专利名称：一种用于真空溅镀制程的传动装置的制作方法
技术领域：
本实用新型关于一种传动装置，其特别关于一种用于真空 溅镀制程的传动装置。
背景技术：
真空溅镀技术是真空薄膜制程中应用层面相当广泛的 一项重要技 术，近年来已经逐渐取代喷导电漆或电解电镀的方式，大量地应用在 光电、通信、半导体等产业，成为相当重要的表面处理技术。一般在使用连续式传输的真空溅镀装置，将基材整齐固定排放在 标准化的承载盘上，藉由传动机构的带动，将承载盘平顺地输送于各 个腔室之间进行溅镀。目前在真空溅镀装置中习用的传动机构是使用 皮带，然而，在真空'践镀装置腔体局部的高温环境中，温度高达摄氏200度左右，热应力的作用容易造成皮带的耗损，使得皮带的使用寿命 缩短，导致传动失效。此外，皮带的长度有规格的限制，而相关机构 的位置必须依照皮带的长度规格进行设计，因此在设计上就受限于皮 带长度规格，造成机构设计上的不便。另外，传动力量亦会因为皮带 过长而造成力量的递减，导致传输过程的不顺利，皮带使用久了更会 产生松脱的缺点，而这些因素都将影响溅镀品质。此外，于2006年06月01日公告的中国台湾新型专利第291479 专利证号，名称为「真空传动装置的轴承座结构改良」，该实用新 型装设于一真空賊(蒸)镀腔体内的左右两侧，用以承载一工作物体的行 进，然而，该实用新型的特征在于其轴承座的结构改良，以一轴承挡 板套设于轴杆上，使镀膜分子不会累积在轴承内部造成传动装置卡死。然而，该实用新型并未针对皮带产生的缺点进行改良，故本实用 新型的创作人鉴于习知的缺点，针对真空溅镀装置中的传动机构作进 一步的改良，增加其使用寿命及操作效率，以提升整体生产效能。实用新型内容本实用新型主要目的在于提供一种用于真空賊镀制程的传动装置。本实用新型的技术方案为包括 一主体，具有复数个轴孔，各 轴孔内贯穿轴杆；复数个导轮，分别套设于各轴杆的一端；复数个第 一螺旋齿轮，分别套设于该各轴杆的另一端；复数个止推固定座，设 置于该主体上，介于该复数个第一螺旋齿轮之间，且与该第一螺旋齿 轮位于该主体的同一平面；以及一传动心轴，贯穿于该复数个止推固 定座中，其更具有复数个第二螺旋齿轮分别对应于该第一螺旋齿轮； 其特征在于该第一螺旋齿轮与第二螺旋齿轮相互啮合，藉由一动力 源提供动力驱动该第一螺旋齿轮与第二螺旋齿轮，进而带动该导轮转 动，达到传动的功能；该止推固定座将该传动心轴限定于原位旋转， 使该传动心轴不因旋转时产生的侧向推移力量而移动位置。其中，该止推固定座更包含一止推轴承及一滚珠轴承，用以承受 该传动心轴旋转时产生的侧向推移力量，使该止推固定座可将该传动 心轴限定于原位旋转。其中，该传动心轴更具有复数个束紧块，以确保该止推轴承、滚 珠轴承及第二螺旋齿轮不受侧向推力影响。其中，该动力源为一伺服马达，并以一连轴器连接于该传动心轴 或第一螺旋齿轮，以提供动力驱动该传动装置。其中，该第 一及第二螺旋齿轮必须适合于真空溅镀的高温环境以 及传动过程中高时数的连续运转，故该第一螺旋齿轮采用具有耐高温、 抗磨损特性的高分子聚合物作为其材质；该第二螺旋齿轮的材质则为 具有耐热及高强度特性的合成金属。本实用新型的有益效果为本实用新型对于习知真空溅镀装置传 动机构的改良，以螺旋齿轮取代了皮带并改善以皮带作为传动机构所 衍生的缺点，藉此，真空溅镀制程的传动装置的使用寿命延长，溅镀 品质也得以改善，生产效率则随的提升。
图l说明本实用新型用于真空'践镀制程的传动装置的立体示意图； 图2说明本实用新型用于真空溅镀制程的传动装置的使用状态示图3说明本实用新型用于真空賊镀制程的传动装置的使用状态俯图4说明本实用新型用于真空溅镀制程的传动装置的局部侧视图。图号^兌明具体实施方式
为使熟悉该项技艺人士了解本实用新型的目的、特征及功效，兹 藉由下述具体实施例，并配合所附的图式，对本实用新型详加说明， 说明如后请参考图1，说明本实用新型用于真空溅镀制程的传动装置的立体 示意图，该传动装置1包括一主体ll、复数个导轮12、复数个第一螺 旋齿轮14、复数个止推固定座15以及一传动心轴16,其中，该主体 11具有复数个轴孔111,各轴孔111内设有轴杆13贯穿该主体11;该 复数个导轮12则分别套设于各轴杆13的一端用以传送工件载盘以进 行'戚镀；该复数个第一螺旋齿轮14,以铁氟龙为材质制成，分别套设 于各轴杆13相对于导轮12的另一端；复数个止推固定座15,设置于 该主体11上，介于该复数个第一螺旋齿轮14之间，且与该第一螺旋意图;牙见图；以及l传动装置111轴孔13轴杆15止推固定座152滚珠轴承17第二螺旋齿轮2伺服马达11主体 12导轮14第一螺旋齿專仑 151止推轴承 16传动心轴 18束紧块 3连轴器齿轮14位于该主体11的同一平面；以及一传动心轴16,贯穿于该复 数个止推固定座15中，该传动心轴16更具有复数个第二螺旋齿轮17 分别对应于该第一螺旋齿轮14,该第二螺旋齿轮17的材质则为不锈钢。 另外，本实用新型的特征在于该第一螺旋齿轮14与第二螺旋齿轮17 相互啮合，以一伺服马达2作为动力源提供动力驱动该第一螺旋齿轮 14与第二螺旋齿轮17，进而带动该导轮12转动，达到传动的功能； 该止推固定座15将该传动心轴16限定于原位旋转，使该传动心轴16 不因旋转时产生的側向推移力量而移动位置。另外，在本实用新型的实施例中采用两组传动装置的搭配以进行 真空溅镀制程中工件载盘的传送，请参考图2及图3，说明本实用新型 用于真空溅镀制程的传动装置的使用状态立体示意图及俯视图，其中， 本实用新型的传动装置1的第一实施例以一伺服马达2作为动力源使 该传动装置1运转，该伺服马达2在本实施例中以一连轴器3连接于 任一第一螺旋齿轮14,激活该伺服马达2提供动力驱动该第一螺旋齿 轮14后，该传动心轴16上与该第一螺旋齿轮14啮合的第二螺旋齿轮 17亦被驱动，该传动心轴16则随的旋转，同时，与其它第二螺旋齿轮 17啮合的第一螺旋齿轮14亦被驱动，进而带动各导轮12转动，如此 即可输送工件载盘以进行溅镀。本实施例的设计不仅适用于单一式机 台，亦适用于连续式机台，当两台以上机台连接时，动力源的装设不 会受限于空间的限制；且以螺旋齿轮作为传动机构，可依需求增减螺 旋齿轮个数，在机台设计方面不会有皮带长度规格的限制。然而，当真空溅镀制程中使用单一式机台时，本实用新型不限定 于第一实施例将动力源接在任一第一螺旋齿轮14上的设计，接着，请 再参考图2及图3，说明本实用新型用于真空溅镀制程的传动装置1的 第二实施例，以一连轴器3将该伺服马达2连接于该传动心轴16的一 端，激活该伺服马达2后，该传动心轴16即被驱动而旋转，设置于该 传动心轴16上的复数个第二螺旋齿轮17亦随的旋转，同时，与该第 二螺旋齿轮17.啮合的复数个第一螺旋齿轮14因而被驱动，进而带动 各导轮12转动以传送工件载盘进行溅镀。接着，请参考图4，说明本实用新型用于真空溅镀制程的传动装置 的局部侧-观图，本实用新型的传动装置1主体11的止推固定座15中， 更具有一止推轴承151与一滚珠轴承152,当该传动心轴16旋转时， 会产生径向的推力负载，亦即左右向的推移力量，该止推轴承151的 设置可抵抗该径向负载；而该滚珠轴承152则可承受径向负载、推力 负载或二者的合成负载；藉由该止推与滚珠轴承151、 152所发挥的作 用，使得该传动装置l被驱动时，该传动心轴16被限定于原位旋转， 而不会受到径向负载的影响而移动位置，并且，工件也不会在旋转时 产生过大的摩擦而造成使用寿命的缩短。此外，该传动心轴16上设有 复数个束紧块18,分别设置于该第二螺旋齿轮17旁以及该止推固定座 15两侧，用以顶住该第二螺旋齿轮17、止推轴承151及滚珠轴承152, 其作用亦是使之不会受到径向推力而产生位移现象。本实用新型用于真空溅镀制程的传动装置，不仅使用寿命更为延 长，在机构的设计上不会有长度的限制，传动力量也较皮带更为稳定， 且螺旋齿轮一经耗损即可立即更换，相较于皮带局部受损就必须整组 更换，在更换的便利性上更为提升，故本实用新型解决了习知采用皮 带作为输送机构所产生的缺点。然而以上所述者，仅为本实用新型的较佳实施例，当不能以此限 定本实用新型实施的范围；故，凡依本实用新型申请专利范围及实用 新型说明书内容所作的筒单的等效变化与修饰，皆应仍属本实用新型 专利涵盖的范围内。
权利要求1. 一种用于真空溅镀制程的传动装置，其特征在于，包括一主体，具有复数个轴孔，各轴孔内贯穿轴杆；复数个导轮，分别套设于各轴杆的一端；复数个第一螺旋齿轮，分别套设于该各轴杆的另一端；复数个将传动心轴限定于原位旋转的止推固定座，设置于该主体上，介于该复数个第一螺旋齿轮之间，且与该第一螺旋齿轮位于该主体的同一平面；以及一传动心轴，贯穿于该复数个止推固定座中，其更具有复数个第二螺旋齿轮分别对应于该第一螺旋齿轮；该第一螺旋齿轮与第二螺旋齿轮相互啮合，并连接一驱动该第一螺旋齿轮与第二螺旋齿轮的动力源，进而带动该导轮转动。
2、 如权利要求1所述一种用于真空溅镀制程的传动装 置，其特征在于，该止推固定座更包含一止推轴承与一滚珠 轴承。
3、 如权利要求1所述一种用于真空溅镀制程的传动装 置，其特征在于，该动力源为一伺服马达。
4、 如权利要求1所述一种用于真空溅镀制程的传动装 置，其特征在于，该第一螺旋齿轮的村质为高分子聚合物。
5、 如权利要求1所述一种用于真空溅镀制程的传动装 置，其特征在于，该第二螺旋齿轮的材质为合成金属。
6、 如权利要求1所述一种用于真空溅镀制程的传动装 置，其特征在于，该动力源以一连轴器连接任一该第一螺旋 齿轮。
7、 如权利要求1所述一种用于真空溅镀制程的传动装 置，其特征在于，该动力源以一连轴器连接该传动心轴。
8、 如权利要求1所述一种用于真空溅镀制程的传动装置，其特征在于，该传动心轴更具有复数个使得该止推轴承、 滚珠轴承及第二螺旋齿轮不受侧向推力影响的束紧块。
9、 如权利要求4所述一种用于真空濺镀制程的传动装 置，其特征在于，该高分子聚合物为铁氟龙。
10、 如权利要求5所述一种用于真空'减镀制程的传动装 置，其特征在于，该合成金属为不锈钢。
专利摘要本实用新型关于一种用于真空溅镀制程的传动装置，包括一主体、复数个导轮、复数个第一螺旋齿轮、复数个止推固定座以及一具有复数个第二螺旋齿轮的传动心轴，贯穿于该复数个止推固定座中；其特征在于该第一螺旋齿轮与第二螺旋齿轮相互啮合，藉由一动力源驱动该第一螺旋齿轮与第二螺旋齿轮，进而带动该导轮转动，达到传动的功能；该止推固定座将该传动心轴限定于原位旋转，使该传动心轴不因旋转时产生的侧向推移力量而移动位置。
文档编号F16H1/20GK201083252SQ20072012657
公开日2008年7月9日 申请日期2007年8月22日 优先权日2007年8月22日
发明者郑玉纶 申请人:钰衡科技股份有限公司