技术编号：5860203
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。真空溅镀设备的感测装置本实用新型涉及一种真空溅镀设备的感测装置，特别是涉及一种用以侦测基板是否位在加工位置的真空溅镀设备的感测装置。背景技术如图1所示，现有一真空溅镀设备1在运作时，是将一基板3直立式地移载入一真 空腔体11内，当一侦测装置12测知该基板3已被移送至一镀膜加工位置时，表示该基板3 是移进入该侦测装置12的一发射器121与一接收器122间，使得该发射器121所发射出的 红外线受到该基板3阻挡，而无法传递至该接收器122，这时候，高电压便会施加...
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