技术编号:5846156
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型关于 一种多轴调整装置,特别是指 一种由简易组件所构成的三轴 调整定位平台装置。背景技术随着半导体、微机电、电子、光电、生医及纳米科技产业的相继发展,产品 走向轻薄短小化已是趋势,其零件精密细微,在检查、组装货检查时,所要求的 定位精度极高。随着半导体工业与纳米科技的开发与运用,使得纳米级定位平台的需求快速 成长同时也是未来科技发展的关键技术之一,现今线性滑轨商品已经被广泛地运 用在精密机械、自动化、各种动力传输、半导体、医疗和航天等产业上,更进...
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