专利名称：一种超声波扫描器件处理方法
技术领域：
本发明涉及失效分析领域，特别涉及一种超声波扫描的器件处理方法。
背景技术：
超声显微镜，是指利用样品声学性能的差别，用声成像的方法来生成高反差、高放大倍率的超声像的装置。有吸收式超声显微镜、激光扫描法超声显微镜和布格拉衍射成像法超声显微镜等。用于显示介质材料内部的微小结构，能观察材料内部与声学性质差别有关的结构。在微电子学上，利用反射式声镜，可对大规模集成电路不同层次进行非破坏性观察。在实际使用中，部分集成电路或者器件表面刻有标记，形成一定的凹痕，这些凹痕在超声波成像后形成一定的阴影，无法确定在阴影区域中的芯片连接是否完好，从而对试验结 果的判断产生了严重影响。因此，如何避免被扫描器件标记对扫描结果的影响成为该领域亟待解决的问题。
发明内容
为了解决因为器件表面的标记对超声波扫描成像结果的判断产生的严重影响的问题，本发明提出以下技术方案
一种超声波扫描器件处理方法，该方法包括以下步骤
A、使用粗砂纸打磨器件的表面，直至器件表面标记完全去除；
B、使用细砂纸打磨器件的表面，直至器件表面平整、光滑；
C、对器件表面进行抛光；
D、将处理好的器件进行超声波扫描。作为本发明的一种优选方案，所述步骤A中粗砂纸的型号为100 300目。作为本发明的另一种优选方案，所述步骤B中的细砂纸型号为1500 5000目。本发明带来的有益效果是本发明通过简单打磨、抛光工序，去除了器件表面的凹痕标记，从而避免了在超声波扫描成像过程中阴影的产生，可以准确判断出器件内部的电路情况。本发明极大地提高了超声波扫描试验判断的准确性。
具体实施例方式下面对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。一种超声波扫描器件处理方法，该方法包括以下步骤
A、使用200目的粗砂纸打磨器件的表面，直至器件表面标记完全去除；
B、使用2100目的细砂纸打磨器件的表面，直至器件表面平整、光滑；
C、对器件表面进行抛光；D、将处理好的器件进行超声波扫描。经过本发明方法扫描的器件，内部电路结构清晰，可明确判断出器件内部是否存在缺陷，极大地提高了实验的准确性。以上所述，仅为本发明的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本领域的技术人员在本发明所揭露的技术范围内，可不经过创造性劳动想到的变化或 替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。
权利要求
1.一种超声波扫描器件处理方法，其特征在于该方法包括以下步骤 A、使用粗砂纸打磨器件的表面，直至器件表面标记完全去除； B、使用细砂纸打磨器件的表面，直至器件表面平整、光滑； C、对器件表面进行抛光； D、将处理好的器件进行超声波扫描。
2.根据权利要求I所述的一种超声波扫描器件处理方法，其特征在于所述步骤A中粗砂纸的型号为100 300目。
3.根据权利要求I所述的一种超声波扫描器件处理方法，其特征在于所述步骤B中的细砂纸型号为1500 5000目。
全文摘要
本发明提供了一种超声波扫描器件处理方法，该方法包括以下步骤A、使用粗砂纸打磨器件的表面，直至器件表面标记完全去除；B、使用细砂纸打磨器件的表面，直至器件表面平整、光滑；C、对器件表面进行抛光；D、将处理好的器件进行超声波扫描。本发明带来的有益效果是本发明通过简单打磨、抛光工序，去除了器件表面的凹痕标记，从而避免了在超声波扫描成像过程中阴影的产生，可以准确判断出器件内部的电路情况。本发明极大地提高了超声波扫描试验判断的准确性。
文档编号G01N1/28GK102928280SQ20121045928
公开日2013年2月13日 申请日期2012年11月15日 优先权日2012年11月15日
发明者杜泽明 申请人:苏州华碧微科检测技术有限公司