专利名称：真空溅镀设备的感测装置的制作方法
技术领域：
真空溅镀设备的感测装置
技术领域：
本实用新型涉及一种真空溅镀设备的感测装置，特别是涉及一种用以侦测基板是否位在加工位置的真空溅镀设备的感测装置。
背景技术：
如图1所示，现有一真空溅镀设备1在运作时，是将一基板3直立式地移载入一真 空腔体11内，当一侦测装置12测知该基板3已被移送至一镀膜加工位置时，表示该基板3 是移进入该侦测装置12的一发射器121与一接收器122间，使得该发射器121所发射出的 红外线受到该基板3阻挡，而无法传递至该接收器122，这时候，高电压便会施加在阴、阳电 极间以驱动辉光放电效应，将该真空腔体11中的放电气体(如氩气)高温离子化成电浆， 电浆中的离子会轰击靶材13，使得靶材13材料的原子或分子溅飞出，并沉积、附着于该基 板3表面上以形成薄膜。随后，该基板3会继续移动以进入下一制程，当该侦测装置12测 知该基板3已移出镀膜加工位置时，此刻该发射器121所发射出的红外线能传递至该接收 器122，便停止高电压的施加与所驱动的辉光放电作用。然而，由于上述该侦测装置12的发射器121与接收器122皆是设置在该真空腔体 11中，不但会受到充斥在该真空腔体11中的游离气体或靶材13分子所污染，且存有不耐高 温而容易所以障、毁坏的问题，所以为使其能维持良好的侦测效率，相对必须增加定期予以 清理、检修等作业的频率，维护成本较高。
实用新型内容本实用新型的目的是在提供一种维护成本较低的真空溅镀设备的感测装置。本实用新型的真空溅镀设备的感测装置，是设置在该真空溅镀设备的一座腔体 上，并包含一个直向设置在该腔体的一面顶壁上的发射单元，以及一个横向设置在该腔体 的一面侧壁上的接收单元。该发射单元包括一个贯穿固定在该腔体的顶壁上的固定座、一 个设置在该固定座上且位在该腔体外的发射器、一个连接该固定座的一底部且位在该腔体 中的延长管座，以及一块倾斜设置在该延长管座的一底部处的反射片；该固定座与该延长 管座相配合界定出一个发射通道，该发射通道具有一个自该发射器延伸至该反射片的直向 段，以及一个自该反射片向外水平延伸的横向段。该接收单元包括一个贯穿固定在该腔体 的侧壁上的固位座、一个设置在该固位座上且位在该腔体外的接收器，以及一个连接该固 位座的一侧部且位在该腔体中的延长筒座；该固位座与该延长筒座相配合界定出一个间隔 对应该发射通道的横向段的横向式接收通道。承上所述，本实用新型提供一种真空溅镀设备的感测装置，是设置在该真空溅镀 设备的一座腔体上，并包含一个发射单元，以及一个接收单元，该发射单元包括一个发射 器，该接收单元包括一个接收器；其中该发射单元是直向设置在该腔体的一面顶壁上，且还包括一个贯穿固定在该腔 体的顶壁上的固定座、一个连接该固定座的一底部且位在该腔体中的延长管座，以及一块倾斜设置在该延长管座的一底部处的反射片，该发射器是设置在该固定座上且位在该腔体外，该固定座与该延长管座相配合界定出一个发射通道，该发射通道具有一个自该发射器 延伸至该反射片的直向段，以及一个自该反射片向外水平延伸的横向段，该接收单元是横 向设置在该腔体的一面侧壁上，且还包括一个贯穿固定在该腔体的侧壁上的固位座，以及 一个连接该固位座的一侧部且位在该腔体中的延长筒座，该接收器是设置在该固位座上且 位在该腔体外，该固位座与该延长筒座相配合界定出一个间隔对应该发射通道的横向段的 横向式接收通道。所述的真空溅镀设备的感测装置，其中该发射单元还包括一块设置在该固定座 与该延长管座间的穿透板，该接收单元还具有一块设置在该固位座与该延长筒座间的穿透 片。所述的真空溅镀设备的感测装置，其中该发射单元的固定座具有一个贯穿该腔 体的顶壁的固定座部、一个设置在该固定座部的一顶端与该发射器间的转接座部，以及一 个设置在该固定座部与该转接座部间的垫圈部，该接收单元的固位座具有一个贯穿该腔体 的侧壁的固位块部、一个设置在该固位块部的一侧与该接讯器间的转接块部，以及一个设 置在该固位块部与该转接块部间的垫环部。所述的真空溅镀设备的感测装置，其中该发射单元的延长管座具有一个套接该 固定座的底部的第一延长管、一个套接该第一延长管的一底端的第二延长管、一个自该第 二延长管的一顶部横向延伸的第一连接条，以及一个自该第一连接条的远离该第二延长管 的一侧向下延伸的第二连接条，该反射片是设置在该第二延长管的一底部，该固定座、该第 一延长管与该第二延长管是相配合界定出该发射通道。所述的真空溅镀设备的感测装置，其中该接收单元的延长筒座具有一个套接该 固位座的一侧部的延长筒，以及一个套接该延长筒的一侧部且连接该第二连接条的一底面 的延长块，该接收通道是横向贯穿该延长块、该延长筒与该固位座。本实用新型的有益效果在于利用该发射器与该接收器是分别设置在该腔体的 顶壁的外壁面上与该腔体的侧壁的外壁面上的结构设计，以能产生有效降低维护成本的功 效。
图1是一俯视示意图，说明现有一真空溅镀设备的局部结构；图2是一剖视示意图，说明本实用新型真空溅镀设备的感测装置的一较佳实施 例。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明如图2所示，本实用新型真空溅镀设备的感测装置的一较佳实施例，是设置在该 真空溅镀设备的一座腔体5上，用来侦测一块直立式基板7是否位在镀膜加工位置，以能控 制镀膜制程的启动与结束时机。当然，该真空溅镀设备的感测装置也可以用来控制其他制 程(如镀膜前的预热、镀膜后的加热表面改质等)的作业时机，所以其适用性并不受本实施 例所限制。[0017]该真空溅镀设备的感测装置是包含一个直向设置在该腔体5的一面顶壁51上的 发射单元2，以及一个横向设置在该腔体5的一面侧壁52上的接收单元4。该发射单元2包括一个贯穿固定在该腔体5的顶壁51上的固定座21、一个设置在 该固定座21的一顶端上且位在该腔体5外的红外线发射器22、一个其顶部套接该固定座 21的一底端部且位在该腔体5中的延长管座23、一块倾斜地设置在该延长管座23的一底 部处且其一反射面241是朝向该接收单元4的反射片24，以及一块设置在该固定座21与该 延长管座23间的玻璃制穿透板25。该固定座21具有一个贯穿该腔体5的顶壁51的固定座部211、一个设置在该固定 座部211的一顶端与该发射器22间的转接座部212，以及一个环设在该固定座部211与该 转接座部212间的垫圈部213。该延长管座23是概呈π字型，并具有一个其顶部套接该固 定座部211的一底部的直向式第一延长管231、一个其顶端套接该第一延长管231的一底端 的直向式第二延长管232、一个自该第二延长管232的一顶部同体横向延伸的第一连接条 233，以及一个自该第一连接条233的远离该第二延长管232的一右侧(是以图中的方向说 明，以下同)同体向下延伸的第二连接条234。特别是，该固定座21与该延长管座23相配 合界定出一个概呈L字型的发射通道26，该反射片24是设置在该第二延长管232的一底面 且相对位在该发射通道26的转角处，所以，该发射通道26具有一个直向段261，以及一个横 向段262，该直向段261是贯穿该转接座部212、该固定座部211、该第一延长管231与该第 二延长管232，且自该发射器22延伸至该反射片24的反射面241，而该横向段262是一自 该反射片24的反射面241向外水平延伸至该第二延长管232的一右侧面。该接收单元4包括一个贯穿固定在该腔体5的侧壁52上的固位座41、一个设置在 该固位座41的一右侧上且位在该腔体5外的接收器42、一个其右侧连接该固位座41的一 左侧且位在该腔体5中的延长筒座43，以及一块设置在该固位座41与该延长筒座43间的 玻璃制穿透片44。该固位座41具有一个贯穿该腔体5的侧壁52的固位块部411、一个设置在该固 位块部411的一右侧部与该接收器42间的转接块部412，以及一个设置在该固位块部411 与该转接块部412间的垫环部413。该延长筒座43具有一个其右侧部套接该固位块部411 的一左侧部上的延长筒431，以及一个其右侧部套接该延长筒431的一左侧部且其顶面连 接该第二连接条234的一底面的延长块432。其中，该固位座41与该延长筒座43相配合界 定出一个横向式接收通道45，该接收通道45是贯穿该延长块432、该延长筒431、该固位块 部411与该转接块部412，并间隔对应该发射通道26的横向段262。主要是，该发射器22所发射出的一红外线，能够在该发射通道26的直向段261中 朝下行进，并经该反射片24反射而右转进入该横向段262中以朝右行进，于穿出该横向段 262后再射进入该接收通道45中，最后直达该接收器42。因此，当该直立式基板7移至该 镀膜加工位置，而位在该发射通道26的横向段262与该接收通道45间时，从该横向段262 穿出的红外线便会受到该基板7阻隔而无法射进入该接收通道45中，一旦该接收器42未 接收到红外线，镀膜加工作业便会受命启动，以在该基板7表面上沉积成形出薄膜；而当镀 膜加工作业完成后，该基板7会继续移动往下一制程，只要该基板7移出该镀膜加工位置而 不挡阻在该发射通道26与该接收通道45间，红外线能畅行无阻地从该发射通道26射进入 该接收通道45中以直达该接收器42，镀膜加工作业就会受命立刻停止。[0023]所以，利用该发射器22与该接收器42是分别设置在该腔体5的顶壁51外与侧壁 52外的结构设计，使得该发射器22与该接收器42能够免于高温刺激与积尘污染，自然能减 少清理、维修的频率，有效降低维护成本，改善一般真空溅镀设备1(见图1)的侦测装置12 因设在真空腔体11中所致维修成本较高的问题。归纳上述，本实用新型真空溅镀设备的感测装置，整体能产生维护成本较低等功 效，所以确实能够达到本实用新型的目的。
权利要求一种真空溅镀设备的感测装置，是设置在该真空溅镀设备的一座腔体上，并包含一个发射单元，以及一个接收单元，该发射单元包括一个发射器，该接收单元包括一个接收器；其特征在于该发射单元是直向设置在该腔体的一面顶壁上，且还包括一个贯穿固定在该腔体的顶壁上的固定座、一个连接该固定座的一底部且位在该腔体中的延长管座，以及一块倾斜设置在该延长管座的一底部处的反射片，该发射器是设置在该固定座上且位在该腔体外，该固定座与该延长管座相配合界定出一个发射通道，该发射通道具有一个自该发射器延伸至该反射片的直向段，以及一个自该反射片向外水平延伸的横向段，该接收单元是横向设置在该腔体的一面侧壁上，且还包括一个贯穿固定在该腔体的侧壁上的固位座，以及一个连接该固位座的一侧部且位在该腔体中的延长筒座，该接收器是设置在该固位座上且位在该腔体外，该固位座与该延长筒座相配合界定出一个间隔对应该发射通道的横向段的横向式接收通道。
2.如权利要求1所述的真空溅镀设备的感测装置，其特征在于该发射单元还包括一 块设置在该固定座与该延长管座间的穿透板，该接收单元还具有一块设置在该固位座与该 延长筒座间的穿透片。
3.如权利要求2所述的真空溅镀设备的感测装置，其特征在于该发射单元的固定座 具有一个贯穿该腔体的顶壁的固定座部、一个设置在该固定座部的一顶端与该发射器间的 转接座部，以及一个设置在该固定座部与该转接座部间的垫圈部，该接收单元的固位座具 有一个贯穿该腔体的侧壁的固位块部、一个设置在该固位块部的一侧与该接讯器间的转接 块部，以及一个设置在该固位块部与该转接块部间的垫环部。
4.如权利要求1至3中任一项所述的真空溅镀设备的感测装置，其特征在于该发射 单元的延长管座具有一个套接该固定座的底部的第一延长管、一个套接该第一延长管的一 底端的第二延长管、一个自该第二延长管的一顶部横向延伸的第一连接条，以及一个自该 第一连接条的远离该第二延长管的一侧向下延伸的第二连接条，该反射片是设置在该第二 延长管的一底部，该固定座、该第一延长管与该第二延长管是相配合界定出该发射通道。
5.如权利要求4所述的真空溅镀设备的感测装置，其特征在于该接收单元的延长筒 座具有一个套接该固位座的一侧部的延长筒，以及一个套接该延长筒的一侧部且连接该第 二连接条的一底面的延长块，该接收通道是横向贯穿该延长块、该延长筒与该固位座。
专利摘要一种真空溅镀设备的感测装置，包含一个直向地贯穿设置在一腔体的一顶壁上的发射单元，以及一个横向地贯穿设置在该腔体的一侧壁上的接收单元。该发射单元包括一个位在该腔体外的发射器，以及一个L型的发射通道。该接收单元包括一个位在该腔体外的接收器，以及一个间隔对应该发射通道的一横向段的横向式接收通道。利用该发射器与该接收器皆位在该腔体外的设计，使整体能产生有效降低维护成本的功效。
文档编号G01V8/14GK201567368SQ20092026984
公开日2010年9月1日 申请日期2009年11月9日 优先权日2009年11月9日
发明者曾政富, 许三益, 郑博仁, 黄泳钊 申请人:北儒精密股份有限公司