技术编号:5835744
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学检测并涉及利用聚集角设计对具有图样的物件进行检测的方法和装置,具有图样的物件例如为集成电路、印刷电路、光刻掩模、液晶显示器等。图样制作之前的晶片检测基于这样的事实,即光主要在通常平整光滑的无图样晶片表面的异常处发生散射。因此,检测到任何散射光就可能是有缺陷的象征。当对具有图样的晶片所进行的光学检测旨在探查缺陷(例如存在异物)时,该图样也将引起散射光。因此,检测到散射光不一定表示有缺陷。检测缺陷的传统技术被称为“模-到-数据库(die-to-d...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。