技术编号：5816398
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超高纯度气体用的气体分配系统，例如用于为半导体生产提供加工气体的系统。高纯度气体分配系统，例如用于半导体生产或其它薄膜涂层工艺中的高纯度气体分配系统，通常包括通过一系列气体处理零件，诸如质量流量控制器，压力传感器和/或调节器，加热器，过滤器或净化器，和切断阀而连接的高纯度气体源。在半导体工艺中，这些零件的系列连接组件称为“气体棒”。在通常的半导体工艺设备上，多个气体源通过多个气体棒被连至室中，它们通常被安装至框架上，形成称作“气体箱”的完整组件。...
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