真空及漏率多功能校准装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种计量装置，特别涉及一种真空及漏率多功能校准装置。
【背景技术】
[0002] 真空校准技术及漏率检测技术在航天、表面、微电子等科研生产中具有重要意义， 对于科研或企业生产线需要对真空规、真空漏孔、检漏仪以及气体微流量计校准测试。由于 真空参数较多，所需的校准装置种类也较多，如果针对不同的真空参数准备不同的校准装 置，无疑会增加建造校准装置的总成本，同时也会占用校准实验室较大的场地空间。对于可 以对多种真空规或其他真空测量装置进行校准的校准装置而言，由于其功能较多，组件比 较多，现有实验台或实验柜等校准检验用辅助设施无法满足此类校准装置的搭建需求，在 现有的校准检验用辅助设施上搭建组装此类校准装置，会导致组装好的校准装置的结构稳 定性差，易导致校准用检测管路受损，如因管道弯折或扭转导致管壁破裂或者管路堵塞，进 而可能导致校准精度下降，甚至无法进行校准。而且现有真空校准装置中的多数存在功能 单一化、校准范围较窄、校准精度不高的问题，进而使得计量单位不得不建造更多的校准装 置来满足实际校准需求。
【发明内容】
[0003] 有鉴于此，本发明在于提供一种符合国家标准、操作方便、校准数据准确可靠且精 度高、检定效率高并具有较宽的校准范围的真空及漏率多功能校准装置，不仅可以对真空 规校准，还可以实现对漏孔的校准。
[0004] 为解决上述问题，本发明采用如下技术方案:真空及漏率多功能校准装置，其特征 在于，包括真空及漏率多功能校准装置检定台、真空及漏率多功能校准装置控制箱、控制系 统和真空及漏率多功能校准系统；
[0005] 所述真空及漏率多功能校准装置检定台包括安装架、上面板、侧面板和上面板;所 述上面板上设有管路安装孔以及定位螺孔;所述侧面板包括侧箱盖和侧箱盖安装板，所述 侧箱盖安装板设有侧箱盖安装槽，所述侧箱盖安装槽槽底设有侧箱盖安装孔，所述侧箱盖 安装孔内设有限位挡板，所述侧箱盖设在所述侧箱盖安装孔内；所述上面板设在所述安装 架的顶部并与所述安装架固定连接，所述侧面板设在所述安装架的侧面并与所述安装架 固定连接，所述上面板设在所述安装架的底部并与所述安装架固定连接；
[0006] 所述真空及漏率多功能校准装置控制箱包括箱体和控制系统安装架，所述箱体顶 部设有上箱盖，所述上箱盖上沿周向设有第一散热孔，所述箱体侧面设有第一侧面箱盖、第 二侧面箱盖、第三侧面箱盖和第四侧面箱盖，所述第一侧面箱盖设有观察窗口，所述观察窗 口内设有透明玻璃板，所述箱体箱底下表面四个角上均设有定位支脚和万向脚轮，所述万 向脚轮通过可调连接件与所述箱体箱底下表面固定连接;所述控制系统安装架设在所述箱 体内；
[0007] 所述控制系统设在所述箱体内；
[0008] 所述真空及漏率多功能校准系统包括检测管路、真空校准分系统、漏率校准分系 统、机械栗和分子栗;所述检测管路包括导气管、手动隔断阀v 9、手动隔断阀v1Q、手动隔断阀 V2、手动隔断阀Vl·、电磁隔断阀v15和电阻规G5;所述手动隔断阀V9、所述手动隔断阀V 1Q、所述 手动隔断阀v2、所述手动隔断_Vi、所述分子栗、所述电磁隔断阀V15和所述电阻规G 5通过导 气管依次连接;所述机械栗依次经过电磁放气阀V17和挡油阱与位于所述手动隔断阀V 9和所 述电阻规&之间的所述检测管路连接导通，所述漏率校准分系统与位于所述手动隔断阀V9 和所述手动隔断阀％之间的所述检测管路连接导通，所述真空校准分系统与位于所述手动 隔断阀v2和所述手动隔断阀间的所述检测管路连接导通，位于所述手动隔断_Vi和所 述分子栗之间的所述检测管路经过微调阀V 16与氮气存储装置连接导通。
[0009] 本发明的有益效果是：
[0010] 1.本发明的真空及漏率多功能校准装置检定台的四个侧面设有的可拆卸侧箱盖 便于在检定台内部搭建组装真空及漏率多功能校准装置的部分组件及管路，如机械真空 栗、分子栗以及一些手动阀等，使校准装置的搭建不会受到单一出入口的限制，使得安装人 员有足够大的活动空间，从而降低了校准装置的组装难度。
[0011] 2.本发明的真空及漏率多功能校准装置控制箱中第一散热孔和第二散热孔以及 第三散热孔可以构成一个良好的散热循环系统，由于热空气密度小，会不断地上升从第一 散热孔中流出，这使得箱体内的气压小于大气压，此种情况下，温度较低的空气会从第二散 热孔和第三散热孔进入箱体内部对控制系统各个发热部件进行自然冷却，加上风扇的辅 助作用，安装在本发明内的控制系统会得到很好的散热降温作用，从而保证控制系统能在 正常的工作环境温度下运行。
[0012] 3.本发明的真空及漏率多功能校准装置控制箱中的按压锁定机构有利于第二侧 面箱盖、第三侧面箱盖和第四侧面箱盖的拆卸，从而有利于使用人员从各个方向对控制系 统进行维护。
[0013] 4.本发明的真空及漏率多功能校准装置控制箱中的定位支脚有利于箱体在具体 位置的平稳站立，从而为控制系统良好的运行提供一个稳定的支撑平台，而万向脚轮则方 便需要对控制箱的位置调整或对控制箱进行移动时能够轻松将控制箱进行移动。
[0014] 5.本发明结构合理，符合国家标准，操作方便，校准数据准确可靠，且检定效率高， 校准范围宽，可用于各种高、低真空计和真空标准漏孔的检定。
【附图说明】
[0015] 图1为本发明真空及漏率多功能校准装置的真空及漏率多功能校准系统的工作原 理图；
[0016] 图2为本发明真空及漏率多功能校准装置的控制系统的结构示意图；
[0017] 图3为本发明真空及漏率多功能校准装置的真空及漏率多功能校准装置检定台的 结构示意图；
[0018] 图4为本发明真空及漏率多功能校准装置的真空及漏率多功能校准装置检定台 (正面的侧箱盖拆卸下之后）的结构示意图；
[0019] 图5为本发明真空及漏率多功能校准装置的真空及漏率多功能校准装置检定台的 安装架(带有上面板增强肋板)的结构示意图；
[0020] 图6为本发明真空及漏率多功能校准装置的真空及漏率多功能校准装置检定台的 侧面板结构示意图；
[0021] 图7为本发明真空及漏率多功能校准装置的真空及漏率多功能校准装置检定台的 侧箱盖结构示意图；
[0022] 图8为本发明真空及漏率多功能校准装置的真空及漏率多功能校准装置控制箱的 外部结构示意图；
[0023] 图9为本发明真空及漏率多功能校准装置的真空及漏率多功能校准装置控制箱 (第一侧面箱盖打开后）的结构示意图；
[0024] 图10为本发明真空及漏率多功能校准装置的真空及漏率多功能校准装置控制箱 的限位连接件的结构示意图；
[0025] 图11为本发明真空及漏率多功能校准装置的真空及漏率多功能校准系统的工作 原理图；
[0026]图12为第一密封件的结构示意图；
[0027] 图13为导气管与第一密封件安装在室壁上的结构示意图；
[0028] 图14为第一密封件的另一种结构示意图；
[0029] 图15为第一密封件和第二密封件配合安装在一起的结构示意图；
[0030]图16为导气管与第一密封件、第二密封件安装在室壁上的结构示意图。
[0031 ]图中：100-控制系统箱，101-总电源接入端，102-分子栗电源接入端，103-机械栗 电源开关，104-电磁隔断阀V15电源开关，105-分子栗电源开关，106-四极质谱计Μ电源开关， 107-挡油阱加热装置电源开关，108-分子栗加热装置电源开关，109-显示屏，200-真空及漏 率多功能校准系统，201-机械栗，202-分子栗，203-真空校准分系统，2031-高真空校准分系 统，2032-低真空校准分系统，204-漏率校准分系统，205-手动隔断阀V!，206-手动隔断阀V 3， 207-手动隔断阀V9,208-手动隔断阀V1Q，209-手动隔断阀Vn，210-电磁隔断阀V 15,211-微调 _V16,212-电磁隔断阀Vn，213-挡油阱，214-监测电离真空规6^215-标准真空规G 2,216-真 空室，217-被校漏孔U，218-参考漏孔L2，219-参考漏孔L 3，220-四极质谱计Μ，221-真空校准 接入端，222-手动隔断阀V2,223-手动隔断阀V 12,224-电阻规G5,225-手动隔断阀V4,226-氮 气存储装置，227-低真空室，228-1000Torr标准薄膜规G 3，229-lTorr标准薄膜规G4,230-低 真空校准接入端，231-手动隔断阀V13,232-手动隔断阀V 5,233-手动隔断阀V7,234-膨胀阀 V8，235-电磁隔断阀Vw，236-微调阀V16;
[0032] 301-安装架，302-上面板，303-侧面盖安装板，304-侧箱盖，305-把手，306-侧箱盖 安装槽，307-侧箱盖安装孔，308-高真校准端连接管路安装孔，309-低真空校准端连接管路 安装孔，310-漏率检测端接连管路安装孔，311-定位螺孔，312-限位挡板，313-阀门操作孔， 314-栗体安装板，315-面板增强肋板，316-第二槽壁，317-限位槽，401-箱体，402-控制系统 安装架，403-上箱盖，404-第一散热孔，405-第一侧面箱盖，406-第二侧面箱盖，407-第四侧 面箱盖，408-观察窗口，409-透明玻璃板，410-定位支脚，411-万向脚轮，412-第二散热孔， 413-按压式锁定机构，414-第三散热孔，415-散热板，416-通风孔，417-限位连接件，418-第 一连接部，419-第二连接部，420-铰接轴；
[0033] 501-室壁，502-密封件安装槽，503-第一密封件，504-环形导气管安装槽，505-内 侧凸台，506-中空结构，507-外侧凸台，508-第二密封件，600-导气管侧壁。
【具体实施方式】
[0034] 为清楚说明本发明中的方案，下面给出优选的实施例并结合附图详细说明。
[0035] 实施例1
[0036] 如图1~10所示，本发明真空及漏率多功能校准装置，包括真空及漏率多功能校准 装置检定台300、真空及漏率多功能校准装置控制箱400、控制系统和真空及漏率多功能校 准系统200。
[0037]其中，如图3~7所示，所述真空及漏率多功能校准装置检定台300包括安装架301、 上面板302、侧面板和上面板314;所述上面板302上设有管路安装孔以及定位螺孔311;所述 侧面板包括侧箱盖304和侧箱盖安装板303，所述侧箱盖安装板303设有侧箱盖安装槽306， 所述侧箱盖安装槽306槽底设有侧箱盖安装孔307,所述侧箱盖安装孔307内设有限位挡板 312,所述侧箱盖304设在所述侧箱盖安装孔307内；所述上面板302设在所述安装架301的顶 部并与所述安装架301固定