专利名称：溅镀机光盘更换装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种溅镀机，更具体地说涉及一种溅镀机光盘更 换装置。
背景技术：
光盘生产中常用的镀膜方法主要有蒸镀和溅镀。二十世纪的前 50年，世界各国科技人员经过大量的试验研究基本建立了溅射理论。 在二十世纪的后50年里，薄膜技术获得了腾飞，这主要得益于真空技 术在镀膜方面的应用，使真空镀膜实现了产业化。由于有了理论基础和成熟的工艺，各种镀膜设备也不断推陈出新。其中Leybold公司较 早的开发出各种镀膜设备，也包括用于光盘生产的真空溅镀机。之后， 广泛用于光盘的溅镀机还有德国Balzers和Singulus公司的溅镀机。蒸镀是在真空中将金属加热蒸发产生金属蒸气，使其附着在基板 上凝聚成薄膜。蒸镀的基板材质没有限制，从纸、金属到陶磁都能使 用。蒸镀有加热式蒸镀，还有电子枪加热式及离子辅助式蒸镀。蒸镀 是光盘母盘制作中常用的方式之一 。溅镀是通过离子碰撞而获得薄膜的一种工艺，主要分为两类阴 极溅镀和射频溅镀。阴极溅镀一般用于溅镀导体如铝、银或半导体。 射频溅镀一般用于溅镀非导体如。溅镀主要利用辉光放电将氩气离子 撞击靶材表面；靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜。同时 用强力磁铁将电子呈螺旋状运动，加速靶材周围的氩气离子化，使得 氩气离子对阴极靶材的撞击机率增加，形成雪崩式的状态，以此提高 溅镀速率。溅镀薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜好。为了确保溅镀质量，实行阴极溅镀时对环境有较高的要求。首先 要在真空环境条件下，高真空可以减少氧化物的产生；使用惰性工艺 气体，通常为氩气，作为离子介质撞击靶材；形成电场——耙材为阴极，盘片为阳极；在真空腔内，用强力磁铁产生磁场；由于溅镀时产 生高热，须用冷却水对阴极进行及时冷却。光盘的溅镀过程先将真空腔抽真空达到设定值，将盘片放入腔 内，真空腔内盘片会被抽真空至高真空范围。注入氩气到真空腔，这 时真空腔的真空度降低，此时对靶材(阴极)和盘片(阳极)之间施 以几百伏特的直流电压，使氩气在电场中被离子化，产生氩离子及自 由电子、在电场的作用下，带正电荷的氩离子向阴极(靶材)加速， 而自由电子向阳极加速，被加速的氩离子和自由电子撞向其他氩原 子，因动能转移使更多的氩原子被离子化，最后产生雪崩现象，等离 子体持续自行放电。大量氩离子撞击靶材表面，氩离子的动能转移至 靶材原子， 一部份转化成靶材原子的动能，当靶材原子获得足够动能， 它们会脱离靶材表面并自由地在溅镀腔内移动，最后覆盖于盘片及腔 内其他表面。而氩离子撞击靶材的另一部份动能转化为热，因此靶材 必须用冷却水冷却。为使盘片溅镀层的厚度均匀，耙材周围的磁场分 布会提高等离子体的一致性。对于用于光盘的溅镀机而言，为了满足连续生产的需求， 一般都 包括光盘更换装置，以便不断更换光盘，依次进行溅镀。如图1所示，现有的溅镀机，其光盘更换装置，包括换盘机械手 1和换片装置2，换片装置2包括机体21、固定杆22、波纹管23、 气缸24、马达25、至少一个托盘26。马达25的输出端连接机体21 的转动轴，机体21上端到下端之间开有通孔211，通孔211内侧壁上 设有滑套212，所述托盘26固定在固定杆22上端，固定杆22下端 开有定位坑224，定位坑224内设有一个定位块221，固定杆22通过 滑套212可滑动的固定在通孔211内，气缸24的推杆241从机体21 下端伸入上述通孔211连接定位块221，并且垫片222和密封盖223 将定位块221固定在定位坑内，垫片222和密封盖223均套在推杆 241上，并且垫片222和密封盖223与推杆241之间留有空隙，因此 垫片222和密封盖223均不与推杆241接触，使得推杆241可相对转 动机体21、固定杆22转动，波纹管23套在固定杆22上，并且波纹 管23位于托盘26和机体21之间，换盘机械手1位于托盘26上方。初始状态，换盘机械手1将白基片放进一个托盘26后，气缸24 带动推杆241向下运动，固定杆22跟着推杆241向下运动，压縮波 纹管23。然后马达25工作，带动机体21旋转，固定杆22及托盘26 跟着机体21旋转，使得固定杆22上端的托盘26转到阴极罩3内。 接着，气缸24向上顶，波纹管23张开，固定杆22上端的托盘26上 升到合适位置，阴极罩3开始对白基片进行溅镀。溅镀完以后，气缸 24带动推杆241向下运动，固定杆22跟着推杆241向下运动，压縮 波纹管23。然后马达25工作，带动机体21旋转，固定杆22及托盘 26跟着机体21旋转，使得固定杆22上端的托盘26转到换盘机械手 l下方后，气缸24向上顶，波纹管23张开，固定杆22上端的托盘 26上升到初始位置(即初始状态的位置)，换盘机械手l将白基片取 走，再换上一个白基片，这样周而复始的运行下去。由于垫片的两面分别与定位块、密封盖接触，由于定位块固定在 推杆末端，是不会转动的，而密封盖连接固定杆，是会跟着固定杆转 动的，因此垫片与密封盖之间会不断摩擦，垫片在一定时间的时候后， 会变薄，导致固定杆无法下降到合适的位置，光盘更换装置工作不正 常，需要经常进行维修，更换垫片，大大影响了生产效率。 发明内容本实用新型的目的是对现有技术进行改进，提供一种溅镀机光盘 更换装置，可以有效地减少部件之间的磨损，无需经常进行维修，采 用的技术方案如下本实用新型的溅镀机光盘更换装置，采用轴承代替垫片、密封盖， 其具体结构如下溅镀机光盘更换装置包括换盘机械手和换片装置， 换片装置包括机体、固定杆、波纹管、气缸、马达、至少一个托盘； 马达的输出端连接机体的转动轴，机体上端到下端之间开有通孔，通 孔内侧壁上设有滑套，所述托盘固定在固定杆上端，固定杆下端开有 定位坑，定位坑内设有定位块，固定杆通过滑套可滑动的固定在通孔 内，气缸的推杆从机体下端伸入上述通孔连接定位块，波纹管套在固 定杆上，并且波纹管位于托盘和机体上端之间，换盘机械手位于托盘 架上方，其特征在于所述换片装置还包括轴承，轴承设在固定杆定 位坑内侧壁与位于定位块下方的推杆之间，轴承将定位块固定在定位坑内。定位块可相对固定杆转动，其实是固定杆转动，而定位块不动。 当气缸的推杆向下拉动定位块时，定位块对轴承施加压力，而采用轴 承来代替垫片、密封盖，由于轴承磨损很小，可以大幅减少维修的频 率。一种较优的方案，所述轴承采用滑动轴承，滑动轴承包括轴承座、 轴瓦，轴瓦放置在轴承座内，轴承座安装在固定杆定位坑内侧壁上， 轴瓦安装在推杆上。和滚动轴承相比，滑动轴承承载力高、抗震性好、 工作平稳可靠、噪音小、磨损较小、寿命长，可以更加有效的减少维 修的频率。另一种可以选择的方案，所述轴承采用滚动轴承，但是滚动轴承 的磨损还是比较大。采用这种方案，溅镀机光盘更换装置还需要包括 第一定位紧固件、第二定位紧固件，第一定位紧固件固定在固定杆上， 并且第一定位紧固件顶住滚动轴承的外圈，第二定位紧固件固定在推 杆上，并且第一定位紧固件顶住滚动轴承的内圈。第一定位紧固件与 固定杆一同转动，因此第一定位紧固件与滚动轴承的外圈之间没有相 对位移，不会磨损轴承的外圈，第二定位紧固件固定在推杆上，因此 第二定位紧固件与内圈一样不转动，因此第二定位紧固件与内圈之间 没有相对位移，不会磨损滚动轴承的内圈。本实用新型对照现有技术的有益效果是，由于采用轴承代替垫 片、密封盖，轴承磨损很小，因此可以大幅减少维修的频率，有效的 提高生产效率。
图1是本实用新型现有技术的结构示意图； 图2是本实用新型优选实施例的结构示意图。
具体实施方式
如图2所示，本优选实施例中的溅镀机光盘更换装置，包括换盘 机械手1和换片装置2，换片装置2包括机体21、固定杆22、波纹 管23、气缸24、马达25、滑动轴承222'、两个托盘26。所述马达25的输出端连接机体21的转动轴，机体21上端到下 端之间开有通孔211，通孔211内侧壁上设有滑套212，所述托盘26固定在固定杆22上端，固定杆22下端开有定位坑224，定位坑224 内设有定位块221 ，固定杆22通过滑套212可滑动的固定在通孔211 内，气缸24的推杆241从机体21下端伸入上述通孔211连接定位块 221，所述滑动轴承222'设在固定杆22定位坑内侧壁与位于定位块 221下方的推杆之间。滑动轴承222'包括轴承座2221'、轴瓦2222'， 轴瓦2222'放置在轴承座2221'内，滑动轴承222'的轴承座2221' 安装在固定杆22定位坑224内侧壁上，滑动轴承222'的轴瓦2222' 安装在推杆241上，滑动轴承222'上端顶住定位块221，将定位块 221固定在定位坑内，推杆241可相对机体21、固定杆22转动，波 纹管23套在固定杆22上，并且波纹管23位于托盘26和机体21之 间，换盘机械手1位于托盘26上方。初始状态，换盘机械手1将白基片放进一个托盘26后，气缸24 带动推杆241向下运动，固定杆22跟着推杆241向下运动，压縮波 纹管23。然后马达25工作，带动机体21旋转，固定杆22及托盘26 跟着机体21旋转，使得固定杆22上端的托盘26转到阴极罩3内。 接着，气缸24向上顶，波纹管23张开，固定杆22上端的托盘26上 升到合适位置，阴极罩3开始对白基片进行溅镀。溅镀完以后，气缸 24带动推杆241向下运动，固定杆22跟着推杆241向下运动，压縮 波纹管23。然后马达25工作，带动机体21旋转，固定杆22及托盘 26跟着机体21旋转，使得固定杆22上端的托盘26转到换盘机械手 1下方后，气缸24向上顶，波纹管23张开，固定杆22上端的托盘 26上升到初始位置(即初始状态的位置)，换盘机械手l将白基片取 走，再换上一个白基片，这样周而复始的运行下去。当气缸24的推杆241向下拉动定位块221时，定位块221压在 滑动轴承222'上，而采用滑动轴承222'来代替垫片、密封盖，由 于滑动轴承222'的磨损小，因此可以减少维修的频率。
权利要求1、一种溅镀机光盘更换装置，包括换盘机械手和换片装置，换片装置包括机体、固定杆、波纹管、气缸、马达、至少一个托盘；马达的输出端连接机体的转动轴，机体上端到下端之间开有通孔，通孔内侧壁上设有滑套，所述托盘固定在固定杆上端，固定杆下端开有定位坑，定位坑内设有定位块，固定杆通过滑套可滑动的固定在通孔内，气缸的推杆从机体下端伸入上述通孔连接定位块，波纹管套在固定杆上，并且波纹管位于托盘和机体上端之间，换盘机械手位于托盘架上方，其特征在于所述换片装置还包括轴承，轴承设在固定杆定位坑内侧壁与位于定位块下方的推杆之间，轴承将定位块固定在定位坑内。
2、 如权利要求1所述的溅镀机光盘更换装置，其特征在于所述 轴承采用滑动轴承，滑动轴承包括轴承座、轴瓦，轴瓦放置在轴承座 内，轴承座安装在固定杆定位坑内侧壁上，轴瓦安装在推杆上。
专利摘要一种溅镀机光盘更换装置，包括换盘机械手和换片装置，换片装置包括机体、固定杆、波纹管、气缸、马达、至少一个托盘；马达的输出端连接机体的转动轴，机体上端到下端之间开有通孔，通孔内侧壁上设有滑套，所述托盘固定在固定杆上端，固定杆下端开有定位坑，定位坑内设有定位块，固定杆通过滑套可滑动的固定在通孔内，气缸的推杆从机体下端伸入上述通孔连接定位块，波纹管套在固定杆上，并且波纹管位于托盘和机体上端之间，换盘机械手位于托盘架上方，所述换片装置还包括轴承，轴承设在固定杆定位坑内侧壁与位于定位块下方的推杆之间，轴承将定位块固定在定位坑内。本实用新型可以大幅减少维修的频率，有效的提高生产效率。
文档编号C23C14/34GK201217692SQ20082013927
公开日2009年4月8日 申请日期2008年10月14日 优先权日2008年10月14日
发明者郭晓明 申请人:广东中唱一帆科技发展有限公司