专利名称：加速度传感器机芯的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种加速度传感器机芯。
背景技术：
加速度传感器机芯振动系统的阻尼，是影响传感器信号分辨率的重要参数。 系统阻尼不足，振动的子波振动周期会过多，导致传感器信号分辨率低、信号质 量差。目前，提高阻尼的实现方式主要有机械阻尼、包括含空气及脂类的流体阻 尼、电阻尼以及磁涡流阻尼等。
机械阻尼，是通过增加振动系统的摩擦力和提高振动弹簧的刚性实现的，缺 点是系统的有效能量损失较多，不易定量控制。
流体阻尼，成本相对较低，但其线性度易受温度变化影响，同时由于阻尼介 质与压电元件需要直接接触，阻尼介质会腐蚀电压元件的银层表面。
电阻尼，是通过并连分流电阻实现的，成本虽低，但分流电阻使有效信号的 灵敏度降低，且阻尼要求越高，灵敏度的能量损失越大。
磁涡流阻尼，可量化，且不受温度影响，但成本高，同时对相关阻尼零件的 机械加工精度要求很高，成型后阻尼不可调节。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种加速度传感器机芯，其解决了背景技术中系 统阻尼受介质、温度等因素影响大，调节、控制不便以及成本较高的技术问题。 本实用新型的技术方案是
一种加速度传感器机芯，包括壳体4，设置于壳体4内的能量转换装置6和
阻尼装置，其特殊之处在于所述的阻尼装置为磁排斥阻尼装置1，该磁排斥阻 尼装置1设置于能量转换装置6的端部；所述的磁排斥阻尼装置1由一对的I磁
铁3与II磁铁5构成，所述构成磁排斥阻尼装置1的II磁铁5固定于能量转换装 置6的端部，与II磁铁5可形成磁力作用且位置相应的I磁铁3通过支架2支撑于壳体4上。
上述磁排斥阻尼装置1可采用一组，其设置于能量转换装置6的一端。 上述磁排斥阻尼装置1可采用两组，其分别设置于能量转换装置6的两端。
上述I磁铁3可通过螺栓8、铆钉或粘胶等固定于支架2上，以螺栓8固定为佳。
上述I磁铁3与支架2之间可设置调节I磁铁3与II磁铁5之间磁力大小的
调节垫片7。
上述壳体4与端盖10结合的缝隙处可设置有密封圈9。 上述II磁铁5以嵌套固定于能量转换装置6的端部为宜。
本实用新型具有以下优点
1. 系统阻尼充足，灵敏度高，传感器信号分辨率高、信号质量佳。
2. 阻尼力大小可调，易于定量控制，生产调试方便。
3. 阻尼线性度不受介质以及外界温度变化的影响，稳定性好。
4. 系统的有效能量损失少，零部件机械加工精度要求低，产品成本较低。
图1为本实用新型的结构示意图。
附图标号说明1-磁排斥阻尼装置，2-支架，3-I磁铁，4-壳体，5-II磁铁， 6-能量转换装置，7-调节垫片，8-螺栓，9-密封圈，10-端盖。
具体实施方式
本实用新型的阻尼装置采用磁排斥阻尼装置1，在能量转换装置6运动时， 构成磁排斥阻尼装置1的I磁铁3与II磁铁5会产生排斥力，从而可减少能量转 换装置6的振动幅度和次数，达到阻尼效果。
参见图l，本实用新型的能量转换装置6和阻尼装置设置于壳体4内，磁排 斥阻尼装置1设置于能量转换装置6的端部。
磁排斥阻尼装置1可釆用一组，设置于能量转换装置6的一端。磁排斥阻尼 装置1也可采用两组，分别设置于能量转换装置6的两端。
磁排斥阻尼装置l由一对I磁铁3与II磁铁5构成，n磁铁5固定于能量转
换装置6的端部，以嵌套固定于能量转换装置6的端部为宜。具体可先将n磁铁
5中心或底部的凸起、或II磁铁5下部嵌于能量转换装置6端部的凹槽内，再将
二者固连为一体。也可将n磁铁5的中心 L、或n磁铁5底部的凹槽套于能量转
换装置6端部的凸柱、凸台上，再将二者固连为一体。
I磁铁3通过支架2支撑于壳体4上。I磁铁3与II磁铁5的位置相应，二 者可形成磁力作用，即磁吸引、排斥力作用。I磁铁3与II磁铁5可选用钕铁硼 或铝镍钴材料，以降低制造成本。
I磁铁3可通过螺栓8、铆钉或粘胶等固定于支架2上，以螺栓8固定为佳。 I磁铁3与支架2之间可设置调节垫片7，通过调节I磁铁3与II磁铁5之间的 距离，以调节I磁铁3与II磁铁5之间的排斥力的大小，从而实现磁排斥阻尼装 置1阻尼力大小的调节。调节垫片7主要用于生产调试。
壳体4与端盖10结合的缝隙处可设置密封圈9。
权利要求1.一种加速度传感器机芯，包括壳体(4)，设置于壳体(4)内的能量转换装置(6)和阻尼装置，其特征在于所述的阻尼装置为磁排斥阻尼装置(1)，该磁排斥阻尼装置(1)设置于能量转换装置(6)的端部；所述的磁排斥阻尼装置(1)由一对的I磁铁(3)与II磁铁(5)构成，所述构成磁排斥阻尼装置(1)的II磁铁(5)固定于能量转换装置(6)的端部，与II磁铁(5)可形成磁力作用且位置相应的I磁铁(3)通过支架(2)支撑于壳体(4)上。
2. 根据权利要求1所述的加速度传感器机芯，其特征在于所述的磁排斥阻 尼装置(1)为一组，其设置于能量转换装置(6)的一端。
3. 根据权利要求1所述的加速度传感器机芯，其特征在于所述的磁排斥阻 尼装置(1)为两组，其分别设置于能量转换装置(6)的两端。
4. 根据权利要求1或2或3所述的加速度传感器机芯，其特征在于所述的 I磁铁(3)通过螺栓(8)、铆钉或粘胶固定于支架(2)上。
5. 根据权利要求4所述的加速度传感器机芯，其特征在于所述的I磁铁(3) 与支架(2)之间设置有调节垫片(7)。
6. 根据权利要求1所述的加速度传感器机芯，其特征在于所述壳体(4) 与端盖(10)结合的缝隙处设置有密封圈(9)。
7. 根据权利要求6所述的加速度传感器机芯，其特征在于所述的II磁铁(5) 嵌套固定于能量转换装置(6)的端部。
专利摘要本实用新型涉及一种加速度传感器机芯，包括设置于壳体内的能量转换装置和阻尼装置，阻尼装置为磁排斥阻尼装置，设置于能量转换装置的端部，磁排斥阻尼装置由一对的I磁铁与II磁铁构成，构成磁排斥阻尼装置的II磁铁固定于能量转换装置的端部，与II磁铁可形成磁力作用且位置相应的I磁铁通过支架支撑于壳体上。本实用新型解决了背景技术中系统阻尼受介质、温度等因素影响大，调节、控制不便以及成本较高的技术问题。本实用新型阻尼充足，灵敏度高，阻尼力大小易于定量控制、调节，稳定性好，产品成本较低。
文档编号G01P15/08GK201075113SQ20072003198
公开日2008年6月18日 申请日期2007年6月8日 优先权日2007年6月8日
发明者军 朱 申请人:军 朱