相当。与质量流控制器MC连结 的线路与第二线路相当，质量流控制器MC与第二质量流控制器相当。)
与工艺气体GAS6的气体源连接的流路H6从中途分支为流路H6a和流路朋b两个。 一流路H6a与开闭阀VB3的输入口连通(开闭阀VB3与第一开闭阀相当)。另一流路H6b 与开闭阀VC3的输入口连通(开闭阀VC3与第二开闭阀相当)。 与开闭阀VB3的输出口连通的流路与质量流控制器MB的输入口连通。与另一开 闭阀VC3的输出口连通的流路与质量流控制器MC的输入口连通。 与质量流控制器MB的输出口连通的流路与开闭阀VB4的输入口连通。与质量流 控制器MC的输出口连通的流路与开闭阀VC4连通。 在开闭阀VB4及开闭阀VC4的输出口上连通有流路H9，流路H9分支为向腔室的流 路H9a和向排气管的流路H9b。在流路H9b中连接有流量检测系统Rl 。
与吹扫气体的气体源连接的流路与开闭阀P1的输入口连通，与P1的输出口连通 的流路与开闭阀P2 、 PA、 PB、 PC的输入口连通。 与开闭阀PA的输出口连通的流路与质量流控制器MA的输入口连通。与开闭阀PB 的输出口连通的流路与质量流控制器MB的输入口连通。与开闭阀PC的输出口连通的流路 与质量流控制器MC的输入口连通。 与质量流控制器MA、MB、MC的输出口连通的流路H9分支为向腔室的流路H9a和向 排气管的流路H9b。在流路H9b中连接有流量检测系统R1。 图2表示气体供给装置1的外观俯视立体图。图3表示气体供给装置1的仰视图。
图4表示气体供给装置1的外观仰视立体图。 图2、图3及图4的结构与图1的回路图相对应。 如图3及图4所示，有歧管块2A、2B、2C及V字流路块3A、3B、3C。 以将歧管块2A和V字流路块3A连结的方式通过未图示的螺钉固定设置质量流控
制器MA。歧管块2A、 V字流路块3A及质量流控制器MA成为一体。 对于歧管块2B、V字流路块3B、质量流控制器MB，另外，对于歧管块2C、V字流路块 3C、质量流控制器MC也都采用相同的结构，因此省略说明。 第一流路块4通过未图示的螺钉固定设置于歧管块2A、2B、2C的端部。第二流路 块5通过未图示的螺钉固定设置于V字流路块3A、3B、3C的端部。通过固定设置第一流路 块4和第二流路块5，气体供给装置 作为整体成 一体。
如图2所示，从气体供给装置1的侧面(歧管块2A的侧面或歧管块2C的侧面)设 置有与工艺气体的气体源连通的口块10。在本实施例中，口块10的输入口朝向水平方向， 但是，输入口也可以设定为朝向上、下、其他等方向。 对于口块10，具体而言，与供给工艺气体GAS1的工艺气体源连通的是口块11。和 供给工艺气体GAS2的工艺气体源连通的是口块12。 对于工艺气体GAS3 GAS8，采用和上述工艺气体GAS1、GAS2相同的结构，因此省 略说明。 图5表示图3的气体供给装置1的AA剖面图。 如图3及图5所示，在歧管块2A上通过螺钉固定设置有块状凸缘BA1、 BA2、 BA3。 块状凸缘BA1位于开闭阀VA1的正下方，块状凸缘BA2位于开闭阀VA2的正下方，块状凸缘 BA3位于开闭阀VA3的正下方。 如图5所示，块状凸缘BA1内的凸缘连通路FA1连通歧管块2A内的歧管连通路 RA1，并与开闭阀VA1连通。块状凸缘BA2内的凸缘连通路FA2连通歧管块2A内的歧管连 通路RA2，并与开闭阀VA2连通。块状凸缘BA3内的凸缘连通路FA3连通歧管块2A内的歧 管连通路RA3 ，并与开闭阀VA3连通。 在歧管块2B上通过螺钉固定设置有块状凸缘BB1、BB2、BB3。图中未示出，块状凸 缘BB1位于开闭阀VB1的正下方，块状凸缘BB2位于开闭阀VB2的正下方，块状凸缘BB3位 于开闭阀VB3的正下方。 在歧管块2C上通过螺钉固定设置有块状凸缘BC1、BC2、BC3。图中未示出，块状凸 缘BC1位于开闭阀VC1的正下方，块状凸缘BC2位于开闭阀VC2的正下方，块状凸缘BC3位 于开闭阀VC3的正下方。 图中未示出，在歧管块2B、2C中形成有歧管连通路，在块状凸缘上形成凸缘连通 路，与开闭阀VB1、 VB2、VB3、VC1、VC2、 VC3分别连通。 如图3及图4所示，从口块11连通的管K1和与开闭阀VA1连通的块状凸缘BA1连 通(管Kl构成回路图的流路Hl的一部分)。从口块12连通的管K2和与开闭阀VA2连通 的块状凸缘BA2连通。从口块13连通的管K3和与开闭阀VA3连通的块状凸缘BA3连通。
块状凸缘BA1、BA2、BA3的形状采用L类型的块状凸缘60。另外，如图5所示，块 状凸缘BA1内的凸缘连通路FA1、块状凸缘BA2内的凸缘连通路FA2、块状凸缘BA3内的凸 缘连通路FA3与后述的凸缘连通路66相当。用图8说明L类型的块状凸缘60的结构。图8A表示外观立体图。图8B表示俯 视图。图8C表示侧视图。图8D表示主视图。另外，为了易于理解内部的凸缘连通口 65及 凸缘连通路66，在各附图中用虚线表示凸缘连通口 65及凸缘连通路66。
块状凸缘60制成长方体形状。块状凸缘60由上表面61a、下表面61b、正面61c、 背面61d、左侧面61e及右侧面61f各面构成。 在正面61c的左上方，沿垂直方向固定设置有连接口64。连接口64与形成于块状 凸缘内部的凸缘连通路66连通。凸缘连通路66与形成于下表面61b上的凸缘连通口 65 连通。凸缘连通路66为将与形成于歧管块的开闭阀连结的歧管连通路和连接口 64连通的 流路。 在上表面61a和右侧面61f的接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让部
962。管避让部62的形状具备收容两根工艺气体通过的管的空间。S卩，管避让部62的高度 X需要设定为一根管的直径量的高度，纵深2Y的最长部分的长度需要设定为两根管的直径 量的长度。在管避让部62的正面61c侧形成有贯通孔63a。另外，在管避让部62的背面 61d侧形成有贯通孔63b。 贯通孔63a和贯通孔63b位于块状凸缘60的下表面61b的对角线上，在其间形成 有凸缘连通口 65。因此，在通过螺丝和歧管块的螺丝孔固定时，可以对凸缘连通口 65和歧 管连通路的连通口的接合部施加均匀的压力。因此，能够防止自凸缘连通口 65和歧管连通 路的连通口的接合部的泄漏。 如图3及图4所示，从口块14连通的管K4通过块状凸缘BA1即块状凸缘60的管 避让部62与连通于开闭阀VB1的块状凸缘BB1连通。块状凸缘BB1的形状采用后述的中 心类型的块状凸缘40。 从口块15连通的管K5通过块状凸缘BA2即块状凸缘60的管避让部62与连通于 开闭阀VB2的块状凸缘BB2连通。块状凸缘BB2的形状采用后述的中心类型的块状凸缘 40。 用图6说明中心类型的块状凸缘40的结构。图6A表示外观立体图。图6B表示 俯视图。图6C表示侧视图。图6D表示主视图。另外，为了易于理解内部的凸缘连通口 45 及凸缘连通路46，在各附图中用虚线表示凸缘连通口 45及凸缘连通路46。
块状凸缘40制成长方体形状。块状凸缘40由上表面41a、下表面41b、正面41c、 背面41d、左侧面41e及右侧面41f各面构成。 在正面41c的中心上方，沿垂直方向固定设置有连接口44。连接口44与形成于块 状凸缘内部的凸缘连通路46连通。凸缘连通路46与形成于下表面41b的凸缘连通口 45 连通。凸缘连通路46为将与形成于歧管块的开闭阀连结的歧管连通路和连接口 44连通的 流路。 在上表面41a和左侧面41e的接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让部 42a。管避让部42a的形状具备收容一根工艺气体通过的管的空间。即，管避让部42a的高 度X及纵深Y的最长部分的长度需要设定为一根管的直径量的长度。在管避让部42a的正 面41c侧形成有贯通孔43a。 在上表面41a和右侧面41f接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让部 42b。管避让部42b的形状具备收容一根工艺气体通过的管的空间。即，管避让部42b的高 度X及纵深Y的最长部分的长度需要设定为一根管的直径量的长度。在管避让部42b的背 面41d侧形成有贯通孔43b。 贯通孔43a和贯通孔43b的效果和上述块状凸缘60相同。 从口块16连通的管K6a通过块状凸缘BA3即块状凸缘60的管避让部62与连通于 开闭阀VB3的块状凸缘BB3连通。块状凸缘BB3的形状采用第二连接类型的块状凸缘80。
用图10说明第二类型的块状凸缘80的结构。图10A表示外观立体图。图10B表 示俯视图。图10C表示侧视图。图10D表示主视图。另外，为了易于理解内部的凸缘连通 口 85及凸缘连通路86，在各附图中用虚线表示凸缘连通口 85及凸缘连通路86。
块状凸缘80制成长方体形状。块状凸缘80由上表面81a、下表面81b、正面81c、 背面81d、左侧面81e及右侧面81f各面构成。
10
在正面81c的中心上方，沿垂直方向固定设置有第一连接口 84a。另外，在背面81d 的中心上方，沿垂直方向固定设置有第二连接口 84b。第一连接口 84a和第二连接口 84b通 过形成于内部的凸缘连通路86a连通。 另外，从凸缘连通路86a的中途相对于下表面81b的凸缘连通口 85垂直地形成有 凸缘连通路86b。凸缘连通路86为将与形成于歧管块的开闭阀连结的歧管连通路和第一连 接口 84a及第二连接口 84b连通的流路。 在上表面81a和左侧面81e接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让部 82a。管避让部82a的形状具备收容一根工艺气体通过的管的空间。即，管避让部82a的高 度X及纵深Y的最长部分的长度需要设定为一根管的直径量的长度。在管避让部82a的正 面81c侧形成有贯通孔83a。 在上表面81a和右侧面81f接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让部 82b。管避让部82b的形状具备收容一根工艺气体通过的管的空间。即，管避让部82b的高 度X及纵深Y的最长部分的长度需要设定为一根管的直径量的长度。在管避让部82b的背 面81d侧形成有贯通孔83b。 贯通孔83a和贯通孔83b的效果和上述块状凸缘60相同。 从口块17连通的管K7首先通过块状凸缘BA1即块状凸缘60的管避让部62，然后 通过块状凸缘BB1即块状凸缘40的第二管避让部42b，与连接于开闭阀VC 1的块状凸缘 BC1连通。块状凸缘BC1的形状采用上述的R类型的块状凸缘50。 从口块18连通的管K8首先通过块状凸缘BA2即块状凸缘60的管避让部62，然 后通过块状凸缘BB2即块状凸缘40的第二管避让部42b，与连通于开闭阀VC2的块状凸缘 BC1连通。块状凸缘BC2的形状采用上述的R类型的块状凸缘50。 从口块16连通的管K6a与块状凸缘BB3即块状凸缘80的第一连接口 84a连通。
连通块状凸缘80内的口连通路(未图示)而和第二连接口 84b连通。在第二连接口 84b
上连通有管K6b的一端。管K6b的另一端与块状凸缘BC3连通。块状凸缘BC3采用上述的
中心类型的块状凸缘40。〈块状凸缘的整体结构〉 块状凸缘除上述的块状凸缘之外，还具有其他各种样式。图6 图19表示块状凸 缘的各种样式。在图6 图19中分别表示有A D图。A表示外观立体图。B表示俯视图。 C表示侧视图。D表示主视图。 图20及图21表示加高凸缘的样式。在图20及图21中分别表示有A D图。A 表示外观立体图。B表示俯视图。C表示后视图。D表示主视图。 另外，为了易于理解内部的凸缘连通口及凸缘连通路，在各附图中用虚线表示凸 缘连通口及凸缘连通路。 下面，对除上述的块状凸缘40、60、80之外的块状凸缘50、70、90、 100、 110、 120、 130、 140、 150、 160、 170及加高凸缘180、 190进行说明。
应用图7说明R类的块状凸缘50的结构。 块状凸缘50制成长方体形状。块状凸缘50由上表面51a、下表面51b、正面51c、 背面51d、左侧面51e及右侧面51f各面构成。 在正面51c的右上方，沿垂直方向固定设置有连接口 54。连接口54与形成于块状凸缘内部的凸缘连通路56连通。凸缘连通路56与形成于下表面51b的凸缘连通口 55连 通。凸缘连通路56为将与形成于歧管块的开闭阀连结的歧管连通路和连接口 54连通的流 路。 在上表面51a和左侧面51e接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让部 52。管避让部52的形状具备收容两根工艺气体通过的管的空间。S卩，管避让部52的高度 X需要设定为一根管的直径量的高度，纵深2Y的最长部分的长度需要设定为两根管的直径 量的长度。在管避让部52的正面51c侧形成有贯通孔53a。另外，在管避让部52的背面 51d侧形成有贯通孔53b。 贯通孔53a和贯通孔53b位于块状凸缘50的下表面51b的对角线上，在其间形成 有凸缘连通口 55。因此，在通过螺钉和歧管块的螺钉孔固定时，可以对凸缘连通口 55和歧 管连通路的连通口的接合部施加均匀的压力。因此，能够防止自凸缘连通口 55和歧管连通 路的连通口的接合部的泄漏。 用图9说明第一连接类型的块状凸缘70的结构。 块状凸缘70制成长方体形状。块状凸缘70由上表面71a、下表面71b、正面71c、 背面71d、左侧面71e及右侧面71f各面构成。 在正面71c的右上方，沿垂直方向固定设置有第一连接口 74a。另外，在背面71d 的左上方，沿垂直方向固定设置有第二连接口 74b。第一连接口 74a与形成于块状凸缘内部 的凸缘连通路76a连通。另外，第二连接口 74b与形成于块状凸缘内部的凸缘连通路76b连 通。凸缘连通路76a、76b与形成于下表面71b的凸缘连通口 75连通。凸缘连通路76a、76b 为将与形成于歧管块的与开闭阀连结的歧管连通路和第一连接口 74a及第二连接口 74b连 通的流路。 在上表面71a的中心形成有用于管通过的切口部即管避让部72。管避让部72的
形状具备收容一根工艺气体通过的管的空间。即，管避让部72的高度X及纵深Y的最长部
分的长度需要设定为一根管的直径量的长度。在管避让部72的正面71c侧形成有贯通孔
73a。另外，在管避让部72的背面71d侧形成有贯通孔73b。 贯通孔73a和贯通孔73b的效果和上述块状凸缘50相同。 用图11说明第三连接类型的块状凸缘90的结构。 块状凸缘90制成长方体形状。块状凸缘90由上表面91a、下表面91b、正面91c、 背面91d、左侧面91e及右侧面91f各面构成。 在正面91c的左上方，沿垂直方向固定设置有第一连接口 94a。另外，在左侧面91e 的中心上方，沿垂直方向固定设置有第二连接口 94b。第一连接口 94a和第二连接口 94b通 过形成于内部的凸缘连通路96a连通。另外，从凸缘连通路96a的中途相对于下表面91b的 凸缘连通口 95形成有凸缘连通路96b。第一连接口 94a及第二连接口 94b都与形成于块状 凸缘内部的凸缘连通路96连通。凸缘连通路96与形成于下表面91b的凸缘连通口 95连 通。凸缘连通路96为将与形成于歧管块的开闭阀连结的歧管连通路、第一连接口 94a及第 二连接口 94b连通的流路。 在上表面91a和右侧面91f接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让部 92。管避让部92的形状具备收容两根工艺气体通过的管的空间。S卩，管避让部92的高度X 需要设定为直径量的高度，纵深2Y的最长部分的长度需要设定为两根管的直径量的长度。在管避让部92的正面91c侧形成有贯通孔93a。另外，在管避让部92的背面91d侧形成有 贯通孔93b。 贯通孔93a和贯通孔93b的效果和上述块状凸缘50相同。
用图12说明第四连接类型的块状凸缘100的结构。 第四类型的块状凸缘100设定为和图9的第一连接类型的块状凸缘70大致相同 的结构，因此，对不同的结构进行说明，由此，省略另外的102、103a、103b、105、106a、106b
的说明。 块状凸缘100制成长方体形状。块状凸缘100由上表面101a、下表面101b、正面 101c、背面101d、左侧面101e及右侧面101f各面构成。 在正面101c的左上方，沿垂直方向固定设置有第一连接口 104a。另外，在背面 101d的右上方，沿垂直方向固定设置有第二连接口 104b。和块状凸缘70结构的不同之处 为连接口的配置位置不同。 用图13说明第五连接类型的块状凸缘110的结构。 第五类型的块状凸缘110设定为和图11的第三连接类型的块状凸缘90大致相同 的结构，因此，对不同的结构进行说明，由此，省略另外的112、113a、113b、115、116的说明。
块状凸缘110制成长方体形状。块状凸缘110由上表面111a、下表面111b、正面 111c、背面111d、左侧面llle及右侧面lllf各面构成。 在正面lllc的中心上方，沿垂直方向固定设置有第一连接口 114a。另外，在左侧 面llle的右上方，沿垂直方向固定设置有第二连接口 114b。和块状凸缘90结构的不同之 处为连接口的配置位置不同。 用图14说明第二中心类型的块状凸缘120的结构。 第二中心类型的块状凸缘120设定为和图6的中心类型的块状凸缘40大致相同 的结构，因此，对不同的结构进行说明，由此，省略另外的123a、123b、125、126的说明。
块状凸缘120制成长方体形状。块状凸缘120由上表面121a、下表面121b、正面 121c、背面121d、左侧面121e及右侧面121f各面构成。 在上表面121a和左侧面121e接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让 部122a。在上表面121a和右侧面121f接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让 部122b。在上表面121a和背面121d接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让部 122c。和块状凸缘40结构的不同之处为是否形成管避让部122c的不同。
用图15说明第三中心类型的块状凸缘130的结构。 第三中心类型的块状凸缘130设定为和图6的中心类型的块状凸缘40大致相同 的结构，因此，对不同的结构进行说明，由此，省略另外的135U36的说明。
块状凸缘130制成长方体形状。块状凸缘130由上表面131a、下表面131b、正面 131c、背面131d、左侧面131e及右侧面131f各面构成。 在上表面131a和左侧面131e接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让 部132a。在上表面131a和右侧面131f接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让 部132b。在上表面131a和背面131d接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让部 132c。 在管避让部132b的正面131c侧形成有贯通孔133b。在管避让部132a的背面
13131d侧形成有贯通孔133a。 和块状凸缘40结构的不同之处为是否形成管避让部132c的不同及贯通孔的位置的不同。 用图16说明第二R类型的块状凸缘140的结构。 第二 R类型的块状凸缘140设定为和图7的R类型的块状凸缘50大致相同的结构，因此，对不同的结构进行说明，由此，省略另外的145U46的说明。 块状凸缘140制成长方体形状。块状凸缘140由上表面141a、下表面141b、正面141c、背面141d、左侧面141e及右侧面141f各面构成。 在上表面141a和左侧面141e接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让部142a。管避让部142a的形状具备收容两根工艺气体通过的管的空间。在上表面141a和背面141d接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让部142b。管避让部142b的形状具备收容一根工艺气体通过的管的空间。 和块状凸缘50结构的不同之处为是否形成管避让部142b的不同。
用图17说明第二L类型的块状凸缘150的结构。 第二 L类型的块状凸缘150设定为和图8的L类型的块状凸缘60大致相同的结构，因此，对不同的结构进行说明，由此，省略另外的155U56的说明。 块状凸缘150制成长方体形状。块状凸缘150由上表面151a、下表面151b、正面151c、背面151d、左侧面151e及右侧面151f各面构成。 在上表面151a和右侧面151f接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让部152a。管避让部152a的形状具备收容两根工艺气体通过的管的空间。在上表面151a和背面151d接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让部152b。管避让部152b的形状具备收容一根工艺气体通过的管的空间。 和块状凸缘60结构的不同之处为是否形成管避让部152b的不同。
用图18说明第六连接类型的块状凸缘160的结构。 第六连接类型的块状凸缘160设定为和图11的第三连接类型的块状凸缘90大致相同的结构，因此，对不同的结构进行说明，由此，省略另外的165U66的说明。
块状凸缘160制成长方体形状。块状凸缘160由上表面161a、下表面161b、正面161c、背面161d、左侧面161e及右侧面161f各面构成。 在上表面161a和右侧面161f接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让部162a。管避让部162a的形状具备收容两根工艺气体通过的管的空间。在上表面161a和背面161d接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让部162b。管避让部162b的形状具备收容一根工艺气体通过的管的空间。 和块状凸缘90结构的不同之处为是否形成管避让部162b的不同。
用图19说明第七连接类型的块状凸缘170的结构。 第七连接类型的块状凸缘170设定为和图13的第五连接类型的块状凸缘110大致相同的结构，因此，对不同的结构进行说明，由此，省略另外的175U76的说明。
块状凸缘170制成长方体形状。块状凸缘170由上表面171a、下表面171b、正面171c、背面171d、左侧面171e及右侧面171f各面构成。 在上表面171a和背面171d接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让部172a。管避让部172a的形状具备收容两根工艺气体通过的管的空间。在上表面171a和右 侧面171f接合的部位形成有用于管通过的切口部即管避让部172b。管避让部172b的形状 具备收容一根工艺气体通过的管的空间。 和块状凸缘110结构的不同之处为是否形成管避让部172b的不同。
用图20说明第一加高凸缘180的结构。 第一加高凸缘180制成长方体形状。第一加高凸缘180由上表面181a、下表面 181b、正面181c、背面181d、左侧面181e及右侧面181f各面构成。 在上表面181a的中心形成有连接口 187。在下表面181b的中心形成有连通口 185。从连接口 187到连通口 185连通有凸缘通路186。 以夹持连接口 187及连通口 185的方式形成贯通孔183a、183b。贯通孔183a、183b 贯通到下表面181b。 加高凸缘180的高度V至少比一根管的直径高。
用图21说明第二加高凸缘190的结构。 第二加高凸缘190设定为和图20的第一加高凸缘180大致相同的结构，因此， 对不同的结构进行说明，由此，省略另夕卜的191a、 191b、 191c、 191d、 191e、 191f 、 193a、 193b、 195、 196、 197的说明。 第二加高凸缘190的高度W为第一加高凸缘180的高度V的成倍的高度。
和第一加高凸缘180结构的不同之处为高度W的不同。
具备块状凸缘所取得的效果如下所述。在土央状凸缘40、50、60、70、80、90、100、110、120、130、140、150、160、170中形成有 管避让部。如图3及图5所示，在通过管时，能够通过管避让部，因此，不需要避让其他的块 状凸缘而通过管。因此，能够直线状地拉管，因此能够制成简单的管的结构。另外，能够整理 管，因此，能够减少浪费的空间，因此，能够减少地面占有面积。同时也能够实现管的节约。
〈工艺气体的供给方法> 工艺气体的供给方法用图1的回路图进行说明。 例如，在向腔室输送工艺气体GAS1时，工艺气体GAS1成为充填到流路H1的状态。 在该状态时，通过未图示的控制单元将开闭阀VA1、 VA4打开。由此，工艺气体GAS1通过流 路Hl且通过质量流控制器MA被输送至腔室。 向腔室输送工艺气体GAS2、GAS3、GAS4、GAS5、GAS7、GAS8时，和向腔室输送上述工 艺气体GAS1的供给方法相同，因此省略说明。 作为向腔室输送工艺气体GAS6的供给方法有两种方法。第一方法为通过质量流 控制器MB向腔室输送的方法。第二方法为通过质量流控制器MC向腔室输送的方法。
第一方法中，工艺气体GAS6成为充填到流路H6的状态时，通过未图示的控制单元 将开闭阀VB3、VB4打开。由此，工艺气体GAS6通过流路H6a、通过质量流控制器MB输送至腔室。 第二方法中，工艺气体GAS6成为充填到流路H6的状态时，如图1所示，通过未图 示的控制单元将开闭阀VC3、VC4打开。由此，工艺气体GAS6通过流路H6b且通过质量流控 制器MC输送至腔室。 以上，如详细说明的那样，根据本实施例的气体供给装置l，具有上述两种方法，由
15此，对于频繁使用的工艺气体GAS6，通过切换开闭阀VB3或开闭阀VC3，能够选择通过质量 流控制器MB或质量流控制器MC向腔室供给。因此，例如，在同时供给另外的工艺气体GAS7 和GAS6的情况下，通过对于工艺气体GAS6使用质量流控制器MB，由此，能够同时供给工艺 气体GAS6及GAS7。 另外，例如，在同时供给另外的工艺气体GAS4和GAS6的情况下，通过对于工艺气
体GAS6使用质量流控制器MC，由此，能够同时供给工艺气体GAS6及GAS4。 因此，即使在有频繁地使用的工艺气体GAS6的情况下，由于可通过两个质量流控
制器MB、MC供给工艺气体GAS6，因此，能够与复杂的工艺对应。因此，不需要新的质量流控制器。 另夕卜，土央状凸缘40、50、60、70、80、90、100、110、120、130、140、150、160、170具有:
管连接的连接口、将与形成于歧管块的开闭阀连结的歧管连通路和连接口连通的凸缘连通 路、以及用于确保管通过的空间的管避让部，由此，能够整理管，因此能够减少浪费的空间， 因此，能够减少地面占有面积。 另外，在回路的排气侧具有流量检测系统R1，由此，能够进行质量流控制器的不良 情况的判断。 另外，根据本实施例的气体供给装置l，可以在气体供给装置的侧面设置口块。因 此，能够与设置气体供给装置的场所相对应来设计气体供给装置。例如，在气体供给装置的 线路侧方向上不能确保空间时，在侧面方向设置第一实施方式的气体供给装置1那样的口 块，由此，能够设置气体供给装置。
(第二实施方式) 图22表示气体供给装置21的外观俯视立体图。图23表示气体供给装置21的仰 视图。图24表示气体供给装置21的外观仰视立体图。图25表示图23的气体供给装置21 的BB剖面图。 气体供给装置21作为气体供给方式采用在线路方向具备吸入口的形式。
气体供给装置21为第一实施方式中应用的、根据图1的回路图设计的装置。因此， 基本的结构和第一实施方式的气体供给装置1相同，因此，下面，对和气体供给装置1不同 的点进行说明。 从气体供给装置21的线路侧(第一流路块4侧或第二流路块5侧)设置与工艺 气体的气体源连通的口块10。在本实施例中，口块10的输入口朝向水平方向，但是，输入口 也可以向上、下、其他等方向。 对于口块IO，具体而言，和供给工艺气体GASI的工艺气体源连通的是口块11。和 供给工艺气体GAS2的工艺气体源连通的是口块12。 对于工艺气体GAS3 GAS8，采用和上述工艺气体GAS1、GAS2相同的结构，因此省 略说明。 如图23及图24所示，从口块16连通的管K6a与块状凸缘BB 13即块状凸缘90的 第二连接口94b连接。连通块状凸缘90内的口连通路96a而与第一连接口 94a连通。在 第一连接口 94a上连通有管K6b的一端。流路K6b的另一端与块状凸缘BC13连接。
块状凸缘BC13采用上述图8所示的块状凸缘50。块状凸缘50的连接口 54不朝 向气体供给装置21的线路侧方向，而朝向侧面方向。
从其他的口块11、12、13、14、15、17、18连通的管和第一实施方式的结构大致相 同，因此省略说明。 如以上详细说明的那样，根据本实施例的气体供给装置21，使块状凸缘朝向和第 一实施方式的侧面不同的线路侧，由此，能够在线路侧面设置口块。因此，能够与设置气体 供给装置的场所相对应来设计气体供给装置。例如，在气体供给装置的侧面方向上不能确 保空间时，在线路侧设置第二实施方式的气体供给装置21那样的口块，由此，能够设置气 体供给装置。(第三实施方式) 图26及图27表示第三实施方式的气体供给装置22的回路图。图26及图27的 气体供给装置22其特征为，在质量流控制器MA3、 MB3之前具有连接腔室及排气管的流路 HIO。 在质量流控制器MA3、MB3之前设置流路HIO，由此，能够提高流入吹扫气体时的吹 扫排气效率。 图26是在简化了第一实施方式的回路图中设置流路H10的图，图27是在目前技 术的回路图中设置流路HIO的图。
(第四实施方式) 图28及图29表示第四实施方式的气体供给装置23的回路图。图28及图29的 气体供给装置23其特征为，在质量流控制器MA4、 MB4之后具有连接腔室及排气管的流路 Hll。 在质量流控制器MA4、MB4之后设置流路H11，由此，例如，在使用工艺气体GAS l并 使用质量流控制器MA4时，可以使用未使用的质量流控制器MB4进行质量流控制器MB4的 检测。由此，能够检测质量流控制器MB4的不良情况。 图28是在简化了第一实施方式的回路图中设置流路H11的图，图29是在目前技 术的回路图中设置流路Hll的图。
(第五实施方式) 图30表示第五实施方式的气体供给装置24的俯视图。 气体供给装置24为两侧配置第一实施方式的气体供给装置1的结构。 通过采用两侧配置气体供给装置1的结构，能够大幅减少气体合流部G1的内容
积，能够大幅度縮短流量检测系统的测定时间。 另外，通过设置流量检测系统R2，能够进行质量流控制器的检测。由此，能够检测
质量流控制器的不良情况。(第六实施方式) 图31表示侧视图，其表示第六实施方式的气体供给装置25的局部剖面。具体而 言，表示从横向并排的开闭阀VA11、VB11…的中心进行剖面的图。 由与歧管块NA1连通的开闭阀VA11、与歧管块NA2连通的开闭阀VB11…构成。
在歧管块NA1上连通有加高块KA1，在歧管块NA2上连通有加高块KA2，在歧管块 NA3以下到歧管块NA6连通有加高块KA3以下到加高块KA6。加高块KA1、 KA2、 KA3采用上 述的加高块190。加高块KA4、KA5、KA6采用上述的加高块180。 在加高块KA1上连通有块状凸缘CA。在加高块KA2上连通有块状凸缘CB。在加高块KA3以下也同样地连通有块状凸缘CC以下。 在歧管块NA7上连通有块状凸缘CG，在歧管块NA8上连通有块状凸缘CH，在歧管 块NA9上连通有块状凸缘CI。 与口块IC连通的管TC与块状凸缘CH连通，向开闭阀VH11连通。与口块IB连通 的管TB与块状凸缘CE连通，连通加高块KA5，并向开闭阀VE11连通。与口块IA连通的管 TA与块状凸缘CB连通，连通加高块KA2，并向开闭阀VB11连通。 通过使用加高块KA5 ，能够横向并排地排列四个以上的开闭阀。即，与口块IB连通 的管TB通过加高块KA5，能够通过块状凸缘CG、 CH、 CI的下方。因此，能够使管TB与块状 凸缘CG、CH、CI不相干涉，能够使之与块状凸缘CE连通。由此，能够横向并排地排列四个以 上的开闭阀。 在本实施方式中，通过进一步使用加高块KA2，能够横向并排地排列七个以上的开 闭阀。即，与口块IA连通的管TA，通过加高块KA2能够通过块状凸缘CD、CE、CF、CG、CH、CI 的下方。由此，能够使管TB与块状凸缘CD、CE、CF、CG、CH、CI不相干涉，能够使之与块状凸 缘CB连通。由此，能够横向并排地排列七个以上的开闭阀。 如以上详细说明的那样，根据本实施例的气体供给装置25，能够在侧面方向或线 路方向排列四个以上的开闭阀。因此，能够与设置气体供给装置的场所相对应来设计气体 供给装置。例如，在气体供给装置的线路方向上不能确保空间时，如第六实施方式的气体供 给装置25那样，能够横向并排地排列九个开闭阀。相反，在气体供给装置的侧面方向上不 能确保空间时，虽然图中未图示，但能够纵向并排地排列四个以上的开闭阀。
另外，本发明不限于上述实施方式，可进行各种应用。
例如，开闭阀除了使用气动阀之外，还可以使用电磁阀等。 对于块状凸缘的两个贯通孔的位置，若相对于正面一个贯通孔位于右前方，则另
一个就位于左后方。反之，若相对于正面一个贯通孔位于左前方，则另一个就位于右后方。 在块状凸缘中，两个贯通孔位于块状凸缘的下表面的对角线上而形成，但是，可以
再增加两个贯通孔而以位于块状凸缘的下表面的四个角的方式形成。通过在块状凸缘的下
表面的四角形成贯通孔，在利用螺钉和歧管块的螺钉孔固定时，能够对凸缘连通口与歧管
连通路的连通口的接合部施加均匀的压力。 加高凸缘的高度通过实施方式可以进一步设计变更。
18
权利要求
一种气体供给装置，具有第一线路及第二线路，该第一线路与第一质量流控制器连接，该第二线路与第二质量流控制器连接，该第一线路具有供给气体A的第一开闭阀及供给气体C的第二开闭阀，该第二线路具有供给气体B的第三开闭阀及供给气体D的第四开闭阀，其特征在于，所述气体A和所述气体B是同一气体。
2. 如权利要求l所述的气体供给装置，其特征在于，具有块状凸缘，该块状凸缘被安装于所述所有的开闭阀上所安装的歧管块的下表面， 所述块状凸缘具有 与管连接的连接口；凸缘连通路，将与形成于所述歧管块的所述开闭阀连接的歧管连通路和所述连接口连 通；以及用于确保所述管通过的空间的管避让部。
3. 如权利要求1或权利要求2所述的气体供给装置，其特征在于， 在回路的排气侧具有流量检测系统。
4 如权利要求1或权利要求2所述的气体供给装置，其特征在于， 所述块状凸缘在纵方向、横方向的任一方向上都能够安装于所述歧管块上。
5. —种块状凸缘，被安装于开闭阀上所安装的歧管块的下表面，其特征在于， 所述块状凸缘具有与管连接的连接口；凸缘连通路，将与形成于所述歧管块的所述开闭阀连接的歧管连通路和所述连接口连 通；以及用于确保所述管通过的空间的管避让部。
6. 如权利要求5所述的块状凸缘，其特征在于，所述块状凸缘在纵方向、横方向的任一方向上都能够安装于所述歧管块上。
全文摘要
本发明提供一种气体供给装置及块状凸缘，该气体供给装置能够供给复杂的工艺气体，能够减小地面占有面积。在具有第一线路及第二线路的气体供给装置(1)中，该第一线路与第一质量流控制器(MB)连接，该第二线路与第二质量流控制器(MC)连接，该第一线路具有供给气体A的第一开闭阀(VB3)及供给气体C的第二开闭阀(VB2)，该第二线路具有供给气体B的第三开闭阀(VC3)及供给气体D的第四开闭阀(VC2)，在气体供给装置(1)中，气体A和气体B是相同的气体。
文档编号F16K27/00GK101725752SQ20091017492
公开日2010年6月9日 申请日期2009年11月3日 优先权日2008年11月3日
发明者井上贵史, 西村康典 申请人:喜开理株式会社