高纯气体汇流充装排的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种高纯气体汇流充装排，包括环流管路、氮气阀门、排气阀门、接口阀门、废液罐、废液阀门；所述氮气阀门一端连接高纯氮气，另一端连通所述环流管路；所述排气阀门一端连接所述废液罐，另一端连通所述环流管路；所述接口阀门用于连接高纯气源或钢瓶；所述废液阀门串联在所述废液罐和所述排气阀门之间。本实用新型所提供的高纯气体汇流充装排，能够在一套设备上完成高纯氮气进行高纯吹扫，然后再将瓶中废液压入废液罐中，再进行高纯气体的充装等工作，从而提高了工作效率，并节省了设备成本。
【专利说明】高纯气体汇流充装排【技术领域】
[0001]本实用新型涉及高压高纯气体生产【技术领域】，具体涉及一种高纯气体汇流充装排。
【背景技术】
[0002]高纯气体在充装时通常首先需要将瓶中废液压入废液罐中，然后再使用高纯氮气进行高纯吹扫，再进行高纯气体的充装。因此高纯气体冲装需要多个工序才能完成，不仅设备成本高，而且用于盛装高纯气体的钢瓶在不同设备间的运转也费时费力。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种高纯气体汇流充装排，能够在一套设备上完成将瓶中废液压入废液罐中，然后再用高纯氮气进行高纯吹扫，再进行高纯气体的充装等工作，从而提高了工作效率，并节省了设备成本。
[0004]为了实现上述目的，本实用新型提出的技术方案是:
[0005]一种高纯气体汇流充装排，包括环流管路、氮气阀门、排气阀门、接口阀门、废液罐、废液阀门；所述氮气阀门一端连接高纯氮气，另一端连通所述环流管路；所述排气阀门一端连接所述废液罐，另一端连通所述环流管路；所述接口阀门用于连接高纯气源或钢瓶；所述废液阀门串联在所述废液罐和所述排气阀门之间。
[0006]作为本实用新型进一步改进的高纯气体汇流充装排，还包括真空泵、吸收池，所述真空泵一端连接所述排气阀门，另一端连接所述吸收池，且所述真空泵与所述废液阀门并联。·
[0007]作为本实用新型进一步改进的高纯气体汇流充装排，还包括废气阀门，所述废气阀门与所述真空泵、所述废液阀门并联，且所述废液阀门一端连接所述排气阀门，另一端连接所述吸收池。
[0008]本实用新型所提供的高纯气体汇流充装排，能够在一套设备上完成将瓶中废液压入废液罐中，然后再用高纯氮气进行高纯吹扫，再进行高纯气体的充装等工作，从而提高了工作效率，并节省了设备成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1,高纯气体汇流充装排结构示意图。
[0010]I为氮气阀门，2为排气阀门，3为环流管路，4为接口阀门，5为真空泵，6为废液阀门，7为废气阀门，8为吸收池，9为废液罐。
【具体实施方式】
[0011]为了加深对本实用新型的理解，下面将结合附图和实施例对本实用新型做进一步详细描述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。[0012]如图1所示，本实施例提供的高纯气体汇流充装排，包括环流管路3、氮气阀门1、排气阀门2、接口阀门4、废液罐9、废液阀门6 ;所述氮气阀门I 一端连接高纯氮气，另一端连通所述环流管路3 ;所述排气阀门2 —端连接所述废液罐9，另一端连通所述环流管路3 ；所述接口阀门4用于连接高纯气源或钢瓶；所述废液阀门6串联在所述废液罐9和所述排气阀门2之间。进一步改进的高纯气体汇流充装排，还包括真空泵5、吸收池8，所述真空泵5 一端连接所述排气阀门2，另一端连接所述吸收池8，且所述真空泵5与所述废液阀门6并联。进一步改进的高纯气体汇流充装排，还包括废气阀门7，所述废气阀门7与所述真空泵
5、所述废液阀门6并联，且所述废液阀门6 —端连接所述排气阀门2，另一端连接所述吸收池8。
[0013]首先关闭所有的阀门，将钢瓶接入所述环流管路3并打开接入钢瓶的接口阀门4，再打开排气阀门2、废液阀门6，使钢瓶内的废液排入到废液罐9中；然后关闭废液阀门6，打开氮气阀门1、废气阀门7即可进行高纯氮气吹扫作业；再关闭废气阀门7，打开真空泵5，抽净环流管路3及钢瓶内的氮气；关闭排气阀门2，选择一个未接入钢瓶的接口阀门4接入高纯气体并打开相应接口阀门4，从而进行高纯气体的充装。
【权利要求】
1.一种高纯气体汇流充装排，其特征在于:包括环流管路(3)、氮气阀门(I)、排气阀门(2)、接口阀门(4)、废液罐(9)、废液阀门(6);所述氮气阀门(I) 一端连接高纯氮气，另一端连通所述环流管路(3);所述排气阀门(2)—端连接所述废液罐(9)，另一端连通所述环流管路(3);所述接口阀门(4)用于连接高纯气源或钢瓶；所述废液阀门(6)串联在所述废液罐(9 )和所述排气阀门⑵之间。
2.根据权利要求1所述的高纯气体汇流充装排，其特征在于:还包括真空泵(5)、吸收池(8)，所述真空泵(5) —端连接所述排气阀门(2)，另一端连接所述吸收池(8)，且所述真空泵(5)与所述废液阀门(6)并联。
3.根据权利要求2所述的高纯气体汇流充装排，其特征在于:还包括废气阀门(7)，所述废气阀门(7)与所述真空泵(5)、所述废液阀门(6)并联，且所述废液阀门(6)—端连接所述排气阀门(2 )，另一端连接所述吸收池(8 )。
【文档编号】F17C5/00GK203431481SQ201320424476
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年7月17日 优先权日:2013年7月17日
【发明者】缪贯通, 缪嘉通, 宋兆德, 吴琼 申请人:爱康尼克晶体硅（芜湖）有限公司