专利名称：具有整体阀联结器的超高纯度气体分配部件及其应用方法
技术领域：
本发明涉及超高纯度气体用的气体分配系统，例如用于为半导体生产提供加工气体的系统。
高纯度气体分配系统，例如用于半导体生产或其它薄膜涂层工艺中的高纯度气体分配系统，通常包括通过一系列气体处理零件，诸如质量流量控制器，压力传感器和/或调节器，加热器，过滤器或净化器，和切断阀而连接的高纯度气体源。在半导体工艺中，这些零件的系列连接组件称为“气体棒”。在通常的半导体工艺设备上，多个气体源通过多个气体棒被连至室中，它们通常被安装至框架上，形成称作“气体箱”的完整组件。
由于半导体装置尺寸减小，它们的密度增加，半导体生产过程已变得日益不能容忍粒子的污染。这种污染的一个重要来源是生产过程中所用的气体，特别是将气体从源移送至室的气体棒湿润表面携带的微粒。积累在气体棒或加工部件中的湿气或灰尘将补源气体所携带，并沉积在被加工的半导体装置上，造成缺陷。湿气也可侵蚀湿润表面，导致微粒从这些表面上的剥落。
为减少这类污染，半导体加工用的气体棒和气体加工部件在低灰尘、低湿气的环境中进行生产，并在生产后，置于高压下进行长时间的净化。此外，气体加工部件通常在加压氮气中进行包装和封装以备运输。结果，部件或棒的内部只能暴露在半导体工艺设备放置的洁净室的环境中，并只能在去除棒或部件的包装和将其封装进入加工设备之间的短暂时间内暴露。
尽管这些仔细的传送过程。但即使气体棒或部件短暂地暴露于洁净室空气也会造成微粒和湿气在棒或部件内部积聚至潜在破坏的水平，从而要求在组装之后，及进而用于半导体生产之前，对气体棒进行强化的净化。由于净化期间半导体生产设备不能运行，净化所需的时间体现了相当的利润损失。
在气体分配系统中，气体棒中的气体加工部件及其它部件和连接，在加工设备的整个使用期间将磨损，并要求以不同的频率进行更换。通常，一个部件的更换过种是关闭最邻近该部件的阀，拆卸和更换该部件，再重新打开该邻近阀。为简化这一操作，并使在该过程期间，气体棒暴露于室内空气中的间隔达到最短，每个部件通常采用可拆卸联结器连接至其邻近部件或管道，而阀则沿着该棒放置在若干位置的部件之间。尽管如此，一个部件或棒的部份的拆卸，并将其从棒移走的动作终将使该部件和更换部件暴露于室内空气中，而且还将部件与最邻近阀之间(包括任何连接管道，和潜在的其它部件)的大量湿润表面暴露于室内空气中。这样，当部件被重新组装时，气体棒必须强化地加以净化。
根据本发明原理，通过应用特别适用于超高纯度气体分配系统的阀联结器，困难得以减轻。这些阀联结器可整体地包括在一个气体加工部件中，且/或连接在这些部件之间，这得以使部件的更换或部件间连接的改变时，只有气体分配系统的少量湿润表面面积暴露于室内空气中。作为一个特殊例子，阀联结器可整体地包括在气体棒的入口和出口中，使整个气体棒得以更换。
特别，根据本发明原理的阀联结器具有阀杆/外圆角结构以密封联结器的孔。外圆角密封紧挨联结器外侧的孔；阀杆和外圆角在通过孔而延伸的轴线上移动，而当外圆角位于密封该孔的位置时，外圆角的端部基本与壳体的外侧共平面。结果，当外圆角位于该密封位置时，只有极微量的联结器湿润表面暴露于外部环境中。
在下文讨论的发明的第一个实施例中，外圆角在孔的内侧进行密封，当缩回至联结器中时，使气体得以流动。在另一实施例中，外圆角密封孔的外侧，当从联结器向外移动时，使气体得以流动。
阀杆可由连接至联结器壳体的活塞和汽缸装置进行气动驱动，或可是手动驱动。下文说明的气动驱动阀包括回复弹簧，它产生一个力，驱动外圆角进入与孔的密封啮合，这样，当气动压力消失时，阀正常是密封的。而在另一个实施例中，回复弹簧驱动外圆角至密封啮合之外，因此，当气动压力消失时，正常情况下阀是打开的。在第二替换实施例中，齿条和小齿轮装置将来自气动或手动驱动器的竖直向力转换至水平指向的阀杆。
在另一方面，发明的特点在于，气体加工部件(如过滤器)，或整个气体棒是被上述类型的阀联结器在其入口和出口两侧与外界环境隔绝的。因为联结器密封部件/气体棒的内部湿润表面，使之不暴露于外部环境中，因此整个装置可在生产现场进行净化，并在运输期间保持以可控气氛加以灌装(如以压力稍高于大气的纯氮)，从而只要简短的净化后，部件/气体棒就能安装和使用。
下方说明的气体棒包括整体制作在气体棒壳体之中的阀联结器，还包括质量流量控制器，在质量流量控制器入口和出口侧的双过滤器，压力传感器，热电偶和加热器。当应用中有必要时，诸如压力调节器或纯化器的附加零件也能整体地包含在气体棒中。
发明另一方面的特征在于这些装置的使用方法。特别，当两个阀联结器连接在一起时，它们可被气体加工设备用作切断阀。因为两个结合的联结器包括两个独立的阀，且任一阀都能切断通过联结器的气体流动，因而阀的重复循环引起的磨损能在阀之间分配，使得结合的联结器寿命比独立的切断阀的寿命增长。
发明另一方面的特征还在于上述零件的预净化方法，以及将零件置于两个密封联结器之间的净化、可控环境中加以运输。
所包括的构成本说明一个部份的附图展示发明的实施例，而下文给出的实施例的详细说明连同上述发明的总体说明将用于说明发明的原理。
图1是按照本发明原理的，由整体的气体棒/阀联结器组件形成的气体箱的示意透视图；图2是沿图1中2-2线的气体棒的局部剖面图，但所示气动控制管线被焊接至阀联结器的管柱连接上，以展示不同于图1所示的螺纹联结器；图3是图2气体棒中两个阀联结器的局部剖面细节视图；图4是图3中两个阀联结器之间连接的放大剖面图；图5是过滤器的局部剖面图，它具有根据发明第二实施例的整体阀联结器，并展示了这样联结器的拆卸过程；图6和7是根据本发明原理的阀联结器另一实施例的局部剖面图；图8是图6和7中另一阀联结器的拆卸图；图9采用按本发明的原理的阀联结器的完整气体分配系统的示意流程图。
请参考图1和2，根据本发明的原理，气体箱10包括若干，诸如6个，单独和分别控制的气体棒12。每一气体棒12在输入管线14上接受半导体工艺用的源气体，在输出管线16上向半导体加工室输出气体。通过每一气体棒12的气体流量由若干阀联结器20加以控制。这些阀联结器受控于通过气动控制管线22的气动驱动，或在某些情况，可如图5所示，并下文进一步详细讨论的220那样，由手动进行驱动。
每一气体棒12可选择性地包括附加零件，包括在线路25上产生电的压力信号的压力传感器(传送器)24，检测气体棒12温度的热电偶(46，图2)，以及用于对气体棒加热的加热器套(带)(51，53，图2)。其它零件可包括气体纯化器。
气体棒12固定安装在支承板28上，它为气体箱10上的每一气体棒12提供机械支承。根据本发明的原理，与通常的气体棒相比，每一气体棒12的尺寸缩小了，这样支承板28可安装至或成为洁净室中现有半导体加工设备的一部份，气体棒在洁净室进行运行。这大大减小用于洁净室中的地面空间，从而大大减少其建造和运行的成本。
气体棒较小尺寸的第二个优越性是气体棒中湿润表面的减少，这意味气体棒中湿气和/或粒子积聚的可能性降低，遭受可能腐蚀或漏气的面积减少。
此外，气体棒的缩小尺寸减少了必须净化的体积，这就减少了所使用净化气体的净化时间和数量。
最后，气体棒的整体结构形成较少的连接和密封，从而减少气体从气体棒向周围环境的潜在泄漏路径，也减少了气体分配系统中钢的用量。
现在请参考图2，每一气体棒包含四个阀联结器20a，20b，20c和20d，它们将气体棒12连接至气体源和加工室中的气体分配设备。示于图2的四个阀联结器20a，20b，20c和20d具有相似结构，但安置于不同的指向，在某些情况，可整体地连接至邻近部件的壳体上。
特别，联结器20a中的阀系结构是联结器20b，20c和20d中结构的镜像映射，虽然每一情况中的主壳体形状稍有不同以适应不同应用。
在图2所示的实施例中，下阀联结器20b和20c被整体地安装至位于其间的气体棒(包括质量流量控制器38和压力传送器24)壳体上。因此，通过将下联结器20b和20c与配对上联结器20a和20d拆开，将上联结器20a和20d自与下联结器20b和20c的连接上举起，就可将气体棒从气体分配系统移走。
在另一实施例(未表示)中，上联结器20a和20d被整体地安装至气体棒(而不是下联结器20b和20c)上，而这些整体上联结器20a和20d被安装至独立的下联结器20b和20c上，它们连接至输入和输出管线14和16。在该替换实施例中，拆开之后，无需移动下联结器20b和20c，就可直接将气体棒及与之连接的上联结器20a和20d自下联结器20b和20c顶离。
现在回至图2中的实施例，加工气体输入管线14连接至第一阀联结器20a的主阀室30a。(至输入管线14和输出管线16的连接可以是如图2所示的螺纹接头，或者管线14和16可被焊接至图2中气动控制口91a/91b上使用的这类管柱上)。该室30a的外形是圆柱形的，图2中以剖面表示。室30a的下表面包括一个穿通壳体的孔56a。在一端终止外圆角34a的，轴向配置的阀杆32a沿穿通孔56a的中心轴线移动，这样，外圆角就可啮合和密封孔56a。
同样，阀联结器20b包括孔56b和杆32b，该杆沿通过孔56b伸展的中心轴线移动，并终止于定径成啮合和密封孔56b的外圆角34b。
当阀联结器20b和20b打开时，杆32a和32b移动至图2所示的位置。在这些位置时，联结器20a的圆柱形主室30a通过孔56a和56b与联结器20b的圆柱形主室30b形成流体联通。因此，输入管线14与形成在联结器20b壳体中的入口通道35处于联通状态。
通道35通过圆筒顶部封闭环形过滤器40与质量流量控制器38(其细节未表示)保持联系。过滤器40装配在联结器20b壳体55b的匹配的圆筒顶部封闭环形室中。过滤器40在其外边缘包括一个密封尖缘，该尖缘啮合于联结器20b壳体55b和质量流量控制器38的壳体之间，以便在其间形成密封。
质量流量控制器38的出口通过第二过滤器42连接至第三阀联结器20c的出口通道45和主圆柱形阀室30c。过滤器42被安装在阀联结器20c的壳体55c内，而壳体55c通过过滤器42上的密封尖缘44与质量流量控制器38的壳体隔绝。
与阀联结器20a和20b相同，阀联结器20c包括孔56c和内端终止于外圆角34c的阀杆32c。同样，阀联结器20d包括孔56d和其内端终止于外圆角34d的阀杆32d。当阀杆32c和32d如图2所示地处于其打开位置，主阀室30c通过孔56c与阀联结器20d的主阀室30d保持联通。因此，在这些阀杆32c和32d的位置时，出口通道45通过阀室30c和30d与气体棒12的输出管线16保持联通状态。
压力传感器24(其细节未表示)通过通道45a与出口通道45保持流体联通。来自压力传感器24的电信号在线路25上传送。这些信号能用于，例如，在气体压力下降低于设定值时，控制调节阀杆32位置的气动管线以关闭阀联结器，从而切断气体流动。
热电偶46与邻近过滤器40的壳体55b的壁保持热联通，从而检测流过过滤器40的气体温度，以便在线路48上产生电的温度信号。围绕进口通道35和出口通道45的加热器套(带)51，53相应地通过线路50和52获得电功率，并可根据热电偶46检测到的温度受控制，以调节气体棒12的温度，防止气体在气体棒12内的冷凝。(如需要的话，可用加热器筒以代替加热器带)。
气体棒12的总长度以标号54表示，约为9英寸。该尺寸大大小于包括分离的质量流道、压力传感器以及其间的控制阀壳体和联结器的通常气体棒组件的可比尺寸。
如上面指出的，根据本发明原理，气体棒12的紧凑尺寸可使气体箱10使用的洁净室地面空间大大减少。确实，在某些应用中，气体箱10可安装在加工室上，从而腾出了以前气体箱要求的所有地面空间。此外，气体棒的紧凑尺寸还有利于减少系统中的密封数，需净化的体积和湿润表面面积，使腐蚀或漏气的机会减少。
进一步还指出，图2中的气体棒12是一个整体组件，它包含气体输送所需的所有处理零件，包括质量流量控制器38和压力传感器24。此外，如将在下面图中更为详细的介绍那样，阀联结器20a，20b，20c和20d不仅起气体棒联结器的作用，还起自动驱动切断阀的作用，它们能在供加工室使用的半导体加工“诀窍”要求时启动和终止气体流动。气体棒12尺寸和密封数的大大减少使这些功能结合在一个单一组件中，这是本发明的特别优点。
现在参考图3，由此可看到在气体棒12运行期间，阀联结器20a或阀联结器20b是如何可用作流量控制阀的。具体讲，比较图3和图2，阀联结器20b的阀杆32b已移至图3所示的关闭位置。在该位置时，外圆角34b堵住联结器20b的孔56b，以便将阀室30b与联结器20a的阀室30a隔绝。为加强这一隔绝，每一外圆角34a和34b在其下边缘各包含一个密封垫58a和58b以密封壳体55a和55b的孔56a和56b。
根据本发明一个实施例的阀联结器20的其余细节展示在图3中。这些细节将在阀联结器20a和阀联结器20b中相应零件的范围内加以说明。然而，读者需要意识到，图2和5所示同一类型的其它阀联结器中会出现相似的细节。
在下文中，每一联结器20a和20b中的相应零件将同时加以说明，并对两个零件标明标号。
现在转向图3所示的细节，每一联结器各自包含一个薄膜60a/60b，它是弹性金属材料的圆盘状薄板。薄膜60a/60b密封主阀室30a/30b。阀杆32a/32b穿过薄膜60a/60b的中心孔。在围绕该中心孔的轴向区域，薄膜60a/60b在薄膜60a上所示62处焊接至外圆角34a/34b上。
阀杆32a/32b的内端穿过薄膜60a/60b，并终止于杆32a上所示64的螺纹端。外圆角34a/34b包含内螺纹以容纳相应阀杆32a/32b的内端。在阀杆32a/32b的该螺纹端64之上，阀杆32a/32b包含一个径向突出物66a/66b，其外径与外圆角34a/34b的外径匹配。这样，通过将阀杆32a/32b的螺纹端64拧紧进入外圆角34a/34b，薄膜60a/60b被夹紧在阀杆突出物66a/66b和外圆角34a/34b之间。这样组合的夹紧和焊接的结果形成薄膜60a/60b和外圆角34b/34b之间的可靠密封，将其间空间的泄漏降至最低。
主阀壳体55a/55b包含一个内部环形突出物70a/70b，其尺寸完成能啮合薄膜60a/60b的外周边。圆盘状分隔块68a/68b插入在薄膜60a/60b之上，并啮合薄膜60a/60b的相对周边边缘。从而薄膜60a/60b被夹紧在突出物70a/70b和分隔块68a/68b之间，可靠地将薄膜60a/60b锁定在位，并将薄膜60a/60b和主壳体55a/55b之间的泄漏降至最低。薄膜60a/60b的外周边也可焊接或钎焊至主壳体55a/55b上以进一步减少其间的泄漏。
分隔块68a/68b在其径向最靠内的位置含有一个中心孔，见阀联结器20b的78。该孔78的直径稍大于阀杆32a/32b上突出物66a/66b的直径。因此，如在阀联结器20a上展示的，当阀杆32a/32b缩回至阀室30a/30b中，将外圆角34a从与壳体55a的配合中拔出，阀杆突出物66a装入在环形孔78中，使外圆角34a得以完全从壳体55a脱开。
分隔块68a/68b具有一个凹的表面，如图3阀联结器20a中所示，当外圆角34a/34b处于打开位置时，该凹的内表面贴合薄膜60a/60b。从而分隔块68a/68b为薄膜60a/60b顶住气体压力提供支承，将防止其不必要的挠曲。
主壳体55a/55b沿其圆柱形内边缘含有螺纹72a/72b以安放在其外边缘具有配合螺纹的圆柱形加压头74a/74b。加压头74a/74b啮合分隔块68a/68b，并提供顶向分隔块68a/68b的挤压力，以便如上文指出的那样，将薄膜60a/60b的周边边缘夹紧在分隔块68a/68b与壳体突出物70a/70b之间。
分隔块68a/68b还包含诸如在轴向由此穿通的空气通道75a/75b。空气通道75a/75b与形成在加压头74a/74b中的环形管道76a/76b保持联通。形成在加压头74a/74b中的另一管道77a/77b由管道76a/76b引向围绕阀联结器20a/20b的洁净室大气。空气通道75a/75b和管道76a/76b及77a/77b使空气得以从薄膜60b后的区域流向阀联结器20a/20b之外的洁净室大气或反之，这样，在薄膜60a背侧的空气压力就不会阻碍阀杆32a/32b的移动。
在阀联结器的气动驱动实施例中，诸如图3所示的，主壳体55a/55b安装在驱动壳体80a/80b上。驱动壳体80a/80b通过驱动导线82a/82b被安装至主壳体55a/55b上，而驱动导线82a/82b被插入至形成于加压头74a/74b与驱动壳体80a/80b之间的环形管道中。当需要使气动气体连接至驱动壳体80a/80b时，该驱动导线82a/82b连接使驱动壳体80a/80b相对主壳体55a/55b绕它们的中心轴线转动。
驱动壳体80a/80b围绕阀杆32a/32b，并包含气动活塞一和一汽缸以便将杆32a/32b驱动至打开或关闭位置。特别是，壳体80a/80b界定一个中心汽缸84a/84b。活塞86a/86b被安装至杆32a/32b上，可滑移地安置在汽缸84a/84b之内。活塞86a/86b受加压气体的气动压力的轴向驱动通过壳体80a/80b，而加压气体则是通过焊接至管柱，形成气动控制口91a/91b的气动控制管线22(见图1和2)而引入。(另外，如图1所示，气动控制管线可用螺纹连接至气动控制口91a/91b，在这一情况，口直径可小些)。阀杆32a/32b带有凹槽以便在活塞86a/86b的相对两侧夹持环形锁定环92a/92b，这样，阀杆32a/32b就和活塞86a/86b形成机械连接。
通道93a/93b将加压气体从控制口91a/91b引向活塞86a/86b的前侧，这样，当施加压力时，活塞86a/86b就从示于驱动壳体80b的位置驱动至示于驱动壳体80a的位置。
壳体80a/80b在94a/94b具有内螺纹以安装圆柱形盖96a/96b，该圆柱形盖96a/96b在其外圆柱表表面上同样车有螺纹。螺施压缩弹簧98a/98b被设置在盖96a/96b和活塞86a/86b之间。弹簧98a/98b提供一个顶着活塞86a/86b和杆32a/32b的扩张力，将这些零件驱向主壳体55a/55b，引起外圆角34a/34b与壳体55a/55b孔56a/56b的密封啮合。这样，当气动压力去除时，弹簧98a/98b自动引起阀联结器20a/20b的关闭。
根据以上说明可意识到，示于图3的阀结构是“正常关闭”的阀，即，当气动压力去除时，它将关闭并保持关闭。
在特殊应用的另一实施例中，通过成形管道93a/93b以联通控制口91a/91b与活塞86a/85b背侧和盖96a/96b之间的空间也能生产“正常打开”的阀。活塞86a/86b的指向和弹簧98a/98b的位置也颠倒，这样，弹簧98a/98b被设置在活塞86a/86b的前侧和壳体80a/80b之间。最后，设置一条从壳体通向外部环境的空气通道，以便使在活塞86a/86b前侧和壳体80a/80b之间的空气得以排至外部环境。
如由图2中其整体可见，阀联结器20b的主壳体55b固定地安装在质量流量控制器38的壳体上以形成气体棒12。因此，联结器20b的壳体55b包含通道35，它与质量流量控制器的入口相连接。此外，主壳体55b包含一个安装在电力线路50上的加热器套51。返回参考图2，将看到，联结器20c也是与气体棒12的输出侧整体地成形，其包含的结构与联结器20b中出现的那些相同，但成镜像映射。
现在参考图4，用于检查连接匹配阀联结器的通道的细节。该通道是由进入联结器20a和20b的壳体55a和55b的孔56a和56b形成的。壳体55a和55b在孔56a，56b的外周边包含相应的环形夹紧爪99a和99b。这些爪匹配形成围绕孔56a和56b的圆形夹紧结构102。密封垫100(可变形垫片)被插入至爪99a和99b形成的圆形夹子102之中。密封垫100形成流体不漏的密封，防止流体从孔56a和56b及其间的通道渗漏进入壳体55a和55b之间的联结104。当壳体55a和55b是连接时，密封垫100在爪99a和99b之间固定地变形，每当壳体55a和55b分离之后，则必须加以更换。
如由图4可见，当外圆角34a和34b都处于图4所示的其关闭位置时，两个孔56a和56b都被密封。此外，外圆角34a和34基本与沿连接104的阀壳体外表面共平面。结果，外圆角34a和34b之间的区域中只包含很小的体积。
使用中，示于图1-4的阀联结器结构为诸如半导体生产的超高纯度气体加工应用提供了大为改进的联结和切断阀。例如，由图2可最好地看到，阀联结器形成匹配的对。如图4所示，当联结器匹配对的两个阀都处于断开位置，在联结器被分离时(见图5，下文将讨论)，基本没有阀内部的湿润表面暴露于外部空气。这样，联结器可分离，但没有大气通过孔56a和56b泄漏进入联结器阀室30a和30b，从而在联结器或安装的气体加工零件内部不会有湿气或灰尘的积聚。
此外，还将指出，当处于关闭位置的阀联结器分开时，暴露于大气的阀的内部湿润表面只是外圆角最端部的一个小面积。因此，只有这小面积才会在阀联结器分开和重新连接时积聚在灰尘或湿气。这样，由联结器加以连接的管道或气体加工零件的零件内部湿润表面的沾污将大大减少，在更换零件时要求的净化也将大大减少。
因此，根据本发明的原理，阀联结器被安置在气体加工零件的相对侧，以促进零件的更换而没有大量的沾污。这样，如图2所示，整个气体棒12可被阀联结器20所围绕，从而整个气体棒12可加以更换而所安装的管道不会有显著沾污。在示于图5的另一个应用中，气体分配系统或气体棒的一个单独部件，诸如过滤器120或作为另一例子的气体净化器，通过一对阀联结器20b和20c与系统或棒的其余部份相连接，这样，该部件可移走或更换，而既不会有气体棒的过滤器的显著沾污，也不会有其余部份的显著沾污。
对这些应用中的每一种，设想单独部件(图5)或整个气体棒(图2)将由生产者提供，所具有的阀联结器围绕工厂密封的部件，而防护于其间的部件处于可控的环境中，诸如在压力稍压于大气压的纯氮气中。此外，设想在相伴随的阀联结器被工厂密封之前，部件将由工厂将任何杂质加以净化。
特别，设想将气体棒或部件在真空炉中加热以烘烤出杂质，然后返回充放几个回合的纯氮气以去除所有空气和湿气。此后，洁净的组件将充氮，并放入密封的充氮口袋中以备输运。结果，当气体棒或部件被加在气体分配系统上时，只需简单的洁净以消除外圆角34端P的小湿润表面在其简短暴露于洁净室空气期间所获得的任何杂质，此后，立即在加工中加以使用。由于单独部件或整个气体棒是预洁净后提供的，其内湿润表面不是暴露于空气受沾污，因此与现有技术中通常气体棒中更换部件时要求的洁净所需的时间相比，该洁净所需的时间要大大缩短。
例如，在一个实施例中，气体净化器以该方法被隔绝在阀联结器之间，本发明的特殊优越性在于，净化器零件经常被室内空气所消耗，而上述隔绝程序将防止净化器零件向室内空气甚至是简短的暴露，从而大大减少安装期间被室内空气消耗的零件。
(根据本发明，结合气体净化器对联结器进行的使用将在下文配合图9加以说明)。
这里说明的阀联结器结构的附加优点是在每一联结器接头中包含双阀。特别，由外圆角34和相伴随的壳体孔56所形成的阀，可通过阀杆32和外圆角34的自动或手动(见下文)驱动被用作半导体加工期间的切断阀。
通常，切断阀设置在质量流量控制器的每一侧，当气体流动停止时，两个切断阀都关闭。在通常气体棒中，这些切断阀通过单独的联结器和管道连接至质量流量控制器。
本发明通过设置组合的联结器和切断阀大大缩小气体棒的尺寸和复杂性。将两种功能结合在如图2所示的单一整体组件中，具有上文肯定的合成优点，使气体棒的尺寸得以大大缩小。
另一优越性出自在每一联结中设置双切断阀。特别，如图3所示，一对阀联结器中的一个联结器可用作切断阀，而另一联结器保持打开位置。例如，将图2与图3比较，通过将阀联结器20b在打开和关闭位置之间循环，而将20a保持在打开位置，就可获得切断功能。以这一方法，将一个联结器循环，而将相对的联结器保持打开，就只有一个联结器积聚磨损，而另一联结器仍未使用。因此，当联结器20b接近其使用寿命端点时，可颠倒联结器的作用，将联结器20a设置成切断阀。结果，在阀联结器对中的切断阀的使用寿命能为单一切断阀使用寿命的两倍。通过如此延长切断阀的使用寿命，发明的阀联结器结构可延长由于阀磨损引起的气体棒重新装备之间的时间，从而提高了生产率。
现在转向详细讨论图5，阀联结器20c和20d的另一实施例提供阀杆32c/32d的手动驱动。在该实施例中，上面讨论的气动驱动阀的某些零件被加以修改以提供手动驱动。如同图3中的情况，联结器20c和20d(不同于主壳体55c和55d)的零件具有镜像映射结构，为清楚起见，两个联结器的相同零件将在下面同时讨论，并参照相应的标号。
在该手动驱动实施例中，主阀室30c/30d和薄膜60c/60d与上文参照图3讨论的那些气动驱动联结器中使用的那些相同。此外，薄膜60c/60d被焊接/夹紧至外圆角34c/34d和杆32c/32d及壳体55c/55d上，其方法与上文参照图3讨论的相同。
手动驱动实施例与图3中气动驱动实施例的不同在于，代替图3中所示的杆32a/32b，加压头74a/74b及驱动壳80a/80b使用了修改的阀杆32c/32d配合另一种加压头174c/174d和分隔块106c/106d。特别，经修改的分隔块106c/106d具有中心孔，其尺寸稍大于手柄112c/112d的外径，以绕着手柄112c/112d的最内端配合。如在前一实施例中那样，加压头174c/174d在其外边缘车有螺纹，以啮合壳体55c/55d的内螺纹边缘，并驱动分离块106c/106d进入与薄膜60c/60d及相对壳体突出物70c/70d的配合。因此，分隔块106c/106d将薄膜106c/106d压向主壳体55c/55d，并将其密封，使其间泄漏达到最小。
加压头174c/174d成形成具有中心圆柱形凹穴108c/108d以支承手动驱动手柄112c/112d和附属的轴承等。与外圆角34c/34d相对的阀杆32c/32d端延伸进入该凹穴108c/108d。该阀杆32c/32d端部包含外螺纹110c/110d。插入在凹穴108c/108d中的手柄112c/112d包含中心孔113c/113d，所具有的螺纹与阀杆32c/32d的螺纹110c/110d相匹配。
手柄112c/112d还包含一个环形突出物117c/117d，其尺寸可用于插入至凹穴108c/108d中，以便轴向紧紧夹住手柄112c/112d，但使其能够转动。环形轴承114c/114d装配在突出物117c/117d的相对两侧，以便使其能够转动，同时紧紧夹住手柄112c/112d以限制其轴向运动。盖116c/116d装配进入凹穴108c/108d，以限制轴承114c/114d和手柄112c/112d的轴向运动。
形成于加压头174c/174d中的管道118c/118d为通过分隔块106c/106d流至/流出薄膜60c/60d后侧的空气流动提供了路途，从而防止空气在薄膜60c/60d之后的压缩，不然，这将妨碍阀的打开或关闭(如在图3中气动驱动阀中管道75/76/77的情况)。
当阀被手动驱动至如示于联结器20d完全打开位置时，薄膜60d抵靠手柄112d和分隔块106d的底侧。这就防止了手柄112d的进一步转动和薄膜60d的过渡移动。
使用前述结构时，手柄112c/112d的转动引起阀杆32c/32d向或自开端封闭位置的轴向地向着或离开壳体55c/55d的轴向移动。这样，应用手柄就可手动地驱动阀联结器的阀。
手动驱动阀联结器可在气动驱动切断阀不需要的应用场合中使用。例如，在图5所示的实施例中，阀联结器20b的壳体55b和阀联结器20c的壳体55c是与支承过滤器120的壳体整体形成的，该过滤器120过滤主阀室30b和主阀室30c之间的气体流。在通常的应用中，由于在气体棒质量流量控制器的每一侧只应用了一个气动驱动切断阀，在过滤器120的每一侧就不需要两个气动驱动切断阀。因此，为气动控制配置了联结器20a和20b，而为手动控制配置了联结器20c和20d。在这样一种应用中，只有当过滤器或伴随零件由此拆除时，联结器20c和20d才被手动放置于关闭位置；不然，手动驱动联结器20c和20d将保持在打开位置。
和以前一样，过滤器零件120和伴随的整体阀联结器将由生产者在可控环境中(如在气压稍高于大气压的纯氮气中)，并经杂质预净化后加以供应，使得过滤器得以快速安装至气体棒中，只经简短净化后就可应用。
设想其它气体加工零件也可同样地隔绝在阀联结器之间，或整体结合在伴随的阀联结器的壳体中，以获得上述优点。例如，如上所述，纯化器或列式调节器或可设置在阀联结器之间，或者阀联结器可整体地结合在这些零件的壳体之中。这类应用及不同实施例将在下文结个图9进行讨论。
手动驱动阀联结器可应用的另一场所是阀联结器用于控制高压气体流量的场合。在这一情况，使用气动驱动阀联结器可能是不实际的。例如参看图2，当联结器阀杆32a处于打开位置，假如高压气体通过入口管线14输入至联结器20a，必须对阀杆32b施加(由弹簧98b)很大的力，以克服气体压力，将联结器20b保持关闭，即处于图3所示的位置。然而，这类大的力很可能在几个开-关循环期间就不可接受地使垫圈58b变形，从而剧烈减少可能由阀得到的循环数。
因此，在高压气体使用场合，输入侧联结器20b可是诸如示于图5的手动驱动联结器，在联结器20b连接至联结器20a之后，该联结器20b被打开，并在此后的整个过程中都处于打开状态。然后联结器20a(它不经受前一节述说的压力)可加以循环使用以提供切断能力。如上所述，使用手动驱动联结器的气体棒的一个例子是示于图1的联结器220。
在高压应用中，将加热器结合在联结器中，诸如图2所示的加热器51，特别的重要。在联结器中，十分可能遭受压力降，而该压力降将通过已知的焦耳一汤姆生冷却效应引起温度降。该温度降对用于半导体工艺的一些特殊气体意义重大。因此，加热联结器壳体很为重要，这可防止气体的冷凝，或在联结器中形成毛刺。
现在请参考图6，本发明的另一个实施例包含一个水平放置的阀杆130，它在垫圈134处配合阀壳体132。阀杆130水平地通过壳体132而移动。圆盘状薄膜136以上述方法焊接并夹紧在阀杆130和驱动器138之间。薄膜136进一步在其外周边边缘夹紧在主壳体132和驱动器壳体133之间，提供流体不渗漏的密封。
驱动器138包括与小齿轮142进行齿啮合的齿条142。小齿轮142由具有第二齿条144的驱动器所驱动，该第二齿条144转而又连接至，例如，气动驱动的活塞和汽缸组件146。组件146包括弹簧，它将杆130回复至图6所示的关闭位置，这样，当气动压力去除时，阀回复至密封状态。另一种选择是在气动压力消失时，组件146可将杆130回复至打开位置。作为第二种选择，组件146可包括手动控制的驱动器。
比较图6和图7可见，当阀移至打开位置时，齿条144随着气动驱动从组件146向外运动，引起小齿轮142绕其轴线顺时针转动，从而引起阀杆130离开垫圈134的水平运动。
主壳体132可连接至气体加工部件，诸如质量流量控制器38或其它部件。质量流量控制器38包括一个外壳体148，它具有基本为平面的表面160以便与主壳体132匹配。外圆角150被支承的外壳体148之内，以便受阀杆130的驱动。外圆角150受星形轮(环状弹簧)152的弹簧预压力进入与外壳体148的接触。外圆角150装有垫圈154以便当与此啮合时，密封外壳体148。
外壳体148由螺母156保持与主壳体132的啮合，螺母156具有内螺纹表面158，它与主阀壳体132上的外螺纹相匹配。外壳体148的平面表面160配合主阀壳体132的相似平面表面160。密封垫(可变形金属垫圈)162插入在外壳体148和主壳体132之间，提供了防止流体自阀壳体内侧的流动的密封。
如前所述，质量流量控制器38可与过滤器164，以及其它部件，诸如质量流量控制器，或压力传感器，和/或其它部件成整体结构。
在使用中，比较图6和图7可看到，阀杆130的水平驱动引起杆130抵靠外圆角150，克服星形轮152的弹力，将外圆角150推出与外壳体148的啮合。这样，在图7所示的位置中，气体得以通过阀结构而流动，而在图6所示的位置中，气体流动被制止。
如由图8可见，图6-7中的阀联结器可沿表面160拆开并分离。在这种情况下，阀杆130和外圆角150密封壳体和伴随结构物内部的湿润表面，这样，与以前一样，湿气和灰尘被阻止接触这些内部湿润表面。
这里，如参照图1-5描述的第一实施例那样，本发明的优越性是由于阀杆130和外圆角150而得到的，阀杆130和外圆角150沿通过阀壳体132和148而延伸的中心轴线移动，停靠在杆130和外圆角150的外表面近似与联结器两侧的邻接表面160共平面的位置，这样，当联结器拆开时，只有极少的阀湿润表面是暴露的。
在本发明由多种实施例的说明加以展示，且这些实施例已相当详细的加以说明的同时，申请人的意图并不是想以任何方式将所附权利要求局限或限止在这样的细节上。对该技术的那些有经验人士，另外的优越性和修改将很容易出现。
作为一个例子，示于图1和2的气体棒可与压力调节器整体结合，例如以代替压力传感器24，或者附加于此处。此外，这些阀联结器可具有第二入口孔，例如用于净化气体。
作为第二个例子，公布的阀联结器可优异地与气体分配系统中的其它部件连接，使气体管线得以与这些部件进行高纯度的连接/分离。
请参考图9，阀联结器220可用于将管道连接至气体源，例如汽缸柜170中的气体汽缸或气体台上的罐。在这些情况，根据本发明原理的阀联结器可与标准气体联结器整体地形成，或通过管道与之连接。
附加的阀联结器220可设置在纯化器174和176的两侧以加速纯化器的更换。另一些阀联结器220可设置在集流箱178和180的两侧，集流箱将气体从源170和172之一分配至多个气体箱10。还有，联结器20可用于由气体箱引导至加工设备182和184的连接上。
在一个典型的应用中，与气体源170和172，纯化器174和176及集流箱178和180连接的联结器220可是手动驱动的联结器，因为通常这些连接在加工期间不是定期开、关的。然而，安装至气体箱10和连接至加工设备182和184的联结器20则是气动驱动的，因为在加工期间，这些连接是定期开、关的。
这样，在其广泛的方面，本发明并不局限于所示和所说明的具体细节，代表性设备和方法，以及展示例。因此，只要不偏离申请人总体发明概念，可与这些细节有所偏离。
权利要求
1.一种气体棒，它用于将超高纯度气体分配至应用气体作为先驱物的表面改性设备，例如半导体生产设备，包括壳体组件，该壳体组件具有外表面，界定气体装载室的内表面，和第一及第二孔界定表面，该第一及和第二孔界定表面从所述内表面延伸至所述外表面，并界定第一及第二孔，使气体得以流入和流出所述壳体组件，质量流量控制器，它位于所述室内，以便测量所述第一与第二孔之间的气体流量，阀零件，它被可滑移地安装在所述壳体组件内，以便在第一位置与第二位置之间，沿穿通所述第一孔而延伸的轴线作直线移动，其中，在所述第一位置，所述阀零件密封地与所述壳体组件的所述第一孔围绕表面相配合，且所述阀零件的一个端部与所述壳体组件的所述外表面在与所述第一孔界定表面毗连的区域基本共平面，从而所述阀零件密封所述第一孔，这样，只有极小范围的所述壳体组件的所述内表面暴露在外界环境中。
2.如权利要求1所述的气体棒，还包括第二阀零件，该第二阀零件被可滑移地安装在所述壳体组件之内，以便在第一位置和第二位置之间，沿穿通所述第二孔而延伸的轴线作直线移动，其中，在所述第一位置，所述第二阀零件密封地与所述壳体组件的所述第二孔围绕表面相配合，而所述第二阀零件的一个端部与所述壳体组件的所述外表面在与所述第二孔界定表面毗连的区域基本共平面，从而所述第二阀零件密封所述第二孔，这样，只有极小范围的所述壳体组件的所述内表面暴露在外界环境中。
3.如权利要求2所述的被包装以备运输的气体棒，其中，所述室包含可控气氛，所述第一和第二阀零件在它们相应的第一位置密封所述第一和第二孔，阻止外界气氛进入所述室内，且还包括运输包装，该运输包装围绕所述壳体组件的所述外表面。
4.如权利要求3所述的包装气体棒，其中所述可控气氛包括压力略高于大气压力的氮气。
5.如权利要求1所述的气体棒，还包括第一过滤器，该第一过滤器放置在所述室内以过滤在所述第一和第二孔之间通过的气体。
6.如权利要求5所述的气体棒，其中所述第一过滤器被放置成用以过滤在所述第一孔和所述质量流量控制器之间通过的气体，且还包括第二过滤器，它被放置成用以过滤在所述质量流量控制器和所述第二孔之间通过的气体。
7.如权利要求6所述的气体棒，还包括压力传感器，该压力传感器与所述室处于流体联通状态，以检测那里的压力水平。
8.如权利要求7所述的气体棒，其中所述压力传感器是压力传送器，它产生与所述室内压力有关的电信号。
9.如权利要求6所述的气体棒，还包括温度传感器，该温度传感器与室处于热联通状态，检测流过所述室的气体温度。
10.如权利要求9所述的气体棒，其中所述温度传感器是热电偶，它产生代表气体温度的电信号。
11.如权利要求6所述的气体棒，还包括压力调节器，它调节在所述第一和第二孔之间流动的气体压力。
12.如权利要求7所述的气体棒，还包括气体净化器，它净化在所述第一和第二孔之间流动的气体。
13.如权利要求1所述的气体棒，还包括一个弹簧，该弹簧在所述壳体组件与所述阀零件之间施加力以便将所述阀零件向所述第一或第二位置之一移动。
14.如权利要求1所述的气体棒，还包括驱动壳体组件，它界定气动驱动汽缸和第三孔，该第三孔与所述驱动汽缸联通，使压缩气体得以进入所述驱动汽缸，其中所述阀零件还包括一个活塞，它被可滑移地安装在所述驱动汽缸内，从而将压缩气体通过所述第三孔注入至所述驱动壳体组件驱动汽缸中，以将所述阀零件在所述第一位置与所述第二位置之间驱动。
15.如权利要求14所述的气体棒，还包括一个弹簧，该弹簧在所述驱动壳体组件与所述阀零件之间施加力，以便在作用于所述阀零件上的气动力消失时，将所述阀零件移向所述第一或第二位置，其中将压缩气体通过所述第三孔注入至所述驱动壳体组件驱动汽缸中，所述阀零件可在所述第一位置与所述第二位置之间反抗由所述弹簧施加的力而被驱动。
16.如权利要求1所述的气体棒，还包括手柄，该手柄与所述阀零件配合以便沿所述轴线手动移动所述阀零件。
17.如权利要求16所述的气体棒，其中，所述手柄界定一个具有内螺纹的内孔，并被放置成可在所述壳体组件内绕穿通所述第一孔而延伸的所述轴线而转动，和所述阀零件界定外螺纹，该外螺纹与所述手柄的所述内螺纹相匹配，从而所述手柄的转动使所述阀零件沿所述轴线移动。
18.如权利要求1所述的气体棒，其中，所述阀零件和与所述壳体组件的所述内表面毗邻的所述孔围绕表面相配合，而将所述阀零件从所述第一位置至所述第二位置的移动包括将所述阀零件从所述壳体组件的所述外表面抽走，并缩回至所述壳体组件中。
19.如权利要求1所述的气体棒，其中，所述阀零件和与所述壳体组件的所述外表面毗邻的所述孔围绕表面相配合，而将所述阀零件从所述第一位置至所述第二位置的移动包括将所述阀零件伸出所述壳体组件，这样，所述阀零件的所述端部伸展在所述壳体组件的所述外表面之外。
20.一种部件，该部件具有整体阀联结器，用于联结至超高纯度气体分配系统，包括壳体组件，该壳体组件具有外表面，界定气体装载室的内表面，和第一及第二孔界定表面，该第一及第二孔界定表面从所述内表面延伸至所述外表面，并界定第一及第二孔，使气体得以流入和流出所述壳体组件，气体加工零件，置于所述室内以加工在所述第一和第二孔之间流动的气体，第一阀零件，它被可滑移地安装在所述壳体组件内，以便在第一位置和第二位置之间沿穿通所述第一孔而延伸的第一轴线作直线移动，其中，在所述第一位置上，所述第一阀零件密封地与所述壳体组件的所述第一孔围绕表面相配合，且所述阀零件的端部与所述壳体组件的所述外表面在与所述第一孔界定表面毗连区域基本共平面，第二阀零件，它被可滑移地安装在所述壳体组件内，以便在第一位置和第二位置之间沿穿通所述第二孔而延伸的第二轴线作直线移动，其中，在所述第一位置上，所述第二阀零件密封地与所述壳体组件的所述第二孔围绕表面相配合，且所述第二阀零件的端部与所述壳体组件的所述外面在与所述第二孔界定表面毗连的区域基本共平面，从而所述第一和第二阀零件密封所述第一和第二孔，这样，只有极小范围的所述壳体组件的所述内表面暴露在外界环境中。
21.如权利要求20所述的部件，其中，所述气体加工零件是过滤器，用于过滤在所述第一和第二孔之间流动的气体。
22.如权利要求20所述的部件，其中，所述气体加工零件是净化器，用于净化在所述第一和第二孔之间流动的气体。
23.如权利要求20所述的部件，其中，所述气体加工零件是集流管，用于分配气体，使其流动进入多个流动路径的所述孔之一。
24.如权利要求20所述的、被包装以备运输的过滤器组件，其中，所述室包含可控气氛，所述第一和第二阀零件在它们相应的第一位置密封所述第一和第二孔，阻止外界气氛进入所述室内，且还包括运输包装，该运输包装围绕所述壳体组件的所述外表面。
25.如权利要求24所述的过滤器组件，其中所述可控气氛包括压力略高于大气压力的氮气。
26.如权利要求20所述的过滤器组件，还包括驱动壳体组件，它界定气动驱动汽缸和第三孔，该第三孔与所述驱动汽缸联通，使压缩气体得以进入所述驱动汽缸，其中所述第一阀零件还包括一个活塞，它被可滑移地安装在所述驱动汽缸内，从而将压缩气体通过所述第三孔注入至所述驱动壳体组件驱动汽缸中，以将所述第一阀零件在所述第一位置与所述第二位置之间驱动。
27.权利要求26所述的过滤器组件，还包括一个弹簧，该弹簧在所述驱动壳体组件和所述第一阀零件之间施加力，以便在作用于所述第一阀零件上的气动力消失时，将所述第一阀零件移向所述第一位置或第二位置之一，其中将压缩气体通过所述第三孔注入至所述驱动壳体组件驱动汽缸中，所述第一阀零件可在所述第一位置与所述第二位置之间反抗由所述弹簧施加的力而被驱动。
28.如权利要求20所述的过滤器组件，还包括手柄，该手柄与所述第一阀零件相配合，以便沿所述第一轴线手动移动所述第一阀零件。
29.如权利要求28所述的过滤器组件，其中，所述手柄界定一个具有内螺纹的内孔，并被放置成在所述壳体组件内绕穿通所述第一孔而延伸的所述第一轴线而转动，和所述阀零件界定外螺纹，该外螺纹与所述手柄的所述内螺纹相匹配，从而所述手柄的转动使所述阀零件沿所述第一轴线移动。
30.如权利要求20所述的过滤器组件，其中，所述第一阀零件和与所述壳体组件的所述内表面毗邻的所述孔围绕表面相配合，而且将所述第一阀零件从所述第一位置至所述第二位置的移动包括将所述第一阀零件从所述壳体组件的所述外表面抽走，并缩回至所述壳体组件中。
31.如权利要求20所述的过滤器组件，其中，所述第一阀零件和与所述壳体组件的所述外表面毗邻的所述孔围绕表面相配合，而且将所述第一阀零件从所述第一位置至所述第二位置的移动包括将所述第一阀零件伸出所述壳体组件，这样，所述第一阀零件的所述端部伸展在所述壳体组件的所述外表面之外。
32.一种控制气体向应用气体作为先驱物的表面改性设备例如向半导体生产设备流动的方法，包括设置第一和第二阀联结器，每个所述阀联结器包括壳体组件，该壳体组件具有外表面，界定气体装载室的内表面和孔界定表面，该孔界定表面从所述内表面延伸于所述外表面，并界定孔，使气体得以流入和流出所述壳体组件，和阀零件，它处于所述壳体组件内的第一位置，并被可滑移地安装在所述壳体组件内，以便在所述第一位置和第二位置之间，沿穿通所述孔而延伸的轴线作直线移动，其中在所述第一位置，所述阀零件密封地与所述壳体组件的所述孔围绕表面相配合，且所述阀零件的一个端部与所述壳体组件的所述外表面在与所述第一孔界定表面毗连的区域基本共平面，通过使所述联结器接触所述联结器的相应阀零件，以面对面的关系匹配所述第一和第二阀联结器，然后将所述第二阀联结器的阀零件移动至其第二位置，和在将所述第二联结器的所述阀零件保持在其第二位置的同时，将所述第一阀联结器的阀零件在其第一和第二位置之间重复地移动，以便有选择地切断或使流动得以在所述阀联结器之间进行，从而由于重复使用引起的磨损只在所述第一阀联结器中积聚。
33.如权利要求32所述的方法，还包括将所述第一阀联结器的阀零件移动至其第二位置，而在将所述第一联结器的所述阀零件保持在其第二位置的同时，将所述第二阀联结器的阀零件在其第一和第二位置之间重复移动，以便有选择地切断或使流动得以在所述阀联结器之间进行，从而由于重复使用引起的摩损分布在所述第一和第二阀联结器之间。
34.如权利要求32所述的方法，其中，所述第二阀联结器是手动驱动的阀联结器，将所述第二阀联结器的所述阀零件移动至其第二位置由手动驱动所述阀零件完成。
35.一种运输超高纯度气体分配系统用部件的包装方法，包括设置一个容器，该容器具有气体入口，它使气体得以流过所述部件，和气体出口，用于在气体流过所述部件后排出气体，将所述部件放置在容器中的所述气体入口和所述气体出口之间，在所述气体入口上设置第一阀联结器，而在所述气体出口设置第二阀联结器，每个所述阀联结器包括壳体组件，该壳体组件具有外表面，界定气体装载室的内表面和孔界定表面，该孔界定表面从所述内表面延伸至所述外表面，并界定孔，使气体得以流入和流出所述壳体组件，和阀零件，它处于所述壳体组件内的第一位置，并被可滑移地安装在所述壳体组件内，以便在所述第一位置和第二位置之间，沿穿通所述孔而延伸的轴线作直线移动，其中在所述第一位置，所述阀零件密封地与所述壳体组件的所述孔围绕表面相配合，且所述阀零件的一个端部与所述壳体组件的所述外表面在与所述第一孔界定表面毗连的区域基本共平面，净化所述容器和第一及第二阀联结器的杂质，用可控气氛充满所述容器和第一及第二阀联结器，在所述容器和第一及第二阀联结器充满所述可控气氛的同时，将所述第一及第二阀联结器的所述阀零件放置在它们相应的第一位置，以便将所述容器及联结器与外界环境隔绝，密封在所述可控气氛中，和将所述预净化的容器和第一及第二阀联结器包装以备运输。
36.如权利要求35所述的方法，其中所述可控气氛包括压力稍高于大气压力的氮气。
37.如权利要求35所述的方法，其中在所述气体入口设置阀联结器包括为所述阀联结器成形一个与所述容器成整体的壳体组件。
38.如权利要求35所述的方法，其中在所述气体出口设置阀联结器包括为所述阀联结器成形一个与所述容器成整体的壳体组件。
39.权利要求38所述的方法，其中在所述气体入口设置阀联结器包括为所述阀联结器成形一个与所述容器成整体的壳体组件。
全文摘要
阀联结器和气体加工部件特别适合半导体生产中使用的超高纯度气体分配。在联结器中，阀杆/外圆角密封紧邻联结器外侧的联结器孔，这样，只有极小部分的联结器的湿润表面被暴露至外部环境中。气体加工零件(如过滤器，或整个整体的气体棒组件，可被这些阀联结器在其入口和出口两侧密封地与外部环境隔绝。结果，整个装置能在生产之后加以净化，并在运输和安装期间，保持在可控环境之中，减少安装后所需的净化。
文档编号F17D1/00GK1164812SQ9710076
公开日1997年11月12日 申请日期1997年2月21日 优先权日1996年2月21日
发明者布赖斯·埃瓦茨, 海伦·E·丽本 申请人:空气设备公司