滚珠丝杠的制作方法

专利名称：滚珠丝杠的制作方法
技术领域：
本发明涉及滚珠丝杠。
背景技术：
由于若在制造半导体元件、液晶显示面板的环境中存在尘埃会引起成品率下降， 因此所述制造需要在无尘室等清洁的环境下进行。因而，需要使构成用于制造半导体元件、 液晶显示面板的装置(例如制造装置、输送装置)的滚珠丝杠在使用状态下不会产生尘埃。在专利文献1中记载了这样的内容当滚珠丝杠的滚珠返回路径采用使滚珠与循环管的舌部碰撞来将滚珠朝螺母的外部舀起的结构时，由于碰撞时附着于滚珠等的润滑脂的油分飞溅，并作为微粒从丝杠轴和螺母之间向外部排出，从而成为尘埃产生的原因。并且其记载了这样的内容为了消除该原因，将滚珠丝杠的滚珠返回路径由沿螺母的轴向延伸的贯通孔(即、滚珠返回通道)和与该贯通孔连续的滚珠循环挡块形成，并将滚珠循环挡块形成为使滚珠能够在不与舌部碰撞的状态下循环的形状。此外，专利文献1记载的滚珠丝杠采用低起尘性润滑脂进行润滑，丝杠轴与螺母的环状间隙由配置于螺母的轴向两端的环状的接触密封件堵塞。在专利文献2中记载了这样的内容在设于滚珠丝杠的螺母的供油孔连接抽吸配管，以抽吸去除在螺母的内部产生的尘埃。此外，还记载了这样的内容通过对丝杠轴实施润滑脂镀敷(即，通过浸渍在含有润滑剂的溶液中后进行干燥来形成润滑剂覆膜的方法)， 来抑制自润滑剂产生尘埃。专利文献1 日本特开2006-112517号公报专利文献2 日本专利第沈38955号公报然而，专利文献1和专利文献2中记载的滚珠丝杠在减少尘埃产生的效果方面仍然存在进一步改善的空间。

发明内容
本发明的课题在于尽量避免在螺母内部产生的尘埃到达外部，得到比现有的滚珠丝杠更好的减少尘埃产生的效果。〈发明的结构〉为了解决上述课题，本发明的第一方面涉及的滚珠丝杠具备螺母，该螺母在内周面形成有螺旋槽；丝杠轴，该丝杠轴在外周面形成有螺旋槽；滚珠，所述滚珠配置于通过螺母的螺旋槽和丝杠轴的螺旋槽形成的轨道间；以及滚珠返回路径，滚珠通过该滚珠返回路径从轨道的终点回到起点，通过滚珠在所述轨道内的滚动，所述螺母相对于丝杠轴进行相对移动，在所述螺母的轴向两端配置有环状的非接触密封件，沿径向贯通所述螺母的抽吸孔形成于所述螺母的轴向中央部(轴向两端以外的部分，两个非接触密封件之间的部分)。为了解决上述课题，本发明的第二方面涉及的滚珠丝杠具备螺母，该螺母在内周面形成有螺旋槽；丝杠轴，该丝杠轴在外周面形成有螺旋槽；滚珠，所述滚珠配置于通过螺母的螺旋槽和丝杠轴的螺旋槽形成的轨道(滚动路径)间；以及滚珠返回路径，滚珠通过该滚珠返回路径从轨道的终点回到起点，通过滚珠在所述轨道内的滚动，所述螺母相对于丝杠轴进行相对移动，在所述螺母的轴向两端配置有环状的非接触密封件，沿径向贯通所述螺母的抽吸孔(与抽吸构件连接的孔)形成于所述轨道的范围内(滚珠在螺母的轴向滚动的范围)。所述第一和第二方面涉及的滚珠丝杠能够形成为在所述螺母的轴向中央部形成有凸缘，在所述凸缘形成有所述抽吸孔的结构。为了解决上述课题，本发明的第三方面涉及的滚珠丝杠具备螺母，该螺母在内周面形成有螺旋槽；丝杠轴，该丝杠轴在外周面形成有螺旋槽；滚珠，所述滚珠配置于通过螺母的螺旋槽和丝杠轴的螺旋槽形成的轨道间；以及滚珠返回路径，滚珠通过该滚珠返回路径从轨道的终点回到起点，通过滚珠在所述轨道内的滚动，所述螺母相对于丝杠轴进行相对移动，具有多条由所述轨道和所述滚珠返回路径构成的循环回路，在所述螺母的轴向两端配置有环状的非接触密封件，沿径向贯通所述螺母的抽吸孔形成于所述螺母的轴向中央部。为了解决上述课题，本发明的第四方面涉及的滚珠丝杠具备双螺母，该双螺母通过将在内周面形成有螺旋槽的两个螺母隔着衬垫连结起来而构成；丝杠轴，该丝杠轴在外周面形成有螺旋槽；滚珠，所述滚珠配置于通过所述两个螺母的螺旋槽和所述丝杠轴的螺旋槽形成的各轨道间；以及两条滚珠返回路径，滚珠通过所述两条滚珠返回路径从各轨道的终点回到起点(即，具有两条循环回路)，通过滚珠在所述各轨道内的滚动，所述双螺母相对于丝杠轴进行相对移动，在所述双螺母的轴向两端配置有环状的非接触密封件，沿径向贯通所述双螺母的抽吸孔形成于所述衬垫。优选的是，所述第一至第三方面涉及的滚珠丝杠仅在所述螺母的轴向两端存在使所述螺母内部的尘埃到达外部的路径(该路径限定于轴向两端)。优选的是，所述第四方面涉及的滚珠丝杠仅在所述双螺母的轴向两端存在使所述双螺母内部的尘埃到达外部的路径(该路径限定于轴向两端)。所述第四方面涉及的滚珠丝杠能够形成为在所述衬垫以外的部分形成有向所述双螺母的内部供给润滑剂的供脂孔的结构。为了解决上述课题，本发明的第五方面涉及的滚珠丝杠具备螺母，该螺母在内周面形成有螺旋槽；丝杠轴，该丝杠轴在外周面形成有螺旋槽；滚珠，所述滚珠配置于通过螺母的螺旋槽和丝杠轴的螺旋槽形成的轨道间；以及滚珠返回路径，滚珠通过该滚珠返回路径从轨道的终点回到起点，通过滚珠在所述轨道内的滚动，所述螺母相对于丝杠轴进行相对移动，仅在所述螺母的轴向两端存在使所述螺母内部的尘埃到达外部的路径(该路径限定于轴向两端)，在所述螺母的轴向两端分别隔着预定的空间配置有多个环状的非接触密封件，并且该滚珠丝杠具有抽吸所述空间内的空气的抽吸机构，在螺母形成有抽吸机构的抽吸孔。优选的是，在所述第五方面涉及的滚珠丝杠中，所述抽吸机构具有通气孔，该通气孔形成于所述螺母并沿轴向贯通所述螺母；以及连通孔，该连通孔设于内侧密封件，该连通孔将所述通气孔与所述空间连通，所述内侧密封件配置在所述螺母的各端部的最内侧， 所述抽吸孔从螺母的外表面沿径向延伸至所述通气孔，并且在所述螺母的轴向上配置于位于所述内侧密封件彼此之间的位置。所述第一至第五方面涉及的滚珠丝杠能够形成为在螺母的内部形成有所述滚珠返回路径的结构。所述第一至第三和第五方面涉及的滚珠丝杠能够形成为在所述螺母形成有向所述螺母内部供给润滑剂的供脂孔、并且所述抽吸孔形成于与所述供脂孔不同的位置的结构。〈发明的作用〉滚珠丝杠的尘埃产生源是润滑剂，通过滚珠在轨道内滚动时将润滑剂溅起从而产生尘埃。在位于丝杠轴的螺母的外侧的部分也附着有润滑剂，然而在该部分的螺旋槽不存在滚珠，因此即使丝杠轴旋转，从该部分产生的尘埃也少。即，在滚珠丝杠中，主要在螺母内部的轨道范围(滚珠滚动的范围)内产生尘埃。在所述第一方面涉及的滚珠丝杠中，在所述螺母的轴向中央部(轴向两端以外的部分，两非接触密封件之间的部分)设置有抽吸孔。因此，在存在一条由所述轨道和所述滚珠返回路径构成的循环回路的情况下，形成为在螺母的产生尘埃的轨道的范围内形成有抽吸孔的状态。在具有多条所述循环回路的情况下，形成为在螺母的产生尘埃的轨道的范围内或所述轨道之间的位置形成有抽吸孔。由此，根据所述第一方面涉及的滚珠丝杠，在上述任意的情况下，螺母内部的尘埃均被高效地抽吸除去。此外，由于配置的是非接触密封件，因此防止了因丝杠轴与密封件的接触而产生尘埃。在所述第二方面涉及的滚珠丝杠中，在螺母的产生尘埃的轨道的范围(滚珠滚动的范围)内设置有抽吸孔，螺母内部的尘埃被高效地抽吸除去。此外，由于配置的是非接触密封件，因此防止了因丝杠轴与密封件的接触而产生尘埃。在所述第三方面涉及的滚珠丝杠中，在具有多条所述循环回路的情况下，在螺母的轴向中央部设置有抽吸孔。由此，形成为在螺母的产生尘埃的轨道的范围(滚珠滚动的范围)内或者所述轨道之间的位置形成有抽吸孔的状态，因此螺母内部的尘埃被高效地抽吸除去。此外，由于配置的是非接触密封件，因此防止了因丝杠轴与密封件的接触而产生尘埃。优选的是，所述第一至第三方面涉及的滚珠丝杠具有这样的结构仅在所述螺母的轴向两端存在使所述螺母内部的尘埃到达外部的路径(该路径限定于所述螺母的轴向两端)。由于在该螺母的轴向两端配置有环状的非接触密封件，因此当具有上述结构时，螺母与丝杠轴的间隙仅为丝杠轴与非接触密封件的间隙。因而，在将抽吸构件连接于抽吸孔来对螺母内部进行抽吸的期间，螺母外部的空气通过非接触密封件与丝杠轴的间隙而进入螺母内部，阻碍了螺母内部的空气通过非接触密封件与丝杠轴的间隙流向外部。所述第一至第三方面涉及的滚珠丝杠在所述螺母形成向所述螺母的内部供给润滑剂的供脂孔，并且所述抽吸孔形成于与所述供脂孔不同的位置，这样，能够从所述供脂孔向螺母内部供给润滑剂以进行滚珠丝杠的润滑。此外，从所述供脂孔供给的润滑剂借助于与滚珠的滚动相伴的螺母相对于丝杠轴的相对往复移动，而容易积存在螺母的轴向两端的非接触密封件的内侧，而不容易积存在螺母内部的轴向中央部和轨道的范围。由于在该范围形成有抽吸孔，因此抽吸孔不易被润滑剂堵塞，能够稳定地进行抽吸。由此，能够通过向螺母内部供给润滑剂来进行滚珠丝杠的润滑，同时，在螺母的内部产生的尘埃基本不会到达外部而被高效地抽吸除去。在所述第四方面涉及的滚珠丝杠中，具备通过将两个螺母隔着衬垫连结起来而构成的双螺母，并且在所述衬垫形成有抽吸孔，因此在从所述抽吸孔进行抽吸时，存在于各螺母的轨道的范围的尘埃转移到所述衬垫和丝杠轴之间，从而各螺母内部的尘埃被高效地抽吸除去。此外，由于配置有非接触密封件，因此防止了因丝杠轴与密封件的接触而产生尘埃。优选的是，所述第四方面涉及的滚珠丝杠具有这样的结构仅在所述双螺母的轴向两端存在使所述双螺母内部的尘埃到达外部的路径(该路径限定于所述双螺母的轴向两端)。由于在该双螺母的轴向两端配置有环状的非接触密封件，因此双螺母与丝杠轴的间隙仅为丝杠轴与非接触密封件的间隙。因而，在将抽吸构件连接于抽吸孔来对双螺母内部进行抽吸的期间，双螺母外部的空气通过非接触密封件与丝杠轴的间隙而进入螺母内部， 阻碍了双螺母内部的空气通过非接触密封件与丝杠轴的间隙流向外部。在所述第四方面涉及的滚珠丝杠的双螺母形成向双螺母的内部供给润滑剂的供脂孔的情况下，优选在所述衬垫以外的部分(即，两个螺母的任一方)形成所述供脂孔。从所述供脂孔供给的润滑剂借助于与滚珠的滚动相伴的双螺母相对于丝杠轴的相对往复移动而容易积存在双螺母的轴向两端的非接触密封件的内侧，而不容易积存在各螺母内部的轨道的范围。在该发明的滚珠丝杠中，由于在由两螺母的所述轨道的范围所夹的衬垫形成有抽吸孔，因此抽吸孔不易被润滑剂堵塞，能够稳定地进行抽吸。由此，能够通过向双螺母的内部供给润滑剂来进行滚珠丝杠的润滑，同时，在螺母的内部产生的尘埃基本不会到达外部而被高效地抽吸除去。在所述第一至第四方面的滚珠丝杠中，使所述螺母的内部的尘埃到达外部的路径仅存在于所述螺母或者所述双螺母的轴向两端的结构能够通过在螺母的内部形成所述滚珠返回路径来实现。此外，在使用循环管形成所述滚珠返回路径的情况下，能够通过堵塞供循环管插入的螺母的孔与插入于该孔的循环管的脚部的间隙，来实现所述结构。在所述第五方面涉及的滚珠丝杠中，使所述螺母的内部的尘埃到达外部的路径被限定于所述螺母的轴向两端，在所述螺母的轴向两端分别隔着预定的空间配置有多个非接触密封件，因此螺母内部的尘埃不仅存在于轨道的范围，而且会积存在由相邻的非接触密封件所夹的所述空间中。通过用抽吸机构对该空间内的空气进行抽吸，该空间内的尘埃被除去。在用抽吸机构进行抽吸的期间，外部的空气通过非接触密封件与丝杠轴的间隙而进入所述空间，阻碍了螺母内部的空气通过非接触密封件与丝杠轴的间隙流向外部。此外，借助于该抽吸，存在于螺母内部的轨道的范围的空气通过非接触密封件与丝杠轴的间隙并被导入所述空间。因而，存在于螺母内部的轨道的范围的尘埃和积存在所述空间的尘埃两者均被从所述空间抽吸除去，因此整个螺母内部的尘埃被高效地除去。进而，通过配置非接触密封件，防止了因丝杠轴与密封件的接触而产生尘埃。优选的是，所述第五方面的滚珠丝杠在螺母的内部形成所述滚珠返回路径。由此， 能够容易地形成将使所述螺母的内部的尘埃到达外部的路径限定于所述螺母的轴向两端(仅存在于轴向两端)的状态。另外，在使用循环管形成所述滚珠返回路径的情况下，能够通过堵塞供循环管插入的螺母的孔与插入于该孔的循环管的脚部的间隙，来形成将使所述螺母的内部的尘埃到达外部的路径限定于所述螺母的轴向两端的状态。优选的是，所述第五方面涉及的滚珠丝杠的所述抽吸机构具有通气孔，该通气孔形成于所述螺母并沿轴向贯通所述螺母；以及连通孔，该连通孔设于内侧密封件，该连通孔将所述通气孔与所述空间连通，所述内侧密封件配置在所述螺母的各端部的最内侧，所述抽吸孔从螺母的外表面沿径向延伸至所述通气孔，并且在所述螺母的轴向上配置于位于所述内侧密封件彼此之间的位置。由此，通过从所述抽吸孔进行抽吸，在螺母的轴向两端，由相邻的非接触密封件所夹的所述空间的空气从所述内侧密封件的连通孔进入所述通气孔，因此能够高效地从轴向两端进行螺母内部的尘埃的除去。此外，由于抽吸孔从螺母的外表面沿径向延伸至所述通气孔为止，而没有在螺母的内表面开口，因此抽吸孔不易被润滑剂堵住，并且润滑剂也不易从抽吸孔排出。此外，所述第五方面涉及的滚珠丝杠在所述螺母形成有向所述螺母的内部供给润滑剂的供脂孔，并且所述抽吸孔形成于与所述供脂孔不同的位置，这样，能够从所述供脂孔向螺母内部供给润滑剂来进行滚珠丝杠的润滑。即，在该结构的情况下，能够通过向螺母内部供给润滑剂来进行滚珠丝杠的润滑，同时，在螺母的内部产生的尘埃基本不会流向外部而被抽吸除去。另外，优选的是，在本发明的各方面涉及的滚珠丝杠(所述第一至第五方面涉及的滚珠丝杠)中，以通过丝杠轴与非接触密封件形成的圆环状间隙在整个周向基本相同的方式，组合非接触密封件的内周部的形状和丝杠轴的螺旋槽的形状。例如，将丝杠轴的螺旋槽形成为未形成磨削退避部的单纯的哥特式圆弧形状，将非接触密封件的内周部形成为与此对应的形状。由此，在抽吸时，从圆环状间隙的整个周向向螺母内部均一地导入空气，空气的流动在整个周向变得均勻，因此抽吸效率提高。优选的是，通过丝杠轴与非接触密封件形成的圆环状间隙在0. 5mm以下。优选的是，所述润滑剂采用稠度在300以下的低尘性润滑脂。此外，当通过向螺母的内部供给润滑剂进行试运转，来使润滑剂介于非接触密封件与丝杠轴的间隙时，在丝杠轴与非接触密封件之间形成微小的间隙。因而，通过在进行试运转后使用本发明的滚珠丝杠，本发明的滚珠丝杠的抽吸效率提高。根据本发明的滚珠丝杠，在螺母的内部产生的尘埃基本不会流向外部而被高效地抽吸除去，因此能够得到比现有的滚珠丝杠高的减少尘埃产生的效果。


图1是示出实施方式1-1的滚珠丝杠的剖视图。图2是示出实施方式1-2的滚珠丝杠的剖视图。图3是示出实施方式1-3的滚珠丝杠的剖视图。图4是示出实施方式1-4的滚珠丝杠的主视图。图5是示出实施方式1-4的滚珠丝杠的剖视图(图4的A-A剖视图)。图6是示出实施方式2-1的滚珠丝杠的剖视图。
图7是示出实施方式2-2的滚珠丝杠的剖视图。图8是示出实施方式2-3的滚珠丝杠的剖视图。图9是示出实施方式3-1的滚珠丝杠的剖视图。图10是示出实施方式3-2的滚珠丝杠的剖视图。图11是示出实施方式3-3的滚珠丝杠的剖视图。图12是示出实施方式4-1的滚珠丝杠的局部剖开主视图。图13是图12的A-A剖视图。图14是图12的B-B剖视图。图15是构成图12的滚珠丝杠的螺母的B-B剖视图。图16是示出实施方式4-2的滚珠丝杠的局部剖开主视图。图17是图16的A-A剖视图。图18是示出实施方式4-3的滚珠丝杠的局部剖开主视图。
具体实施例方式以下，对本发明的实施方式进行说明。[实施方式1]实施方式1相当于本发明的第一方面的滚珠丝杠和第二方面的滚珠丝杠的实施方式。图1是示出实施方式1-1的滚珠丝杠的剖视图。如图1所示，该滚珠丝杠由螺母1、丝杠轴2、滚珠3、环状的非接触密封件4、末端反向器5以及环状的间隔垫6构成。在螺母1的内周面形成有螺旋槽la，在丝杠轴2的外周面形成有螺旋槽加。在由螺母1的螺旋槽Ia和丝杠轴2的螺旋槽加形成的轨道间配置有滚珠3。在螺母1的轴向一端形成有凸缘11。在螺母1形成有沿轴向延伸的贯通孔13。在螺母1的贯通孔13的两端部形成有用于配置末端反向器5的凹部15。即，该滚珠丝杠的滚珠返回路径通过由贯通孔13构成的滚珠返回通道和与其两端连接的末端反向器5形成于螺母1的内部。末端反向器5采用沿切线舀起的形状。在螺母1的轴向两端形成有用于安装间隔垫6和非接触密封件4的凹部14。在螺母1的凹部14内从轴向内侧开始依次配置有间隔垫6和非接触密封件4，它们通过未图示的螺栓固定于凹部14的端面14a。由此，在螺母1的轴向两端形成有由非接触密封件4、间隔垫6和丝杠轴2围成的空间46。这些空间46即为润滑脂(润滑剂)积存空间。间隔垫 6也可以与螺母1形成为一体。在螺母1还形成有与抽吸构件连接的抽吸孔7和向内部供给润滑剂的供脂孔8。 抽吸孔7作为沿径向贯通的贯通孔而形成于螺母1的轴向中央部的位于相邻螺旋槽Ia之间的位置。即，抽吸孔7设于由螺母1的螺旋槽Ia和丝杠轴2的螺旋槽加形成的轨道的范围内。抽吸孔7的靠螺母外周侧的直径被扩大，从而形成为用于插入安装抽吸配管的末端的安装孔71。供脂孔8作为沿径向贯通的贯通孔而形成于螺母1的形成有凸缘11的部分的位于相邻螺旋槽Ia之间的位置。供脂孔8的靠螺母外周侧(整个配置于凸缘11的部分)的直径被扩大，从而形成为用于插入安装供脂配管的末端的安装孔81。丝杠轴2的螺旋槽加的剖面形状是未形成磨削退避槽的单纯的哥特式圆弧形状。 与其对应地，将非接触密封件4的内周部的形状形成为这样的形状使由丝杠轴2与非接触密封件4形成的圆环状间隙在整个周向大致相同。该滚珠丝杠按照例如以下的步骤使用。将稠度在300以下的低尘润滑脂的供脂配管的末端安装于螺母1的供脂孔8的安装孔81，将抽吸配管的末端安装于螺母1的抽吸孔7的安装孔71。接着，首先，从供脂孔8 向螺母1的内部供给达到内部空间的大约1/4的量的低尘润滑脂，从而在润滑脂积存空间 46积存润滑脂。接着，作为试运转，通过使螺母1相对于丝杠轴2以螺母1的长度的量的行程相对移动多次，来使润滑脂积存空间46的润滑脂移动，使润滑脂介入到非接触密封件4与丝杠轴2的间隙。由此，在非接触密封件4与丝杠轴2之间形成微小的(0. 5mm以下的)圆环状的间隙。接着，使抽吸配管的抽吸源工作，对螺母1的内部进行抽吸，在该状态下开始滚珠丝杠的运转。由此，由于滚珠3的滚动而在螺母1的内部产生的尘埃被从抽吸孔7抽吸除去。此外，外部的空气从非接触密封件4与丝杠轴2的微小的间隙通过而进入螺母1的内部，阻碍了螺母1的内部的空气通过非接触密封件4与丝杠轴2的间隙流向外部。这样，螺母1的内部的尘埃被高效地抽吸除去。通过设置润滑脂积存空间46，在非接触密封件4和丝杠轴2之间形成微小的圆环状的间隙，因此抽吸效率特别高。此外，由于使用的是非接触密封件4，因此防止了由于其与丝杠轴2的接触而产生尘埃。因此，根据本实施方式的滚珠丝杠，通过向螺母内部供给润滑剂来进行滚珠丝杠的润滑，同时，在螺母的内部产生的尘埃基本不流向外部而被抽吸除去，因此能够得到比现有的滚珠丝杠更好的减少尘埃产生的效果。另外，已考虑到由于长时间的使用，在抽吸时螺母1内部的润滑脂会从抽吸孔7 进入抽吸配管，不过通过在抽吸配管设置积存润滑脂的部分并定期地从该部分去除润滑脂等，能够做到即使长时间地使用抽吸效率也不会降低。图2是示出实施方式1-2的滚珠丝杠的剖视图。在该实施方式中，在螺母1的轴向两端的凹部14分别隔着间隔垫6安装有两个非接触密封件41、42。由此，润滑脂积存空间46形成在非接触密封件41、42之间。除此以外的点与实施方式1-1相同。图3是示出实施方式1-3的滚珠丝杠的剖视图。在实施方式1-1和1-2中，在螺母1的与抽吸孔7不同的位置形成供脂孔8，并从该供脂孔8供给润滑脂，然而在第三实施方式中，未在螺母1设置供脂孔8，而是通过对丝杠轴2实施润滑脂镀敷来进行润滑。由此，在图3的滚珠丝杠中，密封件4与丝杠轴2的间隙保持大致恒定，并且润滑脂不会进入抽吸孔7。与此相对地，在图1和图2的滚珠丝杠中，从供脂孔8供给的润滑脂有可能进入抽吸孔7。并且，当润滑脂进入抽吸孔7时，存在抽吸效果降低的情况。因此，图3的滚珠丝杠能够得到比图1和图2的滚珠丝杠更好的减少尘埃产生的效果。替代对丝杠轴2实施润滑脂镀敷，而通过在丝杠轴2的表面形成由固体润滑剂构成的覆膜，也能够得到与上述相同的效果。形成所述覆膜的固体润滑剂可以列举出由二硫化钼、有机钼化合物、软质金属(例如金、银、铅)以及高分子材料(例如PTFE(聚四氟乙烯)、聚酰亚胺)中至少一种构成的材料。图4和图5是示出实施方式1-4的滚珠丝杠的主视图和剖视图。在实施方式1-1 1-3中，在形成于螺母1的轴向一端的凸缘11设置供脂孔8， 在凸缘11以外的部分设置抽吸孔7，而在第四实施方式中，在螺母1的轴向中央部形成凸缘11，并将抽吸孔7和供脂孔8设置于凸缘11。如图4所示，抽吸孔7和供脂孔8形成于相位错开90°的位置。除此以外的结构与图1的结构相同。这样，将抽吸孔7形成于凸缘11的话，在将壳体17外套于螺母1的凸缘11以外的部分、使壳体17的端面与凸缘11的端面接触地进行安装时，由于抽吸孔7的安装孔71不会被壳体17覆盖，因此能够容易地将抽吸配管安装到抽吸孔7的安装孔71。与此相对地， 若将抽吸孔7形成于凸缘11以外的部分，则在上述的安装方式下，由于抽吸孔7的安装孔 71被壳体覆盖，因此需要在壳体设置将抽吸孔7的安装孔71与抽吸配管连接的贯通孔。另外，在这些实施方式中，将抽吸孔7设于螺母1的轴向中央部的位于相邻的螺旋槽Ia之间的位置，然而也可以设于螺旋槽Ia的位置。此外，本发明也可以应用于具有多条循环回路(滚珠返回路径+轨道)的滚珠丝杠。在该情况下，沿径向贯通螺母的抽吸孔也可以形成于与相邻的循环回路之间相当的位置。此外，这些实施方式的滚珠丝杠具有由滚珠返回通道和末端反向器5构成的滚珠返回路径，该滚珠返回通道由贯通孔13构成，然而本发明也可以应用于滚珠返回路径为端盖式、循环管式、挡块式的滚珠丝杠。[实施方式2]实施方式2相当于本发明的第一方面的滚珠丝杠和第三方面的滚珠丝杠的实施方式。图6是示出实施方式2-1的滚珠丝杠的剖视图。如图6所示，该滚珠丝杠由螺母1、丝杠轴2、滚珠3、环状的非接触密封件4、循环管50以及环状的间隔垫6构成。在螺母1的内周面形成有螺旋槽la，在丝杠轴2的外周面形成有螺旋槽2a。在由螺母1的螺旋槽Ia和丝杠轴2的螺旋槽加形成的轨道间配置有滚珠3。在螺母1的轴向一端形成有凸缘11。该滚珠丝杠具有由滚珠3的轨道(由螺母1的螺旋槽Ia和丝杠轴2的螺旋槽加形成的滚动路径)和循环管50构成的两个循环回路。在螺母1的凸缘11以外的部分的外周形成有用于配置两根循环管50的平面部 12。在该平面部12形成有用于安装两根循环管50的管安装孔16。将循环管50的脚部插入管安装孔16。此外，利用未图示的管限位件将循环管50相对于螺母1固定。而且，管安装孔16与循环管50的脚部的间隙用密封剂密封。由此，图6的滚珠丝杠形成为如下结构螺母1的内部的尘埃流向外部的路径被限定于螺母1的轴向两端(仅存在于螺母1的轴向两端)。在螺母1的轴向两端形成有用于安装间隔垫6和非接触密封件4的凹部14。在螺母1的凹部14内从轴向内侧开始依次配置间隔垫6和非接触密封件4，它们通过未图示的螺栓固定于凹部14的端面14a。由此，在螺母1的轴向两端形成由非接触密封件4、间隔垫 6和丝杠轴2围成的空间46。这些空间46即为润滑脂(润滑剂)积存空间。间隔垫6也可以与螺母1形成为一体。在螺母1还形成有与抽吸构件连接的抽吸孔7和向内部供给润滑剂的供脂孔8。 抽吸孔7作为沿径向贯通的贯通孔而形成于螺母1的轴向中央部的位于相邻螺旋槽Ia之间的位置。抽吸孔7形成的位置即两个循环回路的交界的位置。抽吸孔7的靠螺母外周侧的直径被扩大，从而形成为插入安装抽吸配管的末端的安装孔71。供脂孔8作为沿径向贯通的贯通孔而形成于螺母1的形成有凸缘11的部分的位于相邻螺旋槽Ia之间的位置。供脂孔8的靠螺母外周侧(整个配置于凸缘11的部分)的直径被扩大，从而形成为插入安装供脂配管的末端的安装孔81。丝杠轴2的螺旋槽加的剖面形状是未形成磨削退避槽的单纯的哥特式圆弧形状。 与其对应地，将非接触密封件4的内周部的形状形成为这样的形状使由丝杠轴2与非接触密封件4形成的圆环状间隙在整个周向大致相同。该滚珠丝杠按照例如以下的步骤使用。将稠度在300以下的低尘润滑脂的供脂配管的末端安装于螺母1的供脂孔8的安装孔81，将抽吸配管的末端安装于螺母1的抽吸孔7的安装孔71。接着，首先，从供脂孔8 向螺母1的内部供给达到内部空间的大约1/4的量的低尘润滑脂，从而在润滑脂积存空间 46积存润滑脂。接着，作为试运转，通过使螺母1相对于丝杠轴2以螺母1的长度的量的行程相对移动多次，从而使润滑脂积存空间46的润滑脂移动，使润滑脂介入到非接触密封件4与丝杠轴2的间隙。由此，在非接触密封件4与丝杠轴2之间形成微小的(0. 5mm以下的)圆环状的间隙。接着，使抽吸配管的抽吸源工作，对螺母1的内部进行抽吸，在该状态下开始滚珠丝杠的运转。由此，由于滚珠3的滚动而在螺母1的内部产生的尘埃被从抽吸孔7抽吸除去。此外，外部的空气从非接触密封件4与丝杠轴2的微小的间隙通过而进入螺母1的内部，阻碍了螺母1的内部的空气通过非接触密封件4与丝杠轴2的间隙流向外部。这样，螺母1的内部的尘埃被高效地抽吸除去。通过设置润滑脂积存空间46，在非接触密封件4和丝杠轴2之间形成微小的圆环状的间隙，因此抽吸效率特别高。此外，由于使用的是非接触密封件4，因此防止了由于其与丝杠轴2的接触而产生尘埃。因此，根据本实施方式的滚珠丝杠，通过向螺母内部供给润滑剂来进行滚珠丝杠的润滑，同时，在螺母的内部产生的尘埃基本不流向外部而被抽吸除去，因此能够得到比现有的滚珠丝杠更好的减少尘埃产生的效果。另外，已考虑到由于长时间的使用，在抽吸时螺母1内部的润滑脂会从抽吸孔7 进入抽吸配管，不过通过在抽吸配管设置积存润滑脂的部分并定期地从该部分去除润滑脂等，能够做到即使长时间地使用抽吸效率也不会降低。图7是示出实施方式2-2的滚珠丝杠的剖视图。在该实施方式中，在螺母1的轴向两端的凹部14分别隔着间隔垫6安装有两个非接触密封件41、42。由此，润滑脂积存空间46形成在非接触密封件41、42之间。除此以外的点与实施方式2-1相同。
图8是示出实施方式2-3的滚珠丝杠的剖视图。在实施方式2-1和2-2中，在螺母1的与抽吸孔7不同的位置形成供脂孔8，并从该供脂孔8供给润滑脂，然而在实施方式2-3中，未在螺母1设置供脂孔8，而是通过对丝杠轴2实施润滑脂镀敷来进行润滑。由此，在图8的滚珠丝杠中，密封件4与丝杠轴2的间隙保持大致恒定，并且润滑脂不会进入抽吸孔7。与此相对地，在图6和图7的滚珠丝杠中，从供脂孔8供给的润滑脂有可能进入抽吸孔7。并且，当润滑脂进入抽吸孔7时，存在抽吸效果降低的情况。因此，图8的滚珠丝杠能够得到比图6和图7的滚珠丝杠更好的减少尘埃产生的效果。替代对丝杠轴2实施润滑脂镀敷，而通过在丝杠轴2的表面形成由固体润滑剂构成的覆膜，也能够得到与上述相同的效果。形成所述覆膜的固体润滑剂可以列举出由二硫化钼、有机钼化合物、软质金属(例如金、银、铅)以及高分子材料(例如PTFE(聚四氟乙烯)、聚酰亚胺)中至少一种构成的材料。另外，在这些实施方式中，将抽吸孔7设于螺母1的轴向中央部的位于相邻的螺旋槽Ia之间的位置，然而也可以设于螺旋槽Ia的位置。此外，这些实施方式的滚珠丝杠使用循环管50作为滚珠返回通道，然而也可以由设于螺母的沿轴向延伸的贯通孔(滚珠返回通道)和末端反向器来形成滚珠返回路径。此外，本发明也可以应用于滚珠返回路径为端盖式、挡块式的滚珠丝杠。[实施方式3]实施方式3相当于本发明的第一方面的滚珠丝杠和第四方面的滚珠丝杠的实施方式。图9是示出实施方式3-1的滚珠丝杠的剖视图。如图9所示，该滚珠丝杠由双螺母10、丝杠轴2、滚珠3、环状的非接触密封件4、末端反向器5以及环状的间隔垫6构成。双螺母10是将第一螺母IA和第二螺母IB隔着由环状体构成的衬垫9连结而成的。在第一螺母IA的轴向一端形成有凸缘11，而在第二螺母IB未形成凸缘。在两个螺母1A、1B的内周面形成有螺旋槽la，在丝杠轴2的外周面形成有螺旋槽加。在由两个螺母1A、1B的螺旋槽Ia和丝杠轴2的螺旋槽加形成的轨道间配置有滚珠3。在两个螺母1A、1B形成有沿轴向延伸的贯通孔13。在两个螺母1A、1B的贯通孔 13的两端部形成有用于配置末端反向器5的凹部15。即，该滚珠丝杠的两个滚珠返回路径通过由贯通孔13构成的滚珠返回通道和与其两端连接的末端反向器5而形成于两个螺母 1A、1B的内部。末端反向器5采用沿切线舀起的形状。在双螺母10的轴向两端形成有用于安装间隔垫6和非接触密封件4的凹部14。 在双螺母10的凹部14内从轴向内侧开始依次配置间隔垫6和非接触密封件4，它们通过未图示的螺栓固定于凹部14的端面14a。由此，在双螺母10的轴向两端形成由非接触密封件 4、间隔垫6和丝杠轴2围成的空间46。这些空间46即为润滑脂(润滑剂)积存空间。间隔垫6也可以与两个螺母1A、1B形成为一体。在双螺母10的衬垫9形成有与抽吸构件连接的抽吸孔7。抽吸孔7作为沿形成衬垫9的环状体的径向贯通的贯通孔而形成于双螺母10的位于轴向中央的位置。抽吸孔 7的靠衬垫9的外周侧的直径被扩大，从而形成为插入安装抽吸配管的末端的安装孔71。
向内部供给润滑剂的供脂孔8作为沿径向贯通的贯通孔而形成于第一螺母IA的形成有凸缘11的部分的位于相邻螺旋槽Ia之间的位置。供脂孔8的靠螺母外周侧(整个配置于凸缘11的部分)的直径被扩大，从而形成为插入安装供脂配管的末端的安装孔81。丝杠轴2的螺旋槽加的剖面形状是未形成磨削退避槽的单纯的哥特式圆弧形状。 与其对应地，将非接触密封件4的内周部的形状形成为这样的形状使由丝杠轴2与非接触密封件4形成的圆环状间隙在整个周向大致相同。该滚珠丝杠按照例如以下的步骤使用。将稠度在300以下的低尘润滑脂的供脂配管的末端安装于第一螺母IA的供脂孔8 的安装孔81，将抽吸配管的末端安装于衬垫9的抽吸孔7的安装孔71。接着，首先，从供脂孔8向第一螺母IA的内部供给达到双螺母10的内部空间的大约1/4的量的低尘润滑脂， 从而在润滑脂积存空间46积存润滑脂。接着，作为试运转，通过使双螺母10相对于丝杠轴2以双螺母10的长度的量的行程相对移动多次，来使润滑脂积存空间46的润滑脂移动，使润滑脂介入到非接触密封件4 与丝杠轴2的间隙。由此，在非接触密封件4与丝杠轴2之间形成微小的(0. 5mm以下的) 圆环状的间隙。接着，使抽吸配管的抽吸源工作，对双螺母10的内部进行抽吸，在该状态下开始滚珠丝杠的运转。由此，由于滚珠3的滚动而在两个螺母1A、1B的内部产生的尘埃移动到衬垫9与丝杠轴2之间，并被从抽吸孔7抽吸除去。此外，外部的空气从非接触密封件4与丝杠轴2的微小的间隙通过而进入两个螺母1A、1B的内部，阻碍了两个螺母1A、1B的内部的空气通过非接触密封件4与丝杠轴2的间隙流向外部。这样，双螺母10的内部的尘埃被高效地抽吸除去。通过设置润滑脂积存空间46， 在非接触密封件4和丝杠轴2之间形成微小的圆环状的间隙，因此抽吸效率特别高。此外， 由于使用的是非接触密封件4，因此防止了由于其与丝杠轴2的接触而产生尘埃。因此，根据本实施方式的滚珠丝杠，通过向双螺母内部供给润滑剂来进行滚珠丝杠的润滑，同时，在双螺母的内部产生的尘埃基本不流向外部而被抽吸除去，因此能够得到比现有的滚珠丝杠更好的减少尘埃产生的效果。另外，已考虑到由于长时间的使用，在抽吸时双螺母10内部的润滑脂会从抽吸孔 7进入抽吸配管，不过通过在抽吸配管设置积存润滑脂的部分并定期地从该部分去除润滑脂等，能够做到即使长时间地使用抽吸效率也不会降低。图10是示出实施方式3-2的滚珠丝杠的剖视图。在该实施方式中，在双螺母10的轴向两端的凹部14分别隔着间隔垫6安装有两个非接触密封件41、42。由此，润滑脂积存空间46形成在非接触密封件41、42之间。除此以外的点与实施方式3-1相同。图11是示出实施方式3-3的滚珠丝杠的剖视图。在实施方式3-1和3-2中，在第一螺母IA的凸缘11形成供脂孔8，并从该供脂孔 8供给润滑脂，而在实施方式3-3中，未在第一螺母IA设置供脂孔8，而是通过对丝杠轴2 实施润滑脂镀敷来进行润滑。由此，在图11的滚珠丝杠中，密封件4与丝杠轴2的间隙保持大致恒定，并且润滑脂不会进入抽吸孔7。与此相对地，在图9和图10的滚珠丝杠中，从供脂孔8供给的润滑脂有可能进入抽吸孔7。并且，当润滑脂进入抽吸孔7时，存在抽吸效果降低的情况。因此，图11的滚珠丝杠能够得到比图9和图10的滚珠丝杠更好的减少尘埃产生的效果。替代对丝杠轴2实施润滑脂镀敷，而通过在丝杠轴2的表面形成由固体润滑剂构成的覆膜，也能够得到与上述相同的效果。形成所述覆膜的固体润滑剂可以列举出由二硫化钼、有机钼化合物、软质金属(例如金、银、铅)以及高分子材料(例如PTFE(聚四氟乙烯)、聚酰亚胺)中至少一种构成的材料。此外，这些实施方式的滚珠丝杠具有由滚珠返回通道和末端反向器5构成的滚珠返回路径，所述滚珠返回通道由贯通孔13构成，然而本发明也可以应用于滚珠返回路径为端盖式、循环管式、挡块式的滚珠丝杠。[实施方式4]实施方式4相当于本发明的第五方面的滚珠丝杠的实施方式。如图12 14所示，该滚珠丝杠由螺母1、丝杠轴2、滚珠3、环状的非接触密封件 410、420、末端反向器5、圆板状支撑部件60以及C形挡圈70构成。在螺母1的内周面形成有螺旋槽la，在丝杠轴2的外周面形成有螺旋槽加。在由螺母1的螺旋槽Ia和丝杠轴 2的螺旋槽加形成的轨道间配置有滚珠3。如图12 15所示，螺母1由圆筒部110和一体地形成于圆筒部110的径向外侧的凸缘120构成。凸缘120配置于圆筒部110的轴向的一端部侧，且配置于从端面稍稍错开的位置。圆筒部110由形成有螺旋槽Ia的轨道部111和位于其轴向两端部的、内径比轨道部111大的密封部112、113构成。在圆筒部110的轨道部111形成有沿轴向贯通两端面 (与密封部112、113的交界面)Illa间的通气孔111b。在螺母1还形成有与抽吸构件连接的抽吸孔130。该抽吸孔130从凸缘120的外周面开始沿径向延伸至圆筒部110的通气孔Illb为止。该抽吸孔130在凸缘120的与圆筒部110的交界侧使直径扩大，大径部分成为插入安装抽吸配管的末端的安装孔130a。在螺母1还形成有向内部供给润滑剂的供脂孔140。该供脂孔140在轴向的位置与抽吸孔130相同，供脂孔140在径向配置于成为抽吸孔130的相反侧的位置，该供脂孔 140从凸缘120的外周面沿径向贯通至圆筒部110的轨道部111的内周面。该供脂孔140 在凸缘120的与圆筒部110的交界侧使直径扩大，大径部分成为插入安装供脂配管的末端的安装孔140a。在螺母1的凸缘120形成有用于将螺母1安装到壳体的安装孔120a。该滚珠丝杠的滚珠返回路径形成于螺母1的内部，由滚珠返回通道Illc和连接于其两端的末端反向器5构成，该滚珠返回通道Illc由沿轴向延伸的贯通孔构成。滚珠返回通道Illc形成于螺母1的圆筒部110的轨道部111，并且在周向上形成于中心角相对于抽吸孔130为90度的位置。在轨道部111的两端面Illa的成为滚珠返回通道Illc的两端的位置，形成有用于配置末端反向器5的凹部llld。在螺母1的圆筒部110的密封部112、113的内周面，在轴向上从轨道部111的端面 Illa侧开始依次隔开间隔地形成有密封件安装用的第一槽llh、113a、第二槽112b、113b。在第一槽112a、113a,以轨道部111的端面11 Ia作为支撑面，利用C形挡圈70安装有第一非接触密封件(内侧密封件)410。第一非接触密封件410具有直径与通气孔Illb 的截面圆直径相同的连通孔410a，该连通孔410a以与通气孔Illb对准的方式安装。C形挡圈70也以使开口部70a与连通孔410a —致的方式进行配置。
在第二槽112b、113b，从第一槽11加、113a侧开始依次配置有圆板状支撑部件60、 第二密封件420和C形挡圈70。S卩，在第二槽112b、113b，以圆板状支撑部件60的圆板面作为支撑面，利用C形挡圈70固定有第二非接触密封件420。圆板状支撑部件60是在内径与非接触密封件420内径相同的具有孔的圆板上在周向形成有宽度与通气孔Illb的直径对应的圆缺部(参照图12)的部件。该圆缺部的端面61在图13示出。由此，本实施方式的滚珠丝杠在螺母1的轴向两端分别隔着预定的空间ΚΙ、K2配置有两个环状的非接触密封件410、420，这些空间K1、K2与通气孔Illb的两端分别通过第一非接触密封件410的连通孔410a连通。通过使第一非接触密封件410和第二非接触密封件420在螺母1的轴向两端采用各自相同的部件，并使它们与丝杠轴2的间隙在两端相同，来使两侧的尘埃产生量变得均勻，从而能够高效地进行抽吸。为了尽量减少润滑脂泄漏，优选第一非接触密封件(内侧密封件)410相对于丝杠轴2的径向间隙在0. Imm左右。为了得到良好的抽吸效果，优选第二非接触密封件420相对于丝杠轴2的径向间隙在0. 3mm左右。在使用该滚珠丝杠时，首先，将稠度在300以下的低尘润滑脂的供脂配管的末端安装于螺母1的供脂孔140的安装孔140a，将抽吸配管的末端安装于螺母1的抽吸孔130 的安装孔130a。接着，使抽吸配管的抽吸源工作，开始滚珠丝杠的运转。由此，外部的空气通过第二非接触密封件420与丝杠轴2之间的间隙而进入所述空间ΚΙ、K2，阻碍了螺母1的内部的空气通过第二非接触密封件420与丝杠轴2之间的间隙流向外部。此外，存在于螺母1 内部的轨道的范围的空气从第一非接触密封件410与丝杠轴2之间的间隙通过而流向空间 K1、K2。接着，各空间Κ1、Κ2内的空气通过第一非接触密封件410的连通孔410a进入螺母 1的通气孔111b，并从抽吸孔130被抽吸除去。这样，螺母1内部的尘埃经由空间K1、K2被高效地抽吸除去。并且，由于两个空间 Κ1、Κ2通过沿螺母1的轴向延伸的通气孔Illb而连接，因此与不设置这样的通气孔Illb的情况相比，提高了螺母内部的尘埃的除去效率。而且，由于采用的是非接触密封件410、420， 因此防止了由于其与丝杠轴2的接触而产生尘埃。因此，根据本实施方式的滚珠丝杠，通过向螺母内部供给润滑剂来进行滚珠丝杠的润滑，同时，在螺母的内部产生的尘埃基本不会流向外部而被抽吸除去，因此能够得到比现有的滚珠丝杠更好的减少尘埃产生的效果。另外，在本实施方式中，在螺母1的轴向两端分别配置有两个非接触密封件410、 420，然而也可以分别配置三个以上非接触密封件。在该情况下，为了使螺母1的轴向两侧的尘埃产生量均勻以高效地进行抽吸，也通过在螺母1的轴向两端分别配置各自相同的各非接触密封件，来使各非接触密封件与丝杠轴2的间隙在两端相同。在上述实施方式中，在螺母1的与抽吸孔130不同的位置形成供脂孔140，并从该供脂孔140供给润滑脂，然而也可以如图16所示，不设置供脂孔140，而是通过对丝杠轴2 实施润滑脂镀敷来进行润滑。图17是图16的A-A剖视图。图16的B-B剖视图与图14相同，构成图16的滚珠丝杠的螺母的B-B剖视图与图15相同。图16的滚珠丝杠的润滑由于是通过对丝杠轴2进行润滑脂镀敷来进行的，因此非接触密封件410、420与丝杠轴2的间隙保持大致恒定，并且润滑脂不会进入到通气孔111b。与此相对地，在图12的滚珠丝杠中，从供脂孔140供给的润滑脂有可能进入通气孔111b。 并且，当润滑脂进入通气孔Illb时，存在抽吸效果降低的情况。因此，图16的滚珠丝杠能够得到比图12的滚珠丝杠更好的减少尘埃产生的效果。替代对丝杠轴2实施润滑脂镀敷，通过在丝杠轴2的表面形成由固体润滑剂构成的覆膜，也能够得到与上述相同的效果。形成所述覆膜的固体润滑剂可以列举出由二硫化钼、有机钼化合物、软质金属(例如金、银、铅)以及高分子材料(例如PTFE (聚四氟乙烯)、 聚酰亚胺)中至少一种构成的材料。图18的滚珠丝杠是采用循环管80形成滚珠返回路径的例子。在图18的滚珠丝杠中，在螺母1的圆筒部Iio的轨道部111形成有沿径向贯通的管安装孔llle，而未形成图 15所示那样的滚珠返回通道Illc和用于配置末端反向器5的凹部llld。此外，在轨道部111的外周形成有用于配置循环管80的平面部lllf。并且，将循环管80的脚部插入轨道部111的管安装孔llle。此外，利用未图示的管限位件将循环管80 相对于轨道部111固定。而且，管安装孔Ille与循环管80的脚部的间隙通过密封剂密封。 由此，图18的滚珠丝杠形成为如下状态螺母1的内部的尘埃到达外部的路径限定于螺母 1的轴向两端(仅存在于螺母1的轴向两端)。除此以外的点与图12的滚珠丝杠相同。因此，根据图18的滚珠丝杠，通过向螺母内部供给润滑剂来进行滚珠丝杠的润滑，同时，在螺母的内部产生的尘埃基本不会流向外部而被抽吸除去，因此能够得到比现有的滚珠丝杠更好的减少尘埃产生的效果。标号说明1 螺母；Ia 螺母的螺旋槽；IA 第一螺母；IB 第二螺母；10 双螺母；11 凸缘；12 循环管配置用的平面部；13 形成滚珠返回通道的贯通孔；14 密封件安装用的凹部；1 凹部14的端面；15 末端反向器安装用的凹部；16 管安装孔；17 壳体；2 丝杠轴；2a 丝杠轴的螺旋槽；3 滚珠；4 非接触密封件；41 非接触密封件；42 非接触密封件；46 润滑脂积存空间；5 末端反向器；50 循环管；6 间隔垫；7 抽吸孔；71 安装部； 8 供脂孔；81 安装部；9 衬垫；110 螺母的圆筒部；111 螺母的轨道部；Illa 轨道部的端面；Illb 通气孔；Illc 滚珠返回通道；Illd 末端反向器安装用的凹部；llle 管安装孔；Illf 循环管配置用的平面部；112 :密封部；112a :第一槽；112b 第二槽；120 凸缘； 120a 安装孔；130 抽吸孔；130a 抽吸孔的安装部；140 供脂孔；140a 供脂孔的安装部； 410 第一非接触密封件(内侧密封件)；410a 连通孔；420 第二非接触密封件；60 圆板状支撑部件；61 圆板状支撑部件的圆缺部的端面；70 :C形挡圈；70a :C形挡圈的开口部； 80 循环管；K1、K2 两个非接触密封件所夹的空间。
权利要求
1.一种滚珠丝杠，其特征在于， 该滚珠丝杠具备螺母，该螺母在内周面形成有螺旋槽； 丝杠轴，该丝杠轴在外周面形成有螺旋槽；滚珠，所述滚珠配置于通过螺母的螺旋槽和丝杠轴的螺旋槽形成的轨道间；以及滚珠返回路径，滚珠通过该滚珠返回路径从轨道的终点回到起点， 通过滚珠在所述轨道内的滚动，所述螺母相对于丝杠轴进行相对移动， 在所述螺母的轴向两端配置有环状的非接触密封件， 沿径向贯通所述螺母的抽吸孔形成于所述螺母的轴向中央部。
2.一种滚珠丝杠，其特征在于， 该滚珠丝杠具备螺母，该螺母在内周面形成有螺旋槽； 丝杠轴，该丝杠轴在外周面形成有螺旋槽；滚珠，所述滚珠配置于通过螺母的螺旋槽和丝杠轴的螺旋槽形成的轨道间；以及滚珠返回路径，滚珠通过该滚珠返回路径从轨道的终点回到起点， 通过滚珠在所述轨道内的滚动，所述螺母相对于丝杠轴进行相对移动， 在所述螺母的轴向两端配置有环状的非接触密封件， 沿径向贯通所述螺母的抽吸孔形成于所述轨道的范围内。
3.根据权利要求1或2所述的滚珠丝杠，其中，在所述螺母的轴向中央部形成有凸缘，在所述凸缘形成有所述抽吸孔。
4.一种滚珠丝杠，其特征在于， 该滚珠丝杠具备螺母，该螺母在内周面形成有螺旋槽； 丝杠轴，该丝杠轴在外周面形成有螺旋槽；滚珠，所述滚珠配置于通过螺母的螺旋槽和丝杠轴的螺旋槽形成的轨道间；以及滚珠返回路径，滚珠通过该滚珠返回路径从轨道的终点回到起点， 通过滚珠在所述轨道内的滚动，所述螺母相对于丝杠轴进行相对移动， 所述滚珠丝杠具有多条由所述轨道和所述滚珠返回路径构成的循环回路， 在所述螺母的轴向两端配置有环状的非接触密封件， 沿径向贯通所述螺母的抽吸孔形成于所述螺母的轴向中央部。
5.一种滚珠丝杠，其特征在于， 该滚珠丝杠具备双螺母，该双螺母通过将在内周面形成有螺旋槽的两个螺母隔着衬垫连结起来而构成；丝杠轴，该丝杠轴在外周面形成有螺旋槽；滚珠，所述滚珠配置于通过所述两个螺母的螺旋槽和所述丝杠轴的螺旋槽形成的各轨道间；以及两条滚珠返回路径，滚珠通过所述两条滚珠返回路径从各轨道的终点回到起点， 通过滚珠在所述各轨道内的滚动，所述双螺母相对于丝杠轴进行相对移动，在所述双螺母的轴向两端配置有环状的非接触密封件，沿径向贯通所述双螺母的抽吸孔形成于所述衬垫。
6.根据权利要求1、2、4中的任意一项所述的滚珠丝杠，其中，仅在所述螺母的轴向两端存在使所述螺母内部的尘埃到达外部的路径。
7.根据权利要求5所述的滚珠丝杠，其中，仅在所述双螺母的轴向两端存在使所述双螺母内部的尘埃到达外部的路径。
8.根据权利要求5所述的滚珠丝杠，其中，在所述衬垫以外的部分形成有向所述双螺母的内部供给润滑剂的供脂孔。
9.一种滚珠丝杠，其特征在于， 该滚珠丝杠具备螺母，该螺母在内周面形成有螺旋槽； 丝杠轴，该丝杠轴在外周面形成有螺旋槽；滚珠，所述滚珠配置于通过螺母的螺旋槽和丝杠轴的螺旋槽形成的轨道间；以及滚珠返回路径，滚珠通过该滚珠返回路径从轨道的终点回到起点， 通过滚珠在所述轨道内的滚动，所述螺母相对于丝杠轴进行相对移动， 仅在所述螺母的轴向两端存在使所述螺母内部的尘埃到达外部的路径，在所述螺母的轴向两端分别隔着预定的空间配置有多个环状的非接触密封件，并且该滚珠丝杠具有抽吸所述空间内的空气的抽吸机构，在螺母形成有抽吸机构的抽吸孔。
10.根据权利要求9所述的滚珠丝杠，其中， 所述抽吸机构具有通气孔，该通气孔形成于所述螺母并沿轴向贯通所述螺母；以及连通孔，该连通孔设于内侧密封件，该连通孔将所述通气孔与所述空间连通，所述内侧密封件配置在所述螺母的各端部的最内侧，所述抽吸孔从螺母的外表面沿径向延伸至所述通气孔，并且在所述螺母的轴向上配置于位于所述内侧密封件彼此之间的位置。
11.根据权利要求1、2、4、5、9中的任意一项所述的滚珠丝杠，其中， 在螺母的内部形成有所述滚珠返回路径。
12.根据权利要求1、2、4、9中的任意一项所述的滚珠丝杠，其中，在所述螺母形成有向所述螺母的内部供给润滑剂的供脂孔，所述抽吸孔形成于与所述供脂孔不同的位置。
全文摘要
在螺母(1)的内部形成滚珠丝杠的滚珠返回路径，在螺母(1)的轴向两端配置环状的非接触密封件(4)。将沿径向贯通螺母(1)的抽吸孔(7)形成于滚珠(3)的轨道(由螺母(1)的螺旋槽(1a)和丝杠轴(2)的螺旋槽(2a)形成的滚动路径)的范围内的与供脂孔(8)不同的位置。由此，尽量避免在螺母内部产生的尘埃到达外部，得到比现有的滚珠丝杠更好的减少尘埃产生的效果。
文档编号F16H25/24GK102165221SQ201080002290
公开日2011年8月24日 申请日期2010年10月29日 优先权日2009年12月17日
发明者大久保努, 山本和史 申请人:日本精工株式会社