歧管阀的制作方法

专利名称：歧管阀的制作方法
技术领域：
本发明涉及在化学工厂、半导体制造、食品、生物等各种工业领域的 配管线路的流道的切换中所使用的歧管阀，更详细地说，涉及能够在一方 的阀能够进行开闭操作时将另 一方的阀保持为不能进行开闭操作、紧凑且 能够容易地设置在配管线路上或者从配管线路上拆卸的歧管阀。
背景技术：
以往，在半导体制造的配管线路中，具有如图12所示的包括主流道阀 102和分支阀104的配管结构，其中所述主流道阀对流过主流道101的流 体进行开闭，所述分支阀104对从主流道101分支的分支流道103进行开 闭。在使主流道101的流体流动停止、更换配管线路的部件105等时，将 配管线路内残留的流体从分支流道103向外部取出，由此能够不使流体向 周围飞散地进行部件更换。但是，在所述以往的配管结构中，具有下述问题在打开主流道阀102 而使流体流过主流道IOI时必须预先将分支阀104关闭，在打开分支阀104 而使流体流过分支流道103时必须预先将主流道阀102关闭，因此具有对 所述各阀102、 104进行误操作的危险，例如在流体为腐蚀性流体、关闭主 流道阀102而进行配管线路的部件105的更换时，误操作主流道阀102而 将其打开，在这种情况下，会有流过主流道IOI的流体向外部飞散、腐蚀 性流体溅到更换部件的操作者身上而使其受到损伤的危险，或者产生飞散 的流体污染或腐蚀配管线路周边等较坏影响的危险。为了解决这样的问题点，需要设为在对一方的阀进行开闭时不能操作 另一方的阀的结构，作为出于该目的的方法，具有专利文献l所记栽的图13所示的阀的开闭操作装置。其结构为在输送性状不同的流体的第一管 路106和笫二管路107上，分别设置有第一阀116和第二阀117，该第一 阀和第二阀分别具有围绕与各管路106、 107的管轴垂直的轴线进行角变 位、打开 切断各管路106、 107的流道的第一阀芯108阀和第二阀芯109 阀；在各管路106、 107上，分别连结有在与轴线垂直的一个平面内具有凸 状部分IIO、 112和凹状部分111、 113的第一限制部件114、第二限制部 件115;互相相邻的任意两个限制部件114、 115中的一方的凹状部分lll 形成为避开另一方的凸状部分112的角变位方向的通过路径，并且另一方 的凹状部分113形成为避开一方的凸状部分110的角变位方向的通过路径， 一方以及另一方的各凸状部分110、 112形成为向相互的角变位方向的通过 路径内突出。其效果是在分别输送性状不同的流体的两个管路中，能够 仅在笫二限制部件115的凸状部分112嵌入第一限制部件114的凹状部分 111的状态下进行第二限制部件115的角变位操作，另外能够仅在第一限 制部件114的凸状部分110嵌入第二限制部件115的凹状部分113的状态 下进行第一限制部件114的角变位操作，由此能够仅对具有嵌入凹状部分 111、 113的凸状部分110、 112的限制部件114、 115进4亍角变位，所以能 够防止将多个阀芯同时打开，能够防止限制部件114、 115的误操作。 专利文献1:日本特开平7-332535号公报但是，所述以往的阀的开闭操作装置具有下述问题由于设置在第一 阀116上的第一限制部件114和设置在第二阀117上的第二限制部件115 被分别设置在第一管路106、第二管路107上，所以在为了将凸状部分110、 112与凹状部分111、 113嵌合而进行配管连接时必须对配管位置进行微妙 的调整，配管作业麻烦且需要时间，并且在将一方的阀拆卸时另一方的阀 成为障碍，所以拆卸困难。另外，具有下述问题在用于半导体制造装置 等的配管线路中时，笫一限制部件发明内容本发明是鉴于上面的以往技术的问题点而发明的，其目的在于提供一 种能够在一方的阀能够进行开闭操作时将另一方的阀保持为不能进行开闭 操作、紧凑且能够容易地设置在配管线路上或者从配管线路上拆卸的歧管阀。对用于解决上述课题的本发明的歧管阀的结构进行说明。本发明的歧管阀的第一技术方案，其特征在于包括主流道、从该主 流道分支的分支流道、对所述主流道进行开闭的主流道阀和对所述分支流 道进行开闭的分支阀，所述主流道、所述分支流道、所述主流道阀和所述 分支阀一体化；所述主流道阀和所述分支阀，分别都是包括阀芯、与该阀 芯相连结的阀柱和与该阀柱相连结的操作杆，通过将该操作杆在所述阀柱 的轴方向摆动而进行流道的开闭的手动阀；所述主流道阀和所述分支阀， 分别都将所述操作杆的摆动变换成所述阀芯的直线运动，使所述阀芯相对 于阀座压接/离开从而进行流道的开闭；并且该歧管阀具备联锁机构，该联 锁机构在所述主流道阀和所述分支阀中一方的阀为打开状态而另一方的阀 为关闭状态时，所述一方的阀的所述操作杆使所述另 一方的阀的所述操作 杆的摆动不能进行。另外，本发明的第二技术方案的特征在于还具有主干流道，所述主 流道从所述主干流道分支。另外，本发明的第三技术方案的特征在于，对于所述联锁机构如下 所述操作杆包括在所述阀为关闭状态时与围绕所述阀的阀盖的上面相抵接 的第一抵接面、在所述阀为打开状态时与所述阀盖的上面相抵接的第二抵 接面、和与所述第一抵接面大致平行的限制面；在所述一方的阀为关闭状 态且所述另一方的阀为打开状态时，所述关闭状态的阀的所述操作杆的第 二抵接面与所述打开状态的阀的所述操作杆的限制面相抵接或者留有间 隙。另外，本发明的第四技术方案的特征在于所述阀柱，贯通所述阀盖 而露出，并具有贯通该露出的端部的阀柱孔；所述操作杆，具有插入所述阀柱孔内的支点轴，以该支点轴为中心摆动；从所述支点轴中心到第二抵 接面的最短距离比从所述支点轴中心到第 一抵接面的最短距离长。进而，本发明的第五技术方案的特征在于所述主流道阀和所述分支 阀中的任一方是隔膜阀。本发明设为上述的结构，能够得到下述优异效果。(1) 能够在一方的阀能够进行开闭操作时将另一方的岡保持为不能进 行开闭操作，所以防止了在歧管阀的开闭操作中产生误操作。(2) 由于主流道阀、分支阀在歧管阀构造上设置为一体，所以容易相 对于配管线路进行连接、拆卸，进而由于在歧管阀上设有联锁机构，所以 在配管作业时不需要为了设置联锁机构而对配管位置进行微妙的调整。(3) 由于形成得紧凑，所以能够在配管线路密集的狭窄场所使用，在 用于装置内的配管时能够减小装置的尺寸。(4 )除了歧管阀所需的部件以外，不需要追加用于形成联锁机构的其 他部件，能够以最少的部件数形成联锁机构，所以阀的组装变得容易，能 够降低制造成本。


图1是表示作为本发明的第一实施方式的、主流道阀为打开状态、分 支阀为关闭状态的歧管阀的纵剖图。图2是表示图1的主流道阀为关闭状态、分支阀为关闭状态的歧管阀 的纵剖图。图3是表示图1的主流道阀为关闭状态、分支阀为打开状态的歧管阀 的纵剖图。图4是图1的操作杆的立体图。 图5是图1的立体图。 图6是图2的立体图。 图7是图3的立体图。图8是表示本发明的第二实施方式的纵剖图。图9是图8的本体的俯视图。 图10是图9的立体图。图ll是表示使用了本发明的第二实施方式的配管线路的模式图 图12是表示以往的半导体制造的配管线路的模式图。 图13是表示阀的开闭操作装置的主视图。 符号说明 本体2:第一流道第二流道4:第三流道主流道阀阀箱6:分支阀阀箱阀座8:第一开口部第二开口部10:阀座第三开口部12:第四开口部阀芯14:隔膜阀盖16:凹部贯通孑L18:阀柱凸缘部20:弹簧接合销钉22:操作杆第一抵接面24:第二抵接面限制面26:阀芯隔膜28:阀盖阀柱30:接合销钉操作杆32:第一抵接面第二抵接面34:限制面第一连接口36:第二连接口第三连接口38:切口部圆弧面40:把手部把手部51:本体第一流道53:第二流道54:第三流道 56:分支阀阀箱 58:第二连接口 60:第四连接口 102:主沪u道阀 104:分支阀57:第一连接口 59:第三连接口 101:主流道55:主流道阀阀箱103:分支流道 105:部件具体实施方式
下面，参照附图所示的实施例对本发明的笫一实施方式进行说明，但 毋庸指明，本发明并不局限于本实施例。图l是表示作为本发明的第一实 施方式的、主流道阀为打开状态、分支阀为关闭状态的歧管阀的纵剖图； 图2是表示图l的主流道阀为关闭状态、分支阀为关闭状态的歧管阀的纵 剖图；图3是表示图1的主流道阀为关闭状态、分支阀为打开状态的歧管 阀的纵剖图。图4是图1的操作杆的立体图。图5是图1的立体图；图6 是图2的立体图；图7是图3的立体图。图8是表示本发明的第二实施方 式的纵剖图。图9是图8的本体的俯视图。图10是图8的立体图；图11 是表示使用了本发明的第二实施方式的配管线路的模式图。在图1、图4中，X为主流道阀，Y为分支阀。l为本体，具有与侧面 的第一连接口 35相连通的第一流道2、与第二连接口 36相连通的第二流 道3和与第三连接口 37相连通的第三流道4，在上方分别设置有主流道阀 阀箱5以及分支阀阀箱6。在主流道阀阀箱5的底面中央形成有阀座7，在 阀座7的中心，没置有与第一流道2相连通的第一开口部8，在底面周缘部 设有与第二流道3相连通的第二开口部9。在分支阀阀箱6的底面中央形 成有阀座10，在阀座10的中心设置有与第二流道3相连通的第三开口部 11,在分支阀阀箱6的侧面设有与第三流道4相连通的第四开口部12。另 外，也可以在本体l的下部设置用于安置歧管阀的台座。此时，从第一流道2通过第一开口部8、主流道阀阀箱5、第二开口部 9流到第二流道3的流道成为主流道，从第三开口部11通过分支阀阀箱6、第四开口部12流到第三流道4的流道成为分支流道。将本体l形成为，在 主流道阀阀箱5侧打开关闭主流道的主流道阀X与在分支阀阀箱6侧打开 关闭分支流道的分支阀Y成为一个整体。首先，对于主流道阀X的结构进行说明。13是配置在主流道阀阀箱5内的阀芯，在阀芯13的外周一体形成有 在径方向上延伸设置的隔膜14，隔膜14的周缘部通过本体1和后述阀盖 15夹持固定。使阀芯13与阀座7压接.离开，由此将从第一流道2向第 二流道3的流体的流动即主流道切断 打开。15为阀盖，阀盖下部形成有向底面开口的凹部16，在上部设有与凹部 16连通的贯通孔17，下面与本体l抵接固定。18是阀柱，在上部从阀盖15的贯通孔17突出的状态下，以上下移动 自如且不能转动的状态嵌插在阀盖15的凹部16内。在阀柱18的下端部螺 合有阀芯13，在设置于下部的凸缘部19的上面与阀盖15的凹部16顶面 之间夹持弹簧20，由此向下方对阀芯13施力。22是操作杆，在图2的主流道阀X为关闭状态时，在下面上具有第一 抵接面23,在一个側面上具有与第一抵接面23所成的角度为85。的第二 抵接面24，在上面上具有与第一抵接面23大致平行的限制面25,第一抵 接面23与第二抵接面24的交叉部通过圆弧面39圆滑地相连。另外，在第 二抵接面24的相反侧设有延伸设置的把手部40。操作杆22跨过第一抵接 面23与第二抵接面24形成有矩形的切口部38，在切口部38上插入有阀 柱18的上部，并在设置在操作杆22的侧面(与第二抵接面24正交的面) 上的贯通孔和设置在阀柱18上部的贯通孔(阀柱孔)中嵌插接合销钉21， 由此一体化。另外，操作杆22以接合销钉21为支点轴，以支点轴(接合销钉21) 为中心摆动，接合销钉21被设置成与设置在后述操作杆31上的接合销钉 30平行，将从支点轴(接合销钉21)中心到第二抵接面24的最短距离形 成为比从支点轴(接合销钉21)中心到第一抵接面23的最短距离长，该 距离的差成为阀的提升量。接下来，对分支阀Y的结构进行说明。26是配置在分支阀阀箱6内的阀芯，在阀芯26的外周一体形成有在 径方向上延伸设置的隔膜27,隔膜27的周缘部通过本体1和后述阀盖28 夹持固定。使阀芯26与阀座10压接 离开，由此将从笫二流道3向第三 流道4的流体的流动即主流道与分支流道的连通切断 打开。28是阀盖，29是阀柱，31是操作杆。操作杆31为与操作杆22同样 的结构，设有第一抵接面32、第二抵接面33、限制面34、把手部41。这 些分支阀的结构与主流道阀的结构相同，所以说明从略。 在这里，对操作杆22以及操作杆31的结构进行说明。 操作杆22以及操作杆31以两阀为关闭状态时各自的第二抵接面24、 33相对的方式进行安装(参照图2)。在主流道阀X为打开状态、分支阀 Y为关闭状态时，操作杆22的限制面25与操作杆31的第二抵接面33平 行并且形成微小的间隙(参照图1)。在主流道阀X为关闭状态、分支阀 Y为打开状态时，操作杆31的限制面34与操作杆22的第二抵接面24平 行并且形成微小的间隙(参照图3)。另外，也可以设置成限制面25与笫 二抵接面33、限制面34与第二抵接面24没有微小的间隙地抵接。 接下来，对本发明的第一实施方式的动作进行说明。 首先，对主流道阀X的动作进行说明。在操作杆22的第一抵接面23 与阀盖15的上面相抵接的状态(操作杆22的把手部40朝向水平方向的状 态)下，通过弹簧20的反弹力，阀芯13被压接在阀座10上，主流道阀X 成为关闭状态，流体的流动被切断(图2、图3的状态)。接下来，在以 支点轴为中心使操作杆22摆动从而将把手部40向上方抬起(设为把手部 40朝向铅直方向的状态)时，第一抵接面23与阀盖15的上面分开，与阀 盖15的上面相抵接的面沿圆弧面39移动，从而第二抵接面24与阀盖的上 面相抵接。此时，第二抵接面24的距操作杆22的支点轴的距离比笫一抵 接面23的距操作杆22的支点轴的距离远，所以操作杆22的支点轴的位置 从阀盖15的上面向上方移动与该距离的差相应的量。因此，通过作为支点 轴的接合销4丁21而与操作杆22相配合的阀柱18也一边压缩弹簧20 —边上升，与阀柱18的前端相接合的阀芯13也上升，从阀座7离开，从而主 流道阀X成为打开状态，从笫一流道2流入的流体流向第二流道3。(图 1的状态)。另一方面，在从该状态(图1的状态)以支点轴为中心使操作杆22 摆动从而将把手部40扳倒(设为操作杆22的把手部40朝向水平方向的状 态)时，第二抵接面24与阀盖15的上面分开，取而代之笫一抵接面23 与阀盖15的上面相抵接，从操作杆22的支点轴到阀盖15的上面的距离变 近，所以通过支点轴而与操作杆22相配合的阀柱18下降与该距离的差相 应的量。此时通过弹簧20的施力而将阀芯13压接在阀座7上，主流道阀 X成为关闭状态，流体的流动被切断(图2、图3的状态)。对于分支阀Y,与主流道阀X构造相同，所以动作的说明从略，在分 支阀Y为关闭状态时，从笫二流道3向第三流道4的流体的流动被切断， 在分支阀Y为打开状态时，流体从第二流道3向第三流道4流动。接下来，对本发明的歧管阀的联锁机构进行说明。首先，在主流道阀X为打开状态、分支阀Y为关闭状态时(图1的状 态)，从第一流道2流入的流体从第二流道3流出。此时主流道阀X的操 作杆22的把手部40处于向上方抬起的状态，主流道阀X的限制面25与 分支阀Y的第二抵接面33留有微小的间隙地大致平行。在该状态下，即 使想将分支阀Y的操作杆31的把手部41向上方抬起，由于分支阀Y的第 二抵接面33与主流道阀X的限制面25相抵接，从而不能将操作杆31的 把手部41向上方抬起。通过该操作杆彼此的干涉，在分支阀Y为关闭状 态的情况下不能操作操作阀31，防止将分支阀Y设为打开状态。另一方面， 主流道阀X的操作杆22即使操作也不会引起操作杆彼此的干涉，能够自 由地从打开状态切换到关闭状态。即在该状态下主流道阀X能够进行开闭 操作而分支阀Y不能操作。接下来，在主流道阀X为关闭状态、分支阀Y为打开状态时(图3的 状态)，流体从第二流道3向第三流道4流动。此时分支阀Y的操作杆31 的把手部41处于向上方抬起的状态，主流道阀X的第二抵接面24与分支阀Y的限制面34留有微小的间隙地大致平行。在该状态下，即使想将主 流道阀X的操作杆22的把手部40向上方抬起，由于主流道阀X的第二抵 接面24与分支阀Y的限制面34相抵接，从而不能将操作杆22的把手部4 向上方抬起。通过该操作杆彼此的干涉，在主流道阀X为关闭状态的情况 下不能操作操作杆22，防止将主流道阀X设为打开状态。另一方面，分支 阀Y的操作杆31即使操作也不会引起操作杆彼此的干涉，能够自由地从 打开状态切换到关闭状态。即在该状态下分支阀Y能够进行开闭操作而主 流道阀X不能操作。接下来，在两阀都是关闭状态时(图2的状态)，操作杆22、 31的把 手部40、 41朝向互相相反的方向，各自的限制面25、 34朝向上方，所以 任何一个阀都能操作。但是，在操作一方的阀时，操作杆彼此干涉，从而 另一方的阀不能操作，所以不能同时操作两个阀。如上面所说明，本发明的歧管阀是不能将两个阀同时设为打开状态的 构造。在将该歧管阀用于图12那样的半导体制造装置的配管线路中时，主 流道阀102和分支阀103只要设置本发明的一个歧管阀即可(未图示)， 并且由于是具备联锁机构的歧管阀构造，所以不需要为设置联锁机构而进 行配管位置的微妙的调整，所以配管连接变得容易，并且比较紧凑，所以 能够在配管线路内的狭窄空间内使用，能够将半导体制造装置形成得更小。 另外在更换配管线路的部件的情况下，将主流道阀X设为关闭状态从而使 主流道的流体流动停止，将分支阀Y设为打开状态从而使主流道内残留的 流体从分支流道向外部流出，在进行部件的更换作业时，通过联锁机构防 止主流道阀X误变为打开状态，所以流体不会向周围飞散，作业者能够安 全地进行部件更换。另外，在本实施方式中流入的流体以通过第一流道2从第二流道3流 出和从第二流道3向第三流道4流出的方式流动，但根据歧管阀的用途， 流体怎才羊流动都可以。接下来，对主流道阀为分支阀构造时的本发明的第二实施方式进行说明。13如图8至图10所示，第二实施方式的歧管阀，在本体51的内部一体 设置有从第一连接口 57向第四连接口 60连通的第一流道52 (在图8中 是从正面侧向背面侧贯通的流道，第一、第四连接口 57、 60在本体51的 两侧面开口 )，从第一流道52的规定处向第二连接口 58连通的第二流道 53，和从第二流道53的规定处向第三连接口 59连通的第三流道54;在上 方分别设置有主流道阀阀箱55以及分支阀阀箱56 (参照图9)。此时，第 一流道52成为主干流道，从第一流道52通过主流道阀阀箱55流过第二流 道53的流道成为主流道，从分支阀阀箱56流过第三流道54的流道成为分 支流道。主流道成为从主干流道分支的流道。本体51，以在主流道阀阀箱55侧对主流道进行开闭的主流道阀和在 分支阀阀箱56侧对分支流道进行开闭的分支阀成为一个整体的方式形成。 主流道阀与分支阀的结构与第一实施方式相同，所以将说明省略。接下来，对本发明的第二实施方式的动作进行说明。歧管阀的流体的流动是流过第一流道52的流体经由主流道阀分支从 而流到笫二流道53。主流道阀能够进行该分支的流道的开闭，另外通过分 支阀将流过第二流道53的流体进一步分支从而流到第三流道54。分支阀 能够进行进一步分支的流道的开闭。对于主流道阀与分支阀的动作和联锁 机构，与本发明的第一实施方式相同，所以将说明省略。在将该歧管阀用 于半导体制造装置的配管线路中时，如图li所示那样并联配管连接多个本发明的歧管阀，在这种情况下就不需要像以往那样通过歧形管接头、歧管 接头等使流体分支地进行配管连接，而是能够不需要歧管接头地进行配管 连接，可以减少用于进行配管连接的部件，配管连接变得容易。本发明的歧管阀的联锁机构的结构只要如下即可在一方的阀为打开 状态而另一方的阀为关闭状态时， 一方的阀的操作杆将另一方的阀的操作 杆保持为不能进行以支点轴为中心的摆动操作；此时也可以将另 一方的阀 的操作杆保持为不能进行以支点轴为中心的摆动操作的状态，而使一方的 阀的操作杆以支点轴为中心摆动从而使一方的阀开闭。另外，操作杆22、 31的形状，只要具有第一抵接面23、 32、第二抵接面24、 33以及限制面25、 34，是满足联锁机构的结构即可，形状没有 特别限定。本发明的分支阀与主流道阀，是使操作杆22、 31以支点轴为中心摆动 从而开闭阀的结构，至少任意一方的阀需要具备转换单元，该转换单元通 过肘杆机构(曲柄杠杆机构)将阀操作杆22、 31的以支点轴为中心的摆动 转换为阀芯13、 26的直线运动，此时的阀的结构可以列举隔膜阀、停止阀、 提升阀、滑阀等，特别是由于溶出特性优异、容易形成对流体内产生颗粒 的情况进行抑制的结构，优选隔膜阀。在本发明中，隔膜14、 27的材质优选为氟树脂制，优选有聚四氟乙烯 (下面记作PTFE)、聚l， 1-二氟乙烯(下面记作PVDF)、四氟乙烯'全 氟烷基乙烯基醚共聚物(下面记作PFA)等。在本发明中，歧管阀的本体l、阀盖15、 28、阀柱18、 29、操作杆22、 31的材质只要具有作为歧管阀而必须的物理性质，就没有特别限定，优选 有PTFE、 PVDF、 PFA、聚氯三氟乙烯等氟树脂，也可以是聚丙烯、聚氯 乙烯、聚苯乙烯、ABS树脂等树脂，如果没有被流体腐蚀的担心，也可以 是不锈钢等金属。流过本发明的歧管阀的流体可以是纯水、盐酸、硫酸、氢氟酸、氨水、 过氧化氢水、氟化铵等，没有特别限定。
权利要求
1.一种歧管阀，其特征在于该歧管阀具有主流道、从该主流道分支的分支流道、对所述主流道进行开闭的主流道阀和对所述分支流道进行开闭的分支阀，所述主流道、所述分支流道、所述主流道阀和所述分支阀一体化；所述主流道阀和所述分支阀，分别都是包括阀芯、与该阀芯相连结的阀柱和与该阀柱相连结的操作杆，通过将该操作杆在所述阀柱的轴方向摆动而进行流道的开闭的手动阀；所述主流道阀和所述分支阀，分别都将所述操作杆的摆动变换成所述阀芯的直线运动，使所述阀芯相对于阀座压接/离开从而进行流道的开闭；该歧管阀具备联锁机构，所述联锁机构在所述主流道阀和所述分支阀中一方的阀为打开状态而另一方的阀为关闭状态时，所述一方的阀的所述操作杆使所述另一方的阀的所述操作杆的摆动不能进行。
2. 如权利要求l所述的歧管阀，其特征在于还具有主干流道，所 述主流道从所述主干流道分支。
3. 如权利要求1或2所述的歧管阀，其特征在于， 所述联锁^几构如下所述操作杆具有在所述阀为关闭状态时与围绕所述阀的阀盖的上面相 抵接的第一抵接面、在所述阀为打开状态时与所述阀盖的上面相抵接的第二4氐接面、和与所述第一4氐接面大致平行的限制面；在所述一方的阀为关闭状态且所述另一方的阀为打开状态时，所述关 闭状态的阀的所述操作杆的第二抵接面与所述打开状态的阀的所述操作杆 的限制面相抵接或者留有间隙。
4. 如权利要求3所述的歧管阀，其特征在于所述阀柱，贯通所述阀盖而露出，并具有贯通该露出的端部的阀柱孔； 所述操作杆，具有插入所述阀柱孔内的支点轴，以该支点轴为中心摆动；从所述支点轴中心到第二抵接面的最短距离比从所述支点轴中心到第 一抵接面的最短距离长。
5. 如权利要求3所述的歧管阀，其特征在于所述主流道阀和所迷 分支阀中的任一方是隔膜阀。
全文摘要
本发明提供一种具有两个阀、能够在一方的阀进行开闭操作时将另一方的阀保持为不能进行开闭操作、紧凑且能够容易地设置在配管线路上或者从配管线路上拆卸的歧管阀。该歧管阀的特征在于将主流道、分支流道、主流道阀和分支阀一体化；主流道阀和分支阀，都具有阀芯、与该阀芯相连结的阀柱和与该阀柱相连结的操作杆，都是通过将该操作杆向阀柱的轴方向摆动而进行流道的开闭的手动阀；主流道阀和分支阀，都将操作杆的摆动变换成阀芯的直线运动，使阀芯相对于阀座压接/离开从而进行流道的开闭；并且具备联锁机构，该联锁机构在主流道阀和分支阀中一方的阀为打开状态而另一方的阀为关闭状态时，一方的阀的操作杆使另一方的阀的操作杆的摆动不能进行。
文档编号F16K7/00GK101235924SQ20081000941
公开日2008年8月6日 申请日期2008年2月1日 优先权日2007年2月2日
发明者花田敏广 申请人:旭有机材工业株式会社