技术编号:5810192
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种源瓶,尤其涉及一种用于扩散炉的防爆源瓶。背景技术扩散炉是一种半导体工艺设备,主要用于掺杂工艺,特别在晶体硅太阳能电池生产中,扩散炉是唯一的掺杂设备,是制造工艺中对PN结的生成、转换效率的提高起决定性的关键设备。 现在的扩散炉大多做磷扩散,用石英瓶做源瓶装存液态的P0C13,把N2通入到石英源瓶中,鼓泡携带P0C13进入工艺管中,高温状态裂变产生磷。为了很好地控制N2携带P0Cl3的量,通常把石英源瓶置放在恒温水槽中。这种方法存在着严重的安...
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