专利名称：用于扩散炉的防爆源瓶的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种源瓶，尤其涉及一种用于扩散炉的防爆源瓶。
背景技术：
扩散炉是一种半导体工艺设备，主要用于掺杂工艺，特别在晶体硅太阳能电池生产中，扩散炉是唯一的掺杂设备，是制造工艺中对PN结的生成、转换效率的提高起决定性的关键设备。 现在的扩散炉大多做磷扩散，用石英瓶做源瓶装存液态的P0C13，把N2通入到石英源瓶中，鼓泡携带P0C13进入工艺管中，高温状态裂变产生磷。为了很好地控制N2携带P0Cl3的量，通常把石英源瓶置放在恒温水槽中。这种方法存在着严重的安全隐患。因为石英器件是一种脆性材料，在制造过程中易产生应力集中，在搬运过程中，若有碰撞、磕碰等易产生隐裂。在使用时，带压力的气体通入瓶中，瓶外温度巨变，这些应力集中和隐裂极易造成石英瓶破裂。若石英源瓶破裂后，液态的P0Cl3就会流入水中，与水发生剧烈化学反应P0C13+3H20 —H3P04+3HC1。这种反应生成物以雾状喷发，迅速弥漫在四周，危险性较大。生成的雾状磷酸和盐酸是有毒物品，对呼吸道有剌激，眼睛接触会致灼伤，造成永久性损害，皮肤接触可致严重灼伤。并且磷酸、盐酸是一种腐蚀性物质，对人体同样有害，对设备、仪器、厂房设施产生腐蚀。
发明内容本实用新型为了解决现有石英源瓶易破裂造成安全隐患的缺陷，提供一种用于扩
散炉的防爆源瓶，它通过用柔性的高分子材料作为源瓶的制作材料，有效提高源瓶的可靠性。
为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案用于扩散炉的防爆源瓶，包
括瓶体及设置在瓶体上的管体；所述瓶体为聚四氟乙烯(PTFE)或可熔性聚四氟乙烯(PFA)
材质，在瓶体上设有向外凸起的加强筋。 所述加强筋包括环绕瓶体的横向筋条及纵向筋条。 所述加强筋为PTFE或PFA材质。 所述管体为PTFE或PFA材质。 所述瓶体为封闭的圆柱形体，管体配合在圆柱形体顶面，加强筋设置在圆柱形体的外圆柱面上。 本实用新型通过改换源瓶的材料，将脆性的石英材料换成柔性的PTFE或PFA材料，耐腐蚀、耐高(低)温、耐老化，具有一定的机械强度，做成密封瓶后，无应力、无隐裂、不怕碰撞；同时在瓶身设置了增加强度的加强筋，就能够很大程度上消除破裂隐患，在装载、使用源瓶时大大减少爆瓶的危险。
以下结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明[0012]
图1为本实用新型剖视结构示意图。
具体实施方式
如图1所示一种用于扩散炉的防爆源瓶，包括封闭的空心圆柱形瓶体1及设置在瓶体上的管体3。在圆柱形瓶体l的外圆柱面上设有向外凸起的加强筋2，加强筋2包括横向筋条及纵向筋条，横向筋条环绕瓶体1。所述瓶体1、加强筋2及管体3均为PTFE或PFA材质。所述管体3穿透并固定于圆柱形瓶体1的顶面。 前述仅为本实用新型的优选实施例，所述瓶体1也可以制成其他适宜形状；加强筋2也可以设置在瓶体1内部或采用其它结构、布局；管体3可单独采用其它材质(参照图1)。 所述的PTFE(聚四氟乙烯，俗称塑料王)是含氟塑料中用途最广的品种，具有优异的综合性能耐腐蚀、耐高(低)温、耐老化、高绝缘、高润滑、不粘附、无毒害。广泛用于航空、化工、电子、桥梁、纺织、机械、造纸、陶瓷等行业。用作电绝缘件、密封衬垫、防粘、自润滑零件等，特别常用作腐蚀性液体和气体的输送管、容器。PFA(四氟乙烯与全氟烷基乙烯基醚共聚物，俗称可熔性聚四氟乙烯)保持了 PTFE的优异的化学稳定性，耐高、低温性能，介电性能。自润滑性、抗粘性、不燃性和耐老化性能。其突出的特点是耐折、耐开裂性能好，高温时的机械强度是PTFE的1.6倍以上。常用于各种防腐、密封、减磨、绝缘零件等，特别常用作腐蚀性液体和气体的输送管、容器。 使用这种源瓶的扩散炉，在装载、使用源瓶时就会大大减少爆瓶的危险。PTFE或PFA材料做的源瓶，由于是柔性材料，并且可以耐腐蚀、耐高(低)温、耐老化，具有一定的机械强度，做成密封瓶后，无应力，无隐裂，不怕碰撞，并且有加强筋增加强度，就能够很大程度上消除危害隐患。
权利要求一种用于扩散炉的防爆源瓶，包括瓶体(1)及设置在瓶体上的管体(3)，其特征在于所述瓶体(1)为PTFE或PFA材质，在瓶体(1)上设有向外凸起的加强筋(2)。
2 根据权利要求1所述的用于扩散炉的防爆源瓶，其特征在于所述加强筋(2)包括环绕瓶体(1)的横向筋条及纵向筋条。
3. 根据权利要求2所述的用于扩散炉的防爆源瓶，其特征在于所述加强筋(2)为PTFE或PFA材质。
4. 根据权利要求3所述的用于扩散炉的防爆源瓶，其特征在于所述管体(3)为PTFE或PFA材质。
5. 根据权利要求1至4任一项所述的用于扩散炉的防爆源瓶，其特征在于所述瓶体(1)为封闭的圆柱形体，管体(3)配合在圆柱形体顶面，加强筋(2)设置在圆柱形体的外圆柱面上。
专利摘要本实用新型公开了一种用于扩散炉的防爆源瓶，这种技术和装置主要应用于扩散炉中；它包括瓶体及设置在瓶体上的管体，所述瓶体为PTFE或PFA材质，在瓶体上设有向外凸起的加强筋。本实用新型通过改换源瓶的材料，将脆性的石英材料换成柔性的PTFE或PFA材料，耐腐蚀、耐高(低)温、耐老化，具有一定的机械强度，做成密封瓶后，无应力、无隐裂、不怕碰撞；同时在瓶身设置了增加强度的加强筋，就能够很大程度上消除破裂隐患，在装载、使用源瓶时大大减少爆瓶的危险。
文档编号F17C1/16GK201487540SQ20092020416
公开日2010年5月26日 申请日期2009年8月28日 优先权日2009年8月28日
发明者伍波, 张勇, 李果山 申请人:深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司