技术编号：5822995
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种加速度传感器机芯。背景技术加速度传感器机芯振动系统的阻尼，是影响传感器信号分辨率的重要参数。 系统阻尼不足，振动的子波振动周期会过多，导致传感器信号分辨率低、信号质 量差。目前，提高阻尼的实现方式主要有机械阻尼、包括含空气及脂类的流体阻 尼、电阻尼以及磁涡流阻尼等。机械阻尼，是通过增加振动系统的摩擦力和提高振动弹簧的刚性实现的，缺 点是系统的有效能量损失较多，不易定量控制。流体阻尼，成本相对较低，但其线性度易受温度变化影响，同时由于阻尼介...
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