3指示高真空室内指示不大 于1 X l(T3Pa后关阀VI，切断监测电离真空规电源。
[0129] 2.17停分子栗，关电磁隔断阀V15。
[0130] 2.18取下标准薄膜规。原接口位置盖上盲板。
[0131] 2.19将标准薄膜规装回原处。并接通其电源。开手动隔断_V13。
[0132] 2.20开电磁隔断阀￥14，使低真空室内指示不大于1(^时关电磁隔断阀￥ 14，并切断 标准低薄膜规电源和停机械栗。关手动隔断_V13。
[0133] 2.21切断总电源和冷却水源。
[0134] 由以上可知，不仅可以对真空度测量范围在1 X 105~1 X l(T5Pa内的各种真空计进 行校准，还可在1 X 1〇2~1 X l(T2Pa内随时用膨胀法对装置上的高、低标准真空计进行校准， 而且满足仪器向多功能方向发展的要求，同时还保证了仪器校准的精度，对计量部门而言， 使用本发明进行仪器校准不仅可以在同一台设备上对多种规格真空计进行校准，而且还节 省了购置多种校准仪器设备的费用，同时还节省了设备的占地空间。
[0135] 漏率校准
[0136] 2.1将被校漏孔U接到装置上漏率校准部位，关闭手动隔断阀V3。
[0137] 2.2开总电源和机械栗，接通冷却水源。
[0138] 2.3打开手动隔断阀V9,对被校漏孔进行预抽。约5分钟后，关闭手动隔断阀V 9。打开 手动隔断阀Vii(或手动隔断阀Vl2)和手动隔断阀Vio。
[0139] 2.4打开电磁隔断阀￥15，接通监测电离真空规&电源，当电阻规6 5指示不大于20?& 时，开分子栗并使其正常工作。
[0140] 2.5约10分钟后打开手动隔断阀化。约5分钟后当监测电离真空规Gi指示不大于IX 10_4Pa时，缓慢打开阀V2，并最后使指示不大于5 X l(T5Pa。
[0141 ] 2.6开计算机，屏幕上出现控制面板的菜单。
[0142] 2.7接通四极质谱计电源。
[0143] 2.8启动四极质谱计，进行漏率校准。
[0144] 2.9采集参考漏孔L2(或参考漏孔L3)、被校漏孔Li和系统本底的总漏率，设为mi。
[0145] 2.10关闭手动隔断阀Vn(或手动隔断阀V12)，采集被校漏孔U和系统本底的总漏 率，设为m2。
[0146] 2.11关闭手动隔断阀V1Q，采集系统本底的漏率，设为m3。
[0147] 2.12输入参考漏孔的已知漏率值_，则按下式计算出被校漏孔1^的漏率为
[0148]
[0149 ] 2 · 13夫闭手动隔断阀V1Q，取下被校漏孔U。
[0150] 2.14关四极质谱计电源。
[0151] 2.15当高真空室内不大于1乂10>&时，关闭手动隔断阀￥ 2。
[0152] 2.16按正常程序关监测电离真空计61-停分子栗-关闭电磁隔断阀V15-停机械 栗-关总电源-停冷却水。至此，完成漏率校准。
[0153] 能够达到的技术指标如下：
[0154] A、装置的极限真空度:3 X10-7Pa。
[0155] 8、相对法低真空校准范围：（1\105~1\10_ 1汗&，不确定度:0.15%~10%(1(= 2)〇
[0156] C、相对法高真空校准范围：（1 X ΠΓ1~5X 10_5)Pa，不确定度:不大于10% (K = 2)。
[0157] D、膨胀法真空校准范围：（1Χ102~1X10-2)Pa，不确定度:不大于3%(Κ = 2)。
[0158] Ε、漏率校准范围：（1Χ10-7~2X10-9)Pa .mVs，不确定度:不大于15%(Κ = 2)。
[0159] 实施例3
[0160] 本实施例与实施例2的区别在于，所述真空室216和所述低真空室227上连接的导 气管与室壁之间设置有密封结构，如图12-14所示，所述密封结构包括第一密封件503、密封 油脂以及室壁501上设置的密封件安装槽502,所述密封件安装槽502的开口方向朝向所述 真空室216和所述低真空室227外部，所述密封件安装槽502的开口面积小于所述密封件安 装槽502的槽底面积并且所述密封件安装槽502开口的投影位于所述密封件安装槽502槽底 中心位置，所述第一密封件503为圆筒状橡胶密封件，所述圆筒状橡胶密封件的侧壁及底壁 均为中空结构506,所述中空结构506内充有压强与大气压相等的惰性气体，所述圆筒状橡 胶密封件的侧壁上设有环形导气管安装槽504,所述环形导气管安装槽504的开口方向朝向 所述真空室216和所述低真空室227外部，所述环形导气管安装槽504的内壁设置有纵截面 为梯形的内侧凸台505,所述内侧凸台505的长边或短边与导气管壁相接触，所述圆筒状橡 胶密封件的外侧壁上设置有纵截面为梯形的外侧凸台507,所述外侧凸台507的长边或短边 与所述密封件安装槽502内壁相接触;所述密封油脂(可以采用现有技术已知的密封油脂） 涂在所述密封件安装槽502内壁和导气管内外壁上。
[0161] 能够达到的技术指标如下：
[0162] Α、装置的极限真空度:2X10-7Pa。
[0163] B、相对法低真空校准范围：（1 X105~0.5 X10-qPa，不确定度:0.15%~8% (K = 2)〇
[0164] C、相对法高真空校准范围：（1 X ΠΓ1~2Χ 10_5)Pa，不确定度:不大于8% (Κ = 2)。
[0165] D、膨胀法真空校准范围：（1Χ102~0.5X10_2)Pa，不确定度:不大于2.5%(Κ = 2)。
[0166] Ε、漏率校准范围：（1Χ10-7 ~1.5Xl(T9)Pa · m3/s，不确定度:不大于 10%(Κ = 2)。
[0167] 实施例4
[0168] 本实施例与实施例3的区别在于，还包括第二密封件508，如图15-16所示，所述第 二密封件508为圆筒状结构，其侧壁为中空结构506,中空结构506内内充有压强与大气压相 等的惰性气体，所述第二密封件508外侧壁上设置有与所述环形导气管安装槽504的内壁凹 凸配合的结构，所述第二密封件508外侧壁与所述环形导气管安装槽504内壁直接的接触面 上涂有所述密封油脂。
[0169] 能够达到的技术指标如下：
[0170] Α、装置的极限真空度:6Xl(T8Pa。
[0171] B、相对法低真空校准范围：（1 X 105~2X 10-2)Pa，不确定度:0.15%~10% (K = 2)〇
[0172] C、相对法高真空校准范围：（1 X ΠΓ1~6Χ 10_6)Pa，不确定度:不大于10% (Κ = 2)。
[0173] D、膨胀法真空校准范围：（1Χ102~5Xl(T3)Pa，不确定度:不大于6%(Κ = 2)。
【主权项】
1. 真空及漏率多功能校准装置，其特征在于，包括真空及漏率多功能校准装置检定台 (300)、真空及漏率多功能校准装置控制箱(400)、控制系统和真空及漏率多功能校准系统 (200)； 所述真空及漏率多功能校准装置检定台（300)包括安装架(301)、上面板(302)、侧面板 和上面板(314);所述上面板(302)上设有管路安装孔以及定位螺孔(311);所述侧面板包括 侧箱盖(304)和侧箱盖安装板(303)，所述侧箱盖安装板(303)设有侧箱盖安装槽(306)，所 述侧箱盖安装槽(306)槽底设有侧箱盖安装孔(307)，所述侧箱盖安装孔(307)内设有限位 挡板(312)，所述侧箱盖(304)设在所述侧箱盖安装孔(307)内；所述上面板(302)设在所述 安装架(301)的顶部并与所述安装架(301)固定连接，所述侧面板设在所述安装架(301)的 侧面并与所述安装架(301)固定连接，所述上面板(314)设在所述安装架(301)的底部并与 所述安装架(301)固定连接； 所述真空及漏率多功能校准装置控制箱（400)包括箱体（401)和控制系统安装架 (402)，所述箱体(401)顶部设有上箱盖(403)，所述上箱盖(403)上沿周向设有第一散热孔 (404)，所述箱体(401)侧面设有第一侧面箱盖(405)、第二侧面箱盖(406)、第三侧面箱盖和 第四侧面箱盖(407)，所述第一侧面箱盖(405)设有观察窗口（408)，所述观察窗口（408)内 设有透明玻璃板(409)，所述箱体(401)箱底下表面四个角上均设有定位支脚(410)和万向 脚轮(411)，所述万向脚轮(411)通过可调连接件与所述箱体(401)箱底下表面固定连接;所 述控制系统安装架(402)设在所述箱体(401)内； 所述控制系统设在所述箱体(401)内； 所述真空及漏率多功能校准系统（200)包括检测管路、真空校准分系统（203)、漏率校 准分系统（204)、机械栗（201)和分子栗（202);所述检测管路包括导气管、手动隔断阀V9 (207)、手动隔断阀V1Q(208)、手动隔断阀V2(222)、手动隔断阀Vi(205)、电磁隔断阀V 15(210) 和电阻规G5(224);所述手动隔断阀V9(207)、所述手动隔断阀V1Q(208)、所述手动隔断阀V 2 (222)、所述手动隔断阀％(205)、所述分子栗(202)、所述电磁隔断阀V15(210)和所述电阻规 G5(224)通过导气管依次连接;所述机械栗（201)依次经过电磁放气阀V17(212)和挡油阱 (213)与位于所述手动隔断阀V9(207)和所述电阻规G5(224)之间的所述检测管路连接导通， 所述漏率校准分系统（204)与位于所述手动隔断阀V9(207)和所述手动隔断阀V2(222)之间 的所述检测管路连接导通，所述真空校准分系统(203)与位于所述手动隔断阀V 2(222)和所 述手动隔断阀VK205)之间的所述检测管路连接导通，位于所述手动隔断_νΚ205)和所述 分子栗(202)之间的所述检测管路经过微调阀V 16(211)与氮气存储装置(226)连接导通。2. 根据权利要求1所述的真空及漏率多功能校准装置，其特征在于，还包括微机、标准 电离计和复合真空计，所述微机分别与所述标准电离计和所述复合真空计通信连接;所述 微机配有显示屏（109);所述分子栗(202)和所述挡油阱（213)分别配有加热装置。3. 根据权利要求1或2所述的真空及漏率多功能校准装置，其特征在于，所述真空校准 分系统(203)包括真空室(216)、监测电离真空规6 1(214)、标准电离真空规G2(215)和真空校 准接入端(221)，所述监测电离真空规GK214)与所述真空室(216)连接导通，所述标准电离 真空规G 2(215)与所述真空室（216)连接导通，所述真空室（216)与位于所述手动隔断阀V2 (222)和所述手动隔断阀VK205)之间的所述检测管路连...