专利名称：多轴调整装置的制作方法
技术领域：
本实用新型关于 一种多轴调整装置，特别是指 一种由简易组件所构成的三轴 调整定位平台装置。
背景技术：
随着半导体、微机电、电子、光电、生医及纳米科技产业的相继发展，产品 走向轻薄短小化已是趋势，其零件精密细微，在检查、组装货检查时，所要求的 定位精度极高。
随着半导体工业与纳米科技的开发与运用，使得纳米级定位平台的需求快速 成长同时也是未来科技发展的关键技术之一，现今线性滑轨商品已经被广泛地运 用在精密机械、自动化、各种动力传输、半导体、医疗和航天等产业上，更进一 步的并应用于高精度的微动定位平台上，而目前国内外对于高精度导螺杆的检测
技术已经是非常的成熟，但是对于三轴定位平台的检测技术却还是在萌芽的阶段； 所以如何有效的增加三轴定位平台量测时的精度和工作效率，是必须考量的。
发明内容
本实用新型的目的即在于提供一种多轴调整装置。本实用新型的次一目的在 于提供一种微精细加工后的多轴调整装置。本实用新型的另一目的在于提供一种 单一基座其独立的固定件与平移件间能以相对移动的轨道连接，以实现定位精准 的多轴调整装置。本实用新型的又一目的在于提供一种三自由度定位的多轴调整 装置，其精准的结构不需经由补偿平行度误差量来获得控制三轴系统运动误差。
可达成上述实用新型目的的多轴调整装置，包括有 一下基座，包括一第一 固定件，及沿一第一方向移动的第一平移件； 一上基座，位于该下基座上方，包 括一第二固定件，及沿一第二方向移动的第二平移件； 一调整座，位于该上基座 上方并用以置》史该量测物以沿一第三方向转动。
本实用新型采用的以上技术方案，达到了高刚性、高精度、负载重量高及经 济耐用的有益技术效果。且结构紧凑轻巧，运动反应快，速度高。
图1为本实用新型多轴调整装置其第一实施例的立体示意图2为本实用新型多轴调整装置其第一实施例的侧面示意图；'
图3为本实用新型多轴调整装置其第二实施例的立体示意图4为多轴调整装置其第二实施例连结驱动单元的示意图5为图4其基座的剖面示意图6为本实用新型调整座的立体分解示意图7为本实用新型调整座的剖面示意图8为多轴调整装置连结驱动单元的示意图9为多轴调整装置其第三实施例连结驱动单元的示意图。
具体实施方式
请参阅图l至图5，本实用新型所提供的多轴调整装置，主要包括有 一下基 座l、 一上基座2以及一调整座3所构成。
该下基座1包括一第一固定件11,及沿一第一方向移动的第一平移件12;
该上基座2位于该下基座1上方，包括一第二固定件21,及沿一第二方向移 动的第二平移件22;
该调整座3位于该上基座2上方并用以置放该量测物(或载具平台)以沿 一第三 方向转动。
该下基座1(或上基座2)包括一固定件11(21)能固设于该固定平台(图中未显示) 上，于其上方端部凸设一呈鸿尾状的组接部111(211),而于一平移件12(22)的上方 底部则对应凹设一可与其配合的凹槽部121(221),则该平移件12(22)能顺着组接部 111(211)的纵向移动，俾供该固定件11(21)与平移件12(22)间以滚动体13(23)提供 相对平移运动。
如图6与图7所示该调整座3主要由一底盘31、 一转动件32、 一上环盖33 以及多个滚动体34所构成；
该底盘31设呈圓盘状，于其周缘穿设有若干孔洞311,可供相对应数目的螺 栓35穿通过后锁设于该上基座2(或下基座l)的平移件上定位，而使得调整座3可 跟着该平移件位移，该底盘31于其中心内部设有一容置空间312,于该容置空间 312的周壁更设有一预定形状的环槽313;
该转动件32容设于该底盘31其容置空间312中，于其周缘外部、则相对于该底盘31其环槽313而设有一凹槽部321,其顶面则设有若干螺孔322,供多个 穿过该载具平台(图中未显示)的螺栓(图中未显示)螺入后完成其与该载具平台的组 接；
该上环盖33设呈环圏状可套置于该底盘31与该转动件32上，于其周缘上也 设有若干孔洞331，可与该底盘31其孔洞311相对应而供螺栓35—并穿过后锁固， 组固于底盘顶部。于其环心内部周围并形成有一限位部332,可与组接后的该底盘 31其环槽313、该转动件32其凹槽部321构成一滚动空间36，供多个为钢珠构成 的滚动体37,可以容纳于该滚动空间36之中，使该转动件相对于该底盘转动。该 滚动体37可以为滚柱、滚珠。
如图8所示，该下基座l(或上基座2)设有一驱动单元4,且该驱动单元4以螺 帽43与该平移件12(22)连接，供以螺杆42驱动螺设其上的螺帽43连动平移件 12(22)以相对固定件11(21)产生位移，而该驱动单元4更连接有一控制器(图中未 显示)，该控制器用以驱动螺杆42,使螺帽43连动平移件12(22)相对固定件11(21) 沿着螺杆42的轴向运动，而调整座3相对固定件11(21)同步沿着垂直于螺杆42 的轴来转动。
而包含马达41的驱动单元4,可接设一螺杆42伸出并利用与该螺杆42螺合 的螺帽43,该螺帽43固接于下基座l(或上基座2)的平移件12(22)上，令该驱动单 元4的螺杆42与下基座l(或上基座2)的平移件12(22)其滑动或移动同向，则当驱 动单元4旋转动作，使该螺帽43将带动该平移件12(22)产生X轴方向或Y轴方向 的移位动作者。
又如图9所示，该调整座3能设置于上基座2上方或下基座1与上基座2之 间，以提供固定于调整座3(或上基座2)上方的载具平台(图中未显示)能作X轴方 向、Y轴方向或旋转移位。而该上基座2或下基座l之上又各设有调整座3，可大 幅降低因为干涉所产生的误差，而各该上基座2或下基座1的各构件更由模组化 设计制造，可以控制其精密度与能量产化，售价不高，而且易于对位，可彻底解 决多轴量测与调整不容易，以及其价格昂贵的缺弊。
以上对本实用新型的描述是说明性的，而非限制性的，本专业技术人员理解， 在权利要求限定的精神与范围之内可对其进行许多修改、变化或等效，但是它们 都将落入本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种多轴调整装置，其特征在于，包括一下基座，包括一第一固定件，及沿一第一方向移动的第一平移件；一上基座，位于该下基座上方，包括一第二固定件，及沿一第二方向移动的第二平移件；一调整座，位于该上基座上方用以置放一量测物，沿一第三方向转动。
2. 根据权利要求1所述的多轴调整装置，其特征在于，所述的固定件与平移 件间以滚动体提供相对平移运动。
3. 根据权利要求1所述的多轴调整装置，其特征在于，所述的调整座，包括 固设于平移件上的底盘，其中心内部具有一容置空间， 一转动件容设其中， 一上 环盖套置于该转动件上并组固于底盘顶部，该容置空间的周壁设有环槽，该转动 件则于其周缘外部对应设有 一 凹槽部，与该上环盖其环心周围内部形成一 限位部， 共同组构成一滚动空间，多个滚动体容纳其中，该转动件相对于该底盘转动。
4. 根据权利要求1所述的多轴调整装置，其特征在于，所述的基座设有一驱 动单元，且该驱动单元以螺帽与该平移件连接，螺杆驱动螺设其上的螺帽连动平 移件相对固定件产生位移，而调整座相对固定件同步转动。
5. 根据权利要求2所述的多轴调整装置，其特征在于，所述的平移件于其底 部i殳一凹槽部，而所述固定件则于其顶部凸设一与凹槽部相对应配合的组接部， 供所述平移件于纵向的组接部上相对平移移动。
6. 根据权利要求2所述的多轴调整装置，其特征在于，所述的固定件与平移 件间的滚动体为滚柱。
7. 根据权利要求3所述的多轴调整装置，其特征在于，所述的调整座的滚动 体为滚珠。
8. 根据权利要求4所述的多轴调整装置，其特征在于，所述的驱动单元更连 接有一控制器，该控制器驱动该螺杆，使该螺帽连动平移件沿着该螺杆的轴向运 动。
9. 根据权利要求4所述的多轴调整装置，其特征在于，所述的驱动单元更连 接有一控制器，该控制器驱动螺杆，使螺帽连动平移件相对固定件沿着螺杆的轴 向运动，而调整座相对固定件同步沿着垂直于螺杆的轴转动。
专利摘要一种多轴调整装置，包括一下基座、一上基座以及一调整座；该下基座包括一第一固定件，及沿一第一方向移动的第一平移件；该上基座位于该下基座上方，包括一第二固定件，及沿一第二方向移动的第二平移件；该调整座位于该上基座上方并用以置放该量测物以沿一第三方向转动；其中该基座设有一驱动单元，且该驱动单元以螺帽与该平移件连接，供以螺杆驱动螺设其上的螺帽连动平移件以产生位移，而调整座同步沿着垂直于螺杆的轴来转动。
文档编号G01D11/00GK201373754SQ20092000948
公开日2009年12月30日 申请日期2009年4月2日 优先权日2009年4月2日
发明者邱毓英 申请人:邱毓英