技术编号：5797671
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在化学工厂、半导体制造、食品、生物等各种工业领域的 配管线路的流道的切换中所使用的歧管阀，更详细地说，涉及能够在一方 的阀能够进行开闭操作时将另 一方的阀保持为不能进行开闭操作、紧凑且 能够容易地设置在配管线路上或者从配管线路上拆卸的歧管阀。背景技术以往，在半导体制造的配管线路中，具有如图12所示的包括主流道阀 102和分支阀104的配管结构，其中所述主流道阀对流过主流道101的流 体进行开闭，所述分支阀104对从主流道101分支的分支流道103...
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