技术编号:5843204
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,采用对称的双测试室,测量测试室和分离规产生的放气量,属于真空计量领域。 背景技术文 献"Modification of the out gassing rate of stainless steel surface by plasmaimmersion ion implantation surface and coating technology 93 (1977) 318-326"介绍了利用对称的结构测量测试室放气量的方法。该方法是利用完...
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