技术编号:5817557
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种高纯气体汇流充装排,包括环流管路、氮气阀门、排气阀门、接口阀门、废液罐、废液阀门;所述氮气阀门一端连接高纯氮气,另一端连通所述环流管路;所述排气阀门一端连接所述废液罐,另一端连通所述环流管路;所述接口阀门用于连接高纯气源或钢瓶;所述废液阀门串联在所述废液罐和所述排气阀门之间。本实用新型所提供的高纯气体汇流充装排,能够在一套设备上完成高纯氮气进行高纯吹扫,然后再将瓶中废液压入废液罐中,再进行高纯气体的充装等工作,从而提高了工作效率,并节省...
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