技术编号：5791590
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及滚珠丝杠。 背景技术由于若在制造半导体元件、液晶显示面板的环境中存在尘埃会引起成品率下降， 因此所述制造需要在无尘室等清洁的环境下进行。因而，需要使构成用于制造半导体元件、 液晶显示面板的装置(例如制造装置、输送装置)的滚珠丝杠在使用状态下不会产生尘埃。在专利文献1中记载了这样的内容当滚珠丝杠的滚珠返回路径采用使滚珠与循环管的舌部碰撞来将滚珠朝螺母的外部舀起的结构时，由于碰撞时附着于滚珠等的润滑脂的油分飞溅，并作为微粒从丝杠轴和螺母之间向外部排出...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。