技术编号:5834863
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及失效分析领域,特别涉及一种超声波扫描的器件处理方法。背景技术超声显微镜,是指利用样品声学性能的差别,用声成像的方法来生成高反差、高放大倍率的超声像的装置。有吸收式超声显微镜、激光扫描法超声显微镜和布格拉衍射成像法超声显微镜等。用于显示介质材料内部的微小结构,能观察材料内部与声学性质差别有关的结构。在微电子学上,利用反射式声镜,可对大规模集成电路不同层次进行非破坏性观察。在实际使用中,部分集成电路或者器件表面刻有标记,形成一定的凹痕,这些凹痕在超声...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。